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飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究

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飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究
论文目录
 
摘要第1-8页
abstract第8-14页
第一章 绪论第14-25页
  1.1 课题来源第14页
  1.2 课题研究的目的和意义第14-15页
  1.3 国内外研究概况第15-23页
    1.3.1 微加工技术概述第15-16页
    1.3.2 飞秒激光技术的发展第16-17页
    1.3.3 飞秒激光微加工特点及应用第17-21页
    1.3.4 飞秒激光双光子微加工研究概况第21-23页
  1.4 论文的主要研究内容第23-25页
第二章 飞秒激光双光子微加工机理及系统第25-47页
  2.1 引言第25页
  2.2 飞秒激光与物质的相互作用第25-26页
  2.3 双光子吸收原理第26-30页
    2.3.1 双光子吸收过程第26-27页
    2.3.2 双光子吸收的理论模型第27-30页
  2.4 飞秒激光双光子聚合加工原理及特点第30-34页
    2.4.1 飞秒激光双光子微加工原理第30页
    2.4.2 飞秒激光双光子微加工的特点第30-32页
    2.4.3 飞秒激光双光子聚合材料第32-34页
  2.5 飞秒激光微加工系统第34-46页
    2.5.1 实验系统的组成第34-42页
    2.5.2 扫描方式第42-44页
    2.5.3 曝光方式第44-45页
    2.5.4 影响飞秒激光微加工质量的因素分析第45-46页
  2.6 本章小结第46-47页
第三章 折射率不同对微加工的影响及其补偿方法第47-67页
  3.1 引言第47页
  3.2 光在不同介质中传播的理论分析第47-51页
  3.3 加工点光斑强度的数值模拟第51-54页
  3.4 像差计算及分析第54-56页
  3.5 像差补偿理论及实验第56-66页
    3.5.1 离焦点扩散函数第56-57页
    3.5.2 球差补偿模型第57-58页
    3.5.3 球差补偿数值模拟第58-59页
    3.5.4 球差补偿方法第59-60页
    3.5.5 球差补偿实验第60-66页
  3.6 本章小结第66-67页
第四章 飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形第67-87页
  4.1 引言第67页
  4.2 加工点光斑模型第67-70页
  4.3 飞秒激光微加工光斑的轴向整形第70-74页
    4.3.1 轴向整形机理第70-72页
    4.3.2 轴向整形相位板的参数优化与数值模拟第72-74页
  4.4 飞秒激光微加工光斑的横向整形第74-76页
    4.4.1 横向整形机理第74-75页
    4.4.2 横向整形相位板的参数优化与数值模拟第75-76页
  4.5 飞秒激光微加工光斑的三维整形第76-79页
    4.5.1 三维整形相位板的参数优化与数值模拟第76-77页
    4.5.2 光斑三维整形实验第77-79页
  4.6 改善加工点光斑对称性的光束整形方法第79-86页
    4.6.1 通过增加柱透镜组对光束进行整形第80页
    4.6.2 通过增加预聚焦透镜对光束进行整形第80-83页
    4.6.3 通过引入狭缝光阑对光束进行整形第83-86页
  4.7 本章小结第86-87页
第五章 扫描步距对微加工质量的影响及优化方法第87-98页
  5.1 引言第87页
  5.2 固化单元覆盖率的数学模型第87-90页
    5.2.1 固化单元的光强分布第87-88页
    5.2.2 覆盖率的数学模型第88-89页
    5.2.3 覆盖率对加工质量与加工效率的影响第89-90页
  5.3 扫描步距与微器件表面质量特征参数之间的定量关系第90-94页
    5.3.1 理论分析第90-92页
    5.3.2 数值模拟第92-93页
    5.3.3 实验验证第93-94页
  5.4 连续变步距扫描加工方法第94-96页
    5.4.1 工作原理第94-95页
    5.4.2 实验验证第95-96页
  5.5 本章小结第96-98页
第六章 结论与展望第98-101页
  6.1 结论第98-100页
  6.2 展望第100-101页
参考文献第101-113页
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文第113-114页
作者在攻读博士学位期间所作的项目第114-115页
致谢第115页

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