基于表面等离子体的超表面透镜原理及制备技术研究

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基于表面等离子体的超表面透镜原理及制备技术研究

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基于表面等离子体的超表面透镜原理及制备技术研究

论文目录
中文摘要	第1-5页
英文摘要	第5-9页
1 绪论	第9-29页
1.1 研究背景和意义	第9-10页
1.2 国内外研究现状	第10-25页
1.2.1 表面等离子体超级透镜	第10-15页
1.2.2 金属纳米狭缝等离子体透镜	第15-19页
1.2.3 等离子体超表面波前调控及聚焦	第19-25页
1.3 存在的问题及主要研究内容	第25-27页
1.4 论文组织架构	第27-29页
2 等离子体超表面的理论基础和分析方法	第29-43页
2.1 引言	第29页
2.2 表面等离子体的基本理论	第29-35页
2.2.1 金属材料色散模型	第29-30页
2.2.2 表面等离子体的色散关系	第30-32页
2.2.3 局域表面等离子体	第32-33页
2.2.4 共振引入相位突变	第33-35页
2.3 矢量衍射理论	第35-39页
2.3.1 Richards-Wolf矢量衍射理论	第35-38页
2.3.2 矢量角谱理论	第38-39页
2.4 超表面器件的数值计算方法	第39-41页
2.5 本章小结	第41-43页
3 圆柱矢量光束超表面透镜	第43-65页
3.1 引言	第43-45页
3.2 径向和角向偏振光超表面透镜	第45-54页
3.2.1 结构设计	第45-48页
3.2.2 仿真结果	第48-54页
3.3 基于金属-介质光栅的径向偏振超表面透镜	第54-63页
3.3.1 金属-介质光栅参数设计	第55-57页
3.3.2 仿真结果	第57-63页
3.4 本章小结	第63-65页
4 高效率的太赫兹等离子体超表面透镜	第65-75页
4.1 引言	第65-66页
4.2 多层亚波长单元结构设计	第66-69页
4.2.1 几何相位	第66-67页
4.2.2 多层金属介质单元结构	第67-69页
4.3 仿真结果	第69-74页
4.3.1 超表面偏折器	第69-71页
4.3.2 平板超表面透镜	第71-74页
4.4 本章小结	第74-75页
5 基于表面等离子体光刻加工超表面透镜	第75-97页
5.1 引言	第75-76页
5.2 超表面透镜的结构设计	第76-79页
5.3 表面等离子体成像光刻结构设计和分析	第79-85页
5.4 表面等离子体光刻加工超表面透镜	第85-90页
5.4.1 优化曝光、显影工艺条件	第85-87页
5.4.2 单层IBE刻蚀和多层硬掩模刻蚀	第87-90页
5.5 超表面透镜的光学表征	第90-94页
5.6 本章小结	第94-97页
6 总结与展望	第97-101页
6.1 主要工作总结	第97-98页
6.2 研究工作展望	第98-101页
致谢	第101-103页
参考文献	第103-113页
附录	第113-114页
A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录	第113-114页
B. 作者在攻读学位期间取得的科研成果	第114页
C. 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目	第114页

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