基于中介层散射原理的共焦显微测量技术及理论研究

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基于中介层散射原理的共焦显微测量技术及理论研究

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基于中介层散射原理的共焦显微测量技术及理论研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-12页
第1章绪论	第12-29页
1.1 课题背景及研究的目的和意义	第12-13页
1.2 光学显微面形测量技术	第13-22页
1.2.1 相移干涉显微技术	第13-15页
1.2.2 白光干涉显微技术	第15-17页
1.2.3 共焦显微技术	第17-20页
1.2.4 结构光照明层析显微技术	第20-22页
1.3 高曲率及大倾角表面面形测量方法	第22-26页
1.3.1 扫描拼接测量法	第23-24页
1.3.2 荧光液浸入式测量方法	第24-26页
1.4 本课题所涉及的科学问题	第26-27页
1.5 本文的主要研究内容	第27-29页
第2章反射式明场共焦显微成像机理	第29-48页
2.1 引言	第29页
2.2 明场共焦显微技术的成像机理	第29-39页
2.2.1 单透镜衍射成像	第29-34页
2.2.2 相干共焦扫描成像机理	第34-37页
2.2.3 相干共焦成像系统传递函数分析	第37-39页
2.3 高曲率及大倾角表面成像性能分析	第39-46页
2.3.1 倾斜表面轴向响应分析	第39-44页
2.3.2 传递函数分析	第44-46页
2.4 本章小结	第46-48页
第3章中介层散射共焦显微形状测量方法	第48-67页
3.1 引言	第48页
3.2 荧光中介层沉积	第48-52页
3.2.1 荧光中介层沉积率分析	第50-51页
3.2.2 荧光中介层沉积均匀性分析	第51-52页
3.3 中介层散射共焦显微成像原理	第52-55页
3.4 明场共焦与荧光共焦成像特性比较	第55-59页
3.5 中介层厚度不均误差分析与校正	第59-65页
3.6 本章小结	第65-67页
第4章共焦表面位置定位算法	第67-82页
4.1 引言	第67页
4.2 峰值定位质心算法	第67-69页
4.3 峰值定位非线性拟合算法	第69-74页
4.4 零点提取线性拟合算法	第74-76页
4.5 共焦峰值位置精度的MONTE-CARLO分析	第76-81页
4.6 本章小结	第81-82页
第5章中介层散射共焦仪器集成及实验	第82-103页
5.1 引言	第82页
5.2 光滑铟球阵列测量实验	第82-86页
5.2.1 样品制备	第82-84页
5.2.2 样品测量	第84-86页
5.2.3 中介层去除	第86页
5.3 荧光中介层台阶测量实验	第86-91页
5.3.1 沉积均匀性实验	第86-88页
5.3.2 透明基底荧光中介层台阶测量	第88-90页
5.3.3 反射基底荧光中介层台阶测量	第90-91页
5.4 中介层散射共焦仪器集成研究	第91-102页
5.4.1 共焦显微镜探测光路实现	第92-94页
5.4.2 共焦显微镜三维扫描实现	第94-95页
5.4.3 实验装置	第95-97页
5.4.4 柱面微透镜阵列测量实验	第97-98页
5.4.5 花粉测量实验	第98-100页
5.4.6 光栅测量实验	第100-102页
5.5 本章小结	第102-103页
结论	第103-105页
参考文献	第105-113页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果	第113-116页
致谢	第116-117页
个人简历	第117页

本篇论文共117页，点击这进入下载页面。

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