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基于流体分配的微加工方法及其应用研究

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基于流体分配的微加工方法及其应用研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-14页
第1章 绪论第14-33页
  1.1 课题背景及研究的目的和意义第14-15页
  1.2 微加工技术的研究现状第15-21页
    1.2.1 模板式微加工技术研究现状第15-18页
    1.2.2 非模板式微加工技术研究现状第18-21页
  1.3 基于微管沉积的微加工技术的研究现状第21-30页
    1.3.1 基于化学反应的微管沉积技术研究现状第22-25页
    1.3.2 基于物理原理的微管沉积技术研究现状第25-28页
    1.3.3 基于微管沉积微加工技术的应用第28-30页
  1.4 研究现状简析第30-31页
  1.5 课题来源和本文的主要研究内容第31-33页
    1.5.1 课题来源第31页
    1.5.2 本文主要研究内容第31-33页
第2章 流体分配微加工系统的构建和微加工过程的理论分析第33-54页
  2.1 引言第33页
  2.2 机器人化流体分配微加工的基本原理第33-34页
  2.3 机器人化流体分配微加工系统的构建第34-40页
    2.3.1 机器人化流体分配微加工系统的构成第34-37页
    2.3.2 微米级尖端微管的制作第37-38页
    2.3.3 机器人化流体分配微加工的策略第38-40页
  2.4 功能性流体在微管中的流动模型第40-47页
    2.4.1 常见功能性流体的分类第40页
    2.4.2 牛顿型流体在微管中的流动模型第40-44页
    2.4.3 非牛顿型流体在微管中的流动模型第44-47页
  2.5 微管尖端到基底流体传输模型第47-53页
    2.5.1 基本假设第48页
    2.5.2 杨-拉普拉斯方程和液桥力计算第48-50页
    2.5.3 边界条件第50-51页
    2.5.4 杨-拉普拉斯方程的数值解第51-53页
  2.6 本章小结第53-54页
第3章 基于牛顿型流体的微加工方法及其应用研究第54-77页
  3.1 引言第54页
  3.2 二氧化硅直写式刻蚀方法第54-64页
    3.2.1 二氧化硅直写式刻蚀的原理第55-56页
    3.2.2 工作参数对加工特征形状和大小的影响第56-61页
    3.2.3 二氧化硅微图案的应用第61-64页
  3.3 球面型和圆柱面型微透镜制造方法第64-76页
    3.3.1 球面型和圆柱面型微透镜的制造原理第65-67页
    3.3.2 微透镜及其阵列的表征第67-71页
    3.3.3 工作参数对微透镜尺寸的影响第71-76页
  3.4 本章小结第76-77页
第4章 三维聚合物微结构加工方法及其应用研究第77-94页
  4.1 引言第77页
  4.2 三维聚合物微结构加工方法的原理第77-79页
  4.3 三维聚合物微结构加工方法的模式第79-83页
4.3.1“点融合”模式制造点型三维结构第79-81页
4.3.2“点连点”模式制造线型三维结构第81-83页
  4.4 三维微结构形貌的调节第83-88页
    4.4.1 液桥体积和预先固定图案第83-85页
    4.4.2 流体与基底表面之间的浸润性第85-87页
    4.4.3 预先固定特征点的相对大小第87-88页
  4.5 在微流控和光学领域的应用第88-93页
    4.5.1 铸造圆形横截面微流控沟道结构第88-89页
    4.5.2 圆柱面型微透镜阵列的制造第89-91页
    4.5.3 在光纤端面原位制造类半椭圆面型微透镜第91-93页
  4.6 本章小结第93-94页
第5章 基于粘弹性型流体的微加工方法及其应用研究第94-117页
  5.1 引言第94页
  5.2 快速成型圆型横截面微流控沟道的方法第94-109页
    5.2.1 快速成型圆型横截面微流控沟道的原理第95-98页
    5.2.2 工作参数对圆型横截面结构的影响第98-105页
    5.2.3 基于“液体绳绕”效应直接制造曲线型微沟道的方法第105-106页
    5.2.4 快速成型微流控沟道方法的分辨率和应用第106-109页
  5.3 薄膜微图案直写式加工方法第109-116页
    5.3.1 薄膜微图案直写式加工的原理第109-111页
    5.3.2 工作参数对薄膜微图案直写式加工的影响第111-114页
    5.3.3 薄膜微图案直写式加工方法的应用第114-116页
  5.4 本章小结第116-117页
结论第117-119页
参考文献第119-132页
附录第132-135页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第135-137页
致谢第137-138页
个人简历第138页

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