高精度SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究

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高精度SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究

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高精度SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-14页
第1章绪论	第14-30页
1.1 引言	第14-15页
1.2 ΣΔ微加速度计研究现状	第15-26页
1.2.1 微加速度计敏感结构研究现状	第15-19页
1.2.2 微加速度计接口电路研究现状	第19-26页
1.3 ΣΔ微加速度计接口电路的关键问题研究现状分析	第26-28页
1.3.1 ΣΔ微加速度计噪声理论及实验验证	第26-27页
1.3.2 ΣΔ微加速度计谐波失真理论和测试方法	第27-28页
1.3.3 高精度数字微加速度计接口电路的实现	第28页
1.4 研究的目的和意义	第28-29页
1.5 论文主要研究内容	第29-30页
第2章 ΣΔ微加速度计系统级研究	第30-46页
2.1 引言	第30页
2.2 微加速度计敏感结构等效模型	第30-32页
2.3 微弱电容检测方法	第32-34页
2.4 ΣΔ微加速度计结构概述	第34-36页
2.4.1 ΣΔ调制技术	第34-35页
2.4.2 ΣΔ微加速度计基本结构	第35-36页
2.5 ΣΔ微加速度计系统设计	第36-43页
2.5.1 ΣΔ微加速度计拓扑结构	第37-39页
2.5.2 行为级建模和分析	第39-42页
2.5.3 ΣΔ微加速度计自检测技术	第42-43页
2.6 ΣΔ微加速度计系统稳定性研究	第43-44页
2.7 本章小结	第44-46页
第3章 ΣΔ微加速度计噪声理论研究和实验验证	第46-59页
3.1 引言	第46页
3.2 微加速度计机械噪声	第46页
3.3 ΣΔ微加速度计接口电路噪声	第46-52页
3.3.1 运放噪声	第48-50页
3.3.2 开关噪声	第50-51页
3.3.3 参考电压噪声	第51-52页
3.3.4 连线电阻噪声	第52页
3.4 量化噪声	第52-53页
3.5 质量块残留运动噪声	第53页
3.6 噪声计算和分析	第53-54页
3.7 电荷放大器中运放带宽的设计	第54-55页
3.8 ΣΔ微加速度计噪声模型实验验证	第55-58页
3.9 本章小结	第58-59页
第4章 ΣΔ微加速度计谐波失真理论研究和实验验证	第59-78页
4.1 引言	第59页
4.2 ΣΔ微加速度计主要的非线性来源	第59-68页
4.2.1 非线性位移到电压转换	第60-66页
4.2.2 ΣΔ微加速度计非线性静电力反馈	第66-68页
4.3 自检测信号到等效输入加速度的变换	第68-71页
4.4 ΣΔ微加速度计谐波失真理论的实验验证	第71-77页
4.4.1 仿真验证	第71-73页
4.4.2 测试验证	第73-77页
4.5 本章小结	第77-78页
第5章 ΣΔ微加速度计接口ASIC设计与实现	第78-108页
5.1 引言	第78页
5.2 ΣΔ微加速度计接口电路工作原理	第78-92页
5.2.1 敏感结构电学模型	第79-80页
5.2.2 差分电容检测原理	第80-82页
5.2.3 前级敏感电路工作原理	第82-85页
5.2.4 相位补偿电路	第85-86页
5.2.5 调制器电路	第86-87页
5.2.6 主要的模块电路	第87-92页
5.3 整体电路仿真	第92-94页
5.4 版图设计和后仿真	第94-97页
5.5 ΣΔ微加速度计接口ASIC芯片测试与分析	第97-107页
5.6 本章小结	第107-108页
结论	第108-110页
参考文献	第110-120页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果	第120-123页
致谢	第123-124页
个人简历	第124页

本篇论文共124页，点击这进入下载页面。

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