论文目录 | |
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-14页 |
注释表 | 第14-15页 |
缩略词 | 第15-16页 |
第一章 绪论 | 第16-28页 |
1.1 研究背景 | 第16-17页 |
1.2 曲面 3D微结构制作技术进展 | 第17-26页 |
1.2.1 曲面直写技术 | 第17-19页 |
1.2.2 金刚石车削技术 | 第19-20页 |
1.2.3 三维微投影光刻 | 第20-21页 |
1.2.4 软光刻技术 | 第21-24页 |
1.2.5 热熔技术 | 第24-25页 |
1.2.6 曲面 3D微结构制作技术对比 | 第25-26页 |
1.3 论文的内容安排 | 第26-28页 |
第二章 曲面 3D微结构数字掩模光成型理论与实验研究 | 第28-60页 |
2.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型理论模型 | 第28-34页 |
2.1.1 数字掩模光成型技术 | 第28-30页 |
2.1.2 曲面 3D微结构的数字掩模光成型 | 第30-34页 |
2.2 曲面 3D微结构数字掩模光成型系统及实验研究 | 第34-58页 |
2.2.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型系统 | 第34-37页 |
2.2.2 曲面 3D微结构数字掩模设计算法 | 第37-44页 |
2.2.3 曲面微透镜阵列数字掩模光成型实验 | 第44-50页 |
2.2.4 曲面微透镜阵列制作误差及光学性能测试 | 第50-58页 |
2.3 本章小结 | 第58-60页 |
第三章 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模光成型方法研究 | 第60-87页 |
3.1 多灰阶数字掩模曝光原理 | 第60-66页 |
3.1.1 单灰阶数字掩模制作曲面 3D微结构受限性分析 | 第60-63页 |
3.1.2 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模光成型机理 | 第63-64页 |
3.1.3 多灰阶数字掩模光成型曝光原理 | 第64-66页 |
3.2 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模设计算法 | 第66-73页 |
3.2.1 曲面 3D微结构几何结构拆分方法 | 第66-68页 |
3.2.2 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模设计算法 | 第68-73页 |
3.3 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模光成型实验 | 第73-86页 |
3.3.1 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模设计 | 第73-78页 |
3.3.2 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模光成型实验工艺 | 第78-79页 |
3.3.3 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模光成型制作误差及光学性能测试 | 第79-86页 |
3.4 本章小结 | 第86-87页 |
第四章 曲面 3D微结构数字掩模曲面拼接方法研究 | 第87-108页 |
4.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型制作面积受限分析 | 第87-88页 |
4.2 曲面 3D微结构数字掩模曲面拼接算法 | 第88-93页 |
4.2.1 曲面 3D微结构分割方法 | 第88-89页 |
4.2.2 曲面 3D微结构分割数字掩模设计 | 第89-91页 |
4.2.3 曲面 3D微结构数字掩模曲面拼接曝光原理 | 第91-93页 |
4.3 曲面微透镜阵列数字掩模曲面拼接光成型实验 | 第93-107页 |
4.3.1 数字掩模曲面拼接曝光系统 | 第93-94页 |
4.3.2 曲面微透镜阵列正交四分式曲面拼接数字掩模设计 | 第94-97页 |
4.3.3 曲面微透镜阵列数字掩模曲面拼接光成型实验 | 第97-104页 |
4.3.4 实验结果分析 | 第104-107页 |
4.4 本章小结 | 第107-108页 |
第五章 曲面 3D微结构数字掩模动态光成型方法研究 | 第108-143页 |
5.1 曲面 3D微结构数字掩模动态光成型方法必要性分析 | 第108-111页 |
5.1.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型空间频率受限性分析 | 第108-109页 |
5.1.2 曲面 3D微结构数字掩模光成型面型梯度受限性分析 | 第109-111页 |
5.1.3 曲面 3D微结构数字掩模动态光成型方法总述 | 第111页 |
5.2 曲面 3D微结构数字掩模曲面移动光成型方法 | 第111-127页 |
5.2.1 数字掩模曲面移动光成型掩模生成算法 | 第112-118页 |
5.2.2 曲面环形等腰闪耀光栅数字掩模曲面旋转光成型掩模设计 | 第118-121页 |
5.2.3 曲面等腰闪耀光栅数字掩模曲面旋转光成型实验 | 第121-126页 |
5.2.4 实验结果分析 | 第126-127页 |
5.3 曲面 3D微结构数字掩模曲面分形光成型方法 | 第127-142页 |
5.3.1 数字掩模曲面分形光成型掩模生成算法 | 第128-134页 |
5.3.2 曲面光栅数字掩模曲面分形光成型掩模设计 | 第134-137页 |
5.3.3 曲面光栅数字掩模曲面分形光成型实验 | 第137-140页 |
5.3.4 实验结果分析 | 第140-142页 |
5.4 本章小结 | 第142-143页 |
第六章 总结与展望 | 第143-146页 |
6.1 全文总结 | 第143-145页 |
6.2 研究展望 | 第145-146页 |
参考文献 | 第146-152页 |
致谢 | 第152-153页 |
在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第153-154页 |