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飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究
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飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究
论文目录
摘要
第1-8页
abstract
第8-14页
第一章 绪论
第14-25页
1.1 课题来源
第14页
1.2 课题研究的目的和意义
第14-15页
1.3 国内外研究概况
第15-23页
1.3.1 微加工技术概述
第15-16页
1.3.2 飞秒激光技术的发展
第16-17页
1.3.3 飞秒激光微加工特点及应用
第17-21页
1.3.4 飞秒激光双光子微加工研究概况
第21-23页
1.4 论文的主要研究内容
第23-25页
第二章 飞秒激光双光子微加工机理及系统
第25-47页
2.1 引言
第25页
2.2 飞秒激光与物质的相互作用
第25-26页
2.3 双光子吸收原理
第26-30页
2.3.1 双光子吸收过程
第26-27页
2.3.2 双光子吸收的理论模型
第27-30页
2.4 飞秒激光双光子聚合加工原理及特点
第30-34页
2.4.1 飞秒激光双光子微加工原理
第30页
2.4.2 飞秒激光双光子微加工的特点
第30-32页
2.4.3 飞秒激光双光子聚合材料
第32-34页
2.5 飞秒激光微加工系统
第34-46页
2.5.1 实验系统的组成
第34-42页
2.5.2 扫描方式
第42-44页
2.5.3 曝光方式
第44-45页
2.5.4 影响飞秒激光微加工质量的因素分析
第45-46页
2.6 本章小结
第46-47页
第三章 折射率不同对微加工的影响及其补偿方法
第47-67页
3.1 引言
第47页
3.2 光在不同介质中传播的理论分析
第47-51页
3.3 加工点光斑强度的数值模拟
第51-54页
3.4 像差计算及分析
第54-56页
3.5 像差补偿理论及实验
第56-66页
3.5.1 离焦点扩散函数
第56-57页
3.5.2 球差补偿模型
第57-58页
3.5.3 球差补偿数值模拟
第58-59页
3.5.4 球差补偿方法
第59-60页
3.5.5 球差补偿实验
第60-66页
3.6 本章小结
第66-67页
第四章 飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形
第67-87页
4.1 引言
第67页
4.2 加工点光斑模型
第67-70页
4.3 飞秒激光微加工光斑的轴向整形
第70-74页
4.3.1 轴向整形机理
第70-72页
4.3.2 轴向整形相位板的参数优化与数值模拟
第72-74页
4.4 飞秒激光微加工光斑的横向整形
第74-76页
4.4.1 横向整形机理
第74-75页
4.4.2 横向整形相位板的参数优化与数值模拟
第75-76页
4.5 飞秒激光微加工光斑的三维整形
第76-79页
4.5.1 三维整形相位板的参数优化与数值模拟
第76-77页
4.5.2 光斑三维整形实验
第77-79页
4.6 改善加工点光斑对称性的光束整形方法
第79-86页
4.6.1 通过增加柱透镜组对光束进行整形
第80页
4.6.2 通过增加预聚焦透镜对光束进行整形
第80-83页
4.6.3 通过引入狭缝光阑对光束进行整形
第83-86页
4.7 本章小结
第86-87页
第五章 扫描步距对微加工质量的影响及优化方法
第87-98页
5.1 引言
第87页
5.2 固化单元覆盖率的数学模型
第87-90页
5.2.1 固化单元的光强分布
第87-88页
5.2.2 覆盖率的数学模型
第88-89页
5.2.3 覆盖率对加工质量与加工效率的影响
第89-90页
5.3 扫描步距与微器件表面质量特征参数之间的定量关系
第90-94页
5.3.1 理论分析
第90-92页
5.3.2 数值模拟
第92-93页
5.3.3 实验验证
第93-94页
5.4 连续变步距扫描加工方法
第94-96页
5.4.1 工作原理
第94-95页
5.4.2 实验验证
第95-96页
5.5 本章小结
第96-98页
第六章 结论与展望
第98-101页
6.1 结论
第98-100页
6.2 展望
第100-101页
参考文献
第101-113页
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文
第113-114页
作者在攻读博士学位期间所作的项目
第114-115页
致谢
第115页
本篇论文共
115
页,
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