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基于波前传感方法的大口径透镜检测技术研究
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基于波前传感方法的大口径透镜检测技术研究
论文目录
致谢
第1-7页
摘要
第7-8页
abstract
第8-17页
第1章 绪论
第17-31页
1.1 研究背景
第17-19页
1.1.1 能源危机
第17-18页
1.1.2 惯性约束核聚变
第18页
1.1.3 大口径长焦距透镜系统
第18-19页
1.2 研究目的
第19页
1.3 焦距及疵病检测的研究现状
第19-29页
1.3.1 焦距检测的研究现状
第19-23页
1.3.2 疵病检测及涡旋相位检测的研究现状
第23-29页
1.4 论文主要研究内容及创新点
第29-31页
1.4.1 论文研究内容
第29-30页
1.4.2 论文创新点
第30-31页
第2章 基于莫尔条纹波前传感的透镜焦距检测
第31-51页
2.1 基本理论
第31-37页
2.1.1 泰伯效应
第31-32页
2.1.2 莫尔条纹
第32-37页
2.2 基于平行光及等周期光栅的测量方法
第37-43页
2.2.1 焦距检测原理
第37-40页
2.2.2 数值分析
第40-43页
2.3 基于发散光及不等周期光栅的测量方法
第43-49页
2.3.1 焦距检测原理
第43-45页
2.3.2 数值分析
第45-48页
2.3.3 发散光与平行光长焦距系统的精度对比
第48-49页
2.4 结论
第49-51页
第3章 焦距检测的实验及结果
第51-81页
3.1 实验装置图
第51-52页
3.2 软件流程及实例
第52-53页
3.3 建立测量基准光路
第53-54页
3.4 基本参数的精度验证
第54-59页
3.4.1 摆台转角精度验证
第54-56页
3.4.2 光栅尺直线度验证
第56页
3.4.3 光栅G2移动精度验证
第56-58页
3.4.4 莫尔条纹测量精度验证
第58-59页
3.5 基本参数标定与校正
第59-68页
3.5.1 光栅周期比β值标定
第59-60页
3.5.2 两光栅距离标定
第60页
3.5.3 两光栅夹角及莫尔条纹的角度定标
第60-64页
3.5.4 反射镜安装校正
第64-65页
3.5.5 组合焦距的非线性校正
第65-66页
3.5.6 由球差带来的误差的校正
第66-68页
3.6 实验步骤
第68-72页
3.7 实验结果
第72-77页
3.7.1 重复性
第72-73页
3.7.2 稳定性
第73页
3.7.3 复现性
第73-74页
3.7.4 精度
第74-77页
3.8 分析与讨论
第77-79页
3.8.1 背景杂光
第77-78页
3.8.2 振动
第78页
3.8.3 空气扰动
第78页
3.8.4 温度
第78-79页
3.8.5 像差
第79页
3.9 结论
第79-81页
第4章 基于涡旋相位波前传感的透镜疵病检测
第81-103页
4.1 疵病的非连续相位
第81-82页
4.2 涡旋相位
第82-83页
4.3 夏克-哈特曼波前传感器工作原理
第83-85页
4.4 基于相位组合-相关匹配的涡旋相位位置的检测
第85-94页
4.4.1 暗场分析
第86-88页
4.4.2 相位倾斜计算
第88页
4.4.3 相位倾斜组合计算
第88-91页
4.4.4 相位旋度计算
第91-92页
4.4.5 相关匹配计算
第92-94页
4.4.6 坐标转换
第94页
4.5 基于相位倾斜匹配的涡旋相位拓扑值检测方法
第94-102页
4.5.1 暗场分析
第96页
4.5.2 相位倾斜计算
第96页
4.5.3 相位倾斜匹配计算
第96-98页
4.5.4 相位倾斜误差分析
第98页
4.5.5 二次相位倾斜匹配计算
第98-102页
4.6 结论
第102-103页
第5章 涡旋相位检测的实验及结果
第103-115页
5.1 涡旋相位的生成方法
第103-104页
5.2 实验装置图
第104-105页
5.3 光路的验证
第105-109页
5.3.1 入射光的准直性验证
第105页
5.3.2 空间滤波器口径大小选择
第105-106页
5.3.3 涡旋相位共轭面的光强分布
第106-107页
5.3.4 理想涡旋相位位置确认
第107-108页
5.3.5 涡旋相位的生成质量
第108-109页
5.4 实验结果
第109-112页
5.4.1 涡旋相位的位置检测结果
第109-111页
5.4.2 涡旋相位的拓扑值检测结果
第111-112页
5.5 分析与讨论
第112-113页
5.6 结论
第113-115页
第6章 总结及展望
第115-119页
6.1 总结
第115页
6.2 创新点
第115-116页
6.3 前景展望
第116-119页
参考文献
第119-127页
作者简历
第127页
攻读硕士期间主要科研成果
第127-128页
本篇论文共
128
页,
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