基于波前传感方法的大口径透镜检测技术研究

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基于波前传感方法的大口径透镜检测技术研究

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基于波前传感方法的大口径透镜检测技术研究

论文目录
致谢	第1-7页
摘要	第7-8页
abstract	第8-17页
第1章绪论	第17-31页
1.1 研究背景	第17-19页
1.1.1 能源危机	第17-18页
1.1.2 惯性约束核聚变	第18页
1.1.3 大口径长焦距透镜系统	第18-19页
1.2 研究目的	第19页
1.3 焦距及疵病检测的研究现状	第19-29页
1.3.1 焦距检测的研究现状	第19-23页
1.3.2 疵病检测及涡旋相位检测的研究现状	第23-29页
1.4 论文主要研究内容及创新点	第29-31页
1.4.1 论文研究内容	第29-30页
1.4.2 论文创新点	第30-31页
第2章基于莫尔条纹波前传感的透镜焦距检测	第31-51页
2.1 基本理论	第31-37页
2.1.1 泰伯效应	第31-32页
2.1.2 莫尔条纹	第32-37页
2.2 基于平行光及等周期光栅的测量方法	第37-43页
2.2.1 焦距检测原理	第37-40页
2.2.2 数值分析	第40-43页
2.3 基于发散光及不等周期光栅的测量方法	第43-49页
2.3.1 焦距检测原理	第43-45页
2.3.2 数值分析	第45-48页
2.3.3 发散光与平行光长焦距系统的精度对比	第48-49页
2.4 结论	第49-51页
第3章焦距检测的实验及结果	第51-81页
3.1 实验装置图	第51-52页
3.2 软件流程及实例	第52-53页
3.3 建立测量基准光路	第53-54页
3.4 基本参数的精度验证	第54-59页
3.4.1 摆台转角精度验证	第54-56页
3.4.2 光栅尺直线度验证	第56页
3.4.3 光栅G2移动精度验证	第56-58页
3.4.4 莫尔条纹测量精度验证	第58-59页
3.5 基本参数标定与校正	第59-68页
3.5.1 光栅周期比β值标定	第59-60页
3.5.2 两光栅距离标定	第60页
3.5.3 两光栅夹角及莫尔条纹的角度定标	第60-64页
3.5.4 反射镜安装校正	第64-65页
3.5.5 组合焦距的非线性校正	第65-66页
3.5.6 由球差带来的误差的校正	第66-68页
3.6 实验步骤	第68-72页
3.7 实验结果	第72-77页
3.7.1 重复性	第72-73页
3.7.2 稳定性	第73页
3.7.3 复现性	第73-74页
3.7.4 精度	第74-77页
3.8 分析与讨论	第77-79页
3.8.1 背景杂光	第77-78页
3.8.2 振动	第78页
3.8.3 空气扰动	第78页
3.8.4 温度	第78-79页
3.8.5 像差	第79页
3.9 结论	第79-81页
第4章基于涡旋相位波前传感的透镜疵病检测	第81-103页
4.1 疵病的非连续相位	第81-82页
4.2 涡旋相位	第82-83页
4.3 夏克-哈特曼波前传感器工作原理	第83-85页
4.4 基于相位组合-相关匹配的涡旋相位位置的检测	第85-94页
4.4.1 暗场分析	第86-88页
4.4.2 相位倾斜计算	第88页
4.4.3 相位倾斜组合计算	第88-91页
4.4.4 相位旋度计算	第91-92页
4.4.5 相关匹配计算	第92-94页
4.4.6 坐标转换	第94页
4.5 基于相位倾斜匹配的涡旋相位拓扑值检测方法	第94-102页
4.5.1 暗场分析	第96页
4.5.2 相位倾斜计算	第96页
4.5.3 相位倾斜匹配计算	第96-98页
4.5.4 相位倾斜误差分析	第98页
4.5.5 二次相位倾斜匹配计算	第98-102页
4.6 结论	第102-103页
第5章涡旋相位检测的实验及结果	第103-115页
5.1 涡旋相位的生成方法	第103-104页
5.2 实验装置图	第104-105页
5.3 光路的验证	第105-109页
5.3.1 入射光的准直性验证	第105页
5.3.2 空间滤波器口径大小选择	第105-106页
5.3.3 涡旋相位共轭面的光强分布	第106-107页
5.3.4 理想涡旋相位位置确认	第107-108页
5.3.5 涡旋相位的生成质量	第108-109页
5.4 实验结果	第109-112页
5.4.1 涡旋相位的位置检测结果	第109-111页
5.4.2 涡旋相位的拓扑值检测结果	第111-112页
5.5 分析与讨论	第112-113页
5.6 结论	第113-115页
第6章总结及展望	第115-119页
6.1 总结	第115页
6.2 创新点	第115-116页
6.3 前景展望	第116-119页
参考文献	第119-127页
作者简历	第127页
攻读硕士期间主要科研成果	第127-128页

本篇论文共128页，点击这进入下载页面。

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