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RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
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RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-14页
第一章 绪论第14-39页
　　1.1 射频微电感的研究进展第14-23页
　　　　1.1.1 栅型微电感第15页
　　　　1.1.2 螺旋型微电感第15-18页
　　　　　　1.1.2.1 平面螺旋微电感第15-16页
　　　　　　1.1.2.2 垂直螺旋微电感第16页
　　　　　　1.1.2.3 悬浮螺旋微电感第16-18页
　　　　　　1.1.2.4 多层螺旋微电感第18页
　　　　1.1.3 螺线管型微电感第18-23页
　　1.2 射频微电容的研究进展第23-30页
　　　　1.2.1 单电容第24-26页
　　　　1.2.2 双电容第26-27页
　　　　1.2.3 叉指（梳状）电容第27-29页
　　　　1.2.4 新颖结构电容第29-30页
　　1.3 本文研究的意义和主要内容第30-32页
　　　　1.3.1 本文研究的意义第30-31页
　　　　1.3.2 本文研究的主要内容第31-32页
参考文献第32-39页
第二章 螺线管微电感的物理模型和参数优化设计第39-55页
　　2.1 微电感的系能参数第39-40页
　　　　2.1.1 电感量第39页
　　　　2.1.2 品质因数第39-40页
　　2.2 螺线管微电感的物理模型第40-47页
　　　　2.2.1 物理结构和几何结构第40-41页
　　　　2.2.2 物理模型第41-47页
　　　　　　2.2.2.1 电感量L_S计算第41-45页
　　　　　　2.2.2.2 串联电阻R_S计算第45页
　　　　　　2.2.2.3 寄生电容C_S计算第45-46页
　　　　　　2.2.2.4 品质因数Q 计算第46-47页
　　2.3 参数优化设计第47-53页
　　　　2.3.1 线圈匝数对微电感性能的影响第47-48页
　　　　2.3.2 线圈导线厚度对微电感性能的影响第48页
　　　　2.3.3 线圈导线长度对微电感性能的影响第48-49页
　　　　2.3.4 线圈导线宽度对微电感性能的影响第49-50页
　　　　2.3.5 线圈导线间距离对微电感性能的影响第50页
　　　　2.3.6 柱子高度和频率对微电感性能的影响第50-51页
　　　　2.3.7 计算结论第51-53页
　　2.4 本章小结第53-54页
参考文献第54-55页
第三章 静电驱动微机械可变电容的设计和优化第55-64页
　　3.1 吸合效应第55-57页
　　3.2 可变电容的设计和优化第57-63页
　　　　3.2.1 金属材料的选取第57页
　　　　3.2.2 牺牲层第57页
　　　　3.2.3 弹性梁第57-60页
　　　　3.2.4 重力对可动极板的作用第60页
　　　　3.2.5 测量第60-61页
　　　　3.2.6 微电容设计的结果第61-63页
　　3.3 本章小结第63-64页
第四章 实验制作工艺第64-75页
　　4.1 基本工艺第64-69页
　　　　4.1.1 溅射第64页
　　　　4.1.2 甩胶第64-65页
　　　　4.1.3 烘胶第65-66页
　　　　4.1.4 曝光第66页
　　　　4.1.5 显影第66页
　　　　4.1.6 电镀第66-67页
　　　　4.1.7 抛光第67页
　　　　4.1.8 去胶第67-68页
　　　　4.1.9 刻蚀第68-69页
　　4.2 套刻符号的制作第69页
　　4.3 空芯螺线管微电感的制作工艺第69-73页
　　4.4 可变电容的制作工艺第73-74页
　　4.5 本章小结第74-75页
第五章 微电感测量结果和分析第75-86页
　　5.1 微电感等效二端口微波网络第75-76页
　　5.2 测量仪器第76-77页
　　5.3 测量结果第77-84页
　　　　5.3.1 玻璃衬底不同几何尺寸的微电感性能与频率的关系第77-79页
　　　　5.3.2 理论计算和实验结果的对比第79-80页
　　　　5.3.3 微电感性能与衬底结构的关系第80-81页
　　　　5.3.4 微电感性能仿真和实验结果的对比第81-84页
　　5.4 本章小结第84-85页
参考文献第85-86页
第六章 微电容测量结果和分析第86-108页
　　6.1 可变电容测量结果第86-90页
　　6.2 可动极板形变分析第90-99页
　　6.3 可变电容的动力学分析第99-103页
　　6.4 本章小结第103-104页
参考文献第104-108页
第七章 总结与展望第108-110页
致谢第110-111页
攻读博士学位期间发表的学术论文第111-114页

本篇论文共114页，点击这进入下载页面。
 
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