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压电叠堆驱动的微操作器系统建模及控制技术研究

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压电叠堆驱动的微操作器系统建模及控制技术研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-10页
致谢第10-15页
第一章 绪论第15-39页
  1.1 课题研究背景和意义第15-17页
  1.2 国内外研究现状及进展第17-34页
    1.2.1 压电叠堆微操作器研究现状第18-24页
      1.2.1.1 压电叠堆微夹持器研究现状第18-20页
      1.2.1.2 压电叠堆微动平台研究现状第20-22页
      1.2.1.3 宏微操作系统研究现状第22-24页
    1.2.2 压电叠堆微操作器建模技术研究现状第24-31页
      1.2.2.1 柔顺机构静/动力学建模研究现状第24-26页
      1.2.2.2 压电迟滞非线性建模研究现状第26-31页
    1.2.3 压电叠堆微操作器控制技术研究现状第31-34页
      1.2.3.1 无需迟滞逆模型的控制方法第31-32页
      1.2.3.2 基于迟滞逆模型的控制方法第32-34页
    1.2.4 大范围宏运动下柔顺机构的振动控制研究现状第34页
  1.3 本文框架及主要研究内容第34-39页
第二章 多自由度微操作器结构模型及开环特性分析第39-65页
  2.1 引言第39页
  2.2 微夹持器结构模型第39-47页
    2.2.1 微夹持器结构设计第40-42页
    2.2.2 微夹持器静力学模型第42-45页
    2.2.3 微夹持器动力学模型第45-46页
    2.2.4 微夹持器有限元仿真第46-47页
  2.3 微夹持器开环特性第47-51页
    2.3.1 实验系统第47-49页
    2.3.2 位置/夹持力传感器校准第49页
    2.3.3 微夹持器开环特性测试第49-51页
  2.4 XY微动平台结构模型第51-59页
    2.4.1 微动平台结构设计第52-53页
    2.4.2 微动平台静力学模型第53-57页
    2.4.3 微动平台动力学模型第57-58页
    2.4.4 微动平台有限元分析第58-59页
  2.5 XY微动平台开环特性第59-64页
    2.5.1 实验系统第59-60页
    2.5.2 位置检测噪声第60-61页
    2.5.3 微动平台开环特性测试第61-64页
  2.6 本章小结第64-65页
第三章 微夹持器位置/夹持力同步控制第65-83页
  3.1 引言第65页
  3.2 位置/夹持力控制器设计第65-68页
  3.3 实验研究第68-81页
    3.3.1 左夹持臂位置控制第68-71页
    3.3.2 右夹持臂夹持力控制第71-75页
    3.3.3 微夹持器位置/夹持力同步控制第75-81页
  3.4 本章小结第81-83页
第四章 Bouc-Wen迟滞模型及参数辨识第83-93页
  4.1 引言第83页
  4.2 Bouc-Wen迟滞模型第83-84页
  4.3 非对称Bouc-Wen迟滞模型第84-85页
  4.4 参数辨识第85-89页
  4.5 实验研究第89-92页
  4.6 本章小结第92-93页
第五章 多自由度微操作器协同控制第93-107页
  5.1 引言第93页
  5.2 基于Bouc-Wen迟滞模型的复合控制器设计第93-94页
  5.3 微动平台精密定位控制第94-97页
  5.4 多自由度微操作器协同控制第97-105页
    5.4.1 实验系统第98页
    5.4.2 微夹持器分阶段同步控制第98-102页
    5.4.3 微操作器协同控制第102-105页
  5.5 本章小结第105-107页
第六章 宏微夹持系统非线性耦合建模及轨迹规划第107-127页
  6.1 引言第107页
  6.2 宏微夹持系统系统动力学模型第107-112页
    6.2.1 宏微夹持系统描述第107-109页
    6.2.2 宏微夹持系统动力学方程第109-112页
  6.3 宏微夹持系统数值仿真第112-115页
  6.4 宏微夹持系统轨迹规划第115-120页
    6.4.1 时间最优轨迹第116-117页
    6.4.2 幅值最优轨迹第117-120页
  6.5 实验研究第120-126页
    6.5.1 实验系统第120-121页
    6.5.2 轨迹跟踪与偏移量检测实验第121-124页
    6.5.3 不同宏动轨迹下夹持系统运动时间比较实验第124-125页
    6.5.4 不同宏动轨迹下夹持臂偏移量比较实验第125-126页
  6.6 本章小结第126-127页
第七章 总结与展望第127-131页
  7.1 主要工作和结论第127-129页
  7.2 展望第129-131页
参考文献第131-145页
攻博期间发表和录用的论文、专利及参加科研情况第145-146页

本篇论文共146页,点击这进入下载页面
 
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