TOF-SIMS二次离子检测技术研究—博士毕业论文下载

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TOF-SIMS二次离子检测技术研究

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TOF-SIMS二次离子检测技术研究

论文目录
提要	第1-5页
中文摘要	第5-8页
abstract	第8-15页
第1章绪论	第15-31页
1.1 研究背景与意义	第15-19页
1.1.1 研究背景	第15-18页
1.1.2 研究意义	第18-19页
1.2 国内外发展现状	第19-28页
1.2.1 TOF-SIMS技术研究发展现状	第19-22页
1.2.2 TOF-SIMS二次离子检测技术的研究现状	第22-27页
1.2.3 TOF-SIMS二次离子检测技术存在的问题	第27-28页
1.3 论文研究内容	第28-31页
第2章单反射无栅网二次离子质量分析器研制	第31-59页
2.1 引言	第31-32页
2.2 二次离子质量分析器总体设计	第32-36页
2.3 无栅网离子反射镜	第36-40页
2.3.1 反射镜参数设计	第36-38页
2.3.2 反射镜结构设计	第38-40页
2.4 二次离子的多次聚焦技术	第40-42页
2.5 高精度离子检测器	第42-48页
2.5.1 离子检测器结构	第43-44页
2.5.2 离子延时分离技术	第44-48页
2.6 质量分析器的测试与优化	第48-58页
2.6.1 多聚焦透镜组对传输效率的影响	第48-49页
2.6.2 偏转板组对传输效率的影响	第49-51页
2.6.3 多次迭代的调试方法	第51-52页
2.6.4 偏转板对质量分馏的影响	第52-53页
2.6.5 延时脉冲提取测试	第53-55页
2.6.6 离子传输效率测试	第55-56页
2.6.7 二次离子谱峰数据测试	第56-58页
2.7 本章小结	第58-59页
第3章二次离子束斑的实时检测方法研究	第59-79页
3.1 引言	第59-61页
3.2 多角度切割线包围的离子束斑检测方法	第61-65页
3.2.1 改进型刀边法测量束斑研究	第61-62页
3.2.2 多角度切割线包围检测法设计	第62-65页
3.3 多角度切割线包围检测法的实验研究	第65-73页
3.4 二次离子束斑的实时检测	第73-76页
3.5 本章小结	第76-79页
第4章二次离子重叠谱峰的分离方法研究	第79-93页
4.1 引言	第79页
4.2 二次离子谱峰特征分析	第79-83页
4.2.1 谱图的质量标定	第79-82页
4.2.2 特征峰的提取	第82-83页
4.3 基于特征峰匹配的二次离子重叠谱峰分离算法	第83-85页
4.4 算法的仿真比较	第85-89页
4.5 算法的应用研究	第89-92页
4.6 本章小结	第92-93页
第5章 TOF-SIMS应用测试实验	第93-109页
5.1 引言	第93页
5.2 TOF-SIMS铜合金分析	第93-102页
5.2.1 样品制备	第94-96页
5.2.2 实验方法	第96-99页
5.2.3 结果与讨论	第99-102页
5.3 银同位素分析	第102-105页
5.4 TOF-SIMS应用测试的结果分析	第105-106页
5.5 本章小结	第106-109页
第6章总结与展望	第109-112页
6.1 主要研究成果及创新点	第109-110页
6.2 存在的问题及下一步工作建议	第110-112页
参考文献	第112-125页
博士期间取得的主要学术成果	第125-127页
致谢	第127页

本篇论文共127页，点击这进入下载页面。

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