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基于摆动进给的超精密金刚石车削加工误差分析与补偿

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基于摆动进给的超精密金刚石车削加工误差分析与补偿
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-14页
第1章 绪论第14-34页
  1.1 课题研究目的及意义第14-15页
  1.2 课题相关内容国内外研究现状第15-30页
    1.2.1 大型光学元件超精密金刚石车削加工技术研究现状第15-23页
    1.2.2 快速刀具伺服系统研究现状第23-27页
    1.2.3 超精密金刚石车削加工误差补偿技术研究现状第27-30页
  1.3 现有研究现状的分析第30-31页
  1.4 本文的研究内容第31-34页
第2章 基于摆动进给超精密金刚石车削加工方法第34-59页
  2.1 引言第34页
  2.2 基于摆动进给超精密金刚石车削机床的球面加工方法第34-41页
    2.2.1 摆动进给超精密金刚石车削机床加工原理第34-35页
    2.2.2 摆动进给超精密金刚石车削机床球面加工范围的确定第35-39页
    2.2.3 摆动进给超精密金刚石车削机床加工参数的确定第39-41页
  2.3 基于FTS系统的非球面加工方法第41-53页
    2.3.1 非球面最接近比较球面的确定第42-45页
    2.3.2 三维空间径向非球面度计算方法第45-50页
    2.3.3 FTS系统的非球面度进给规律第50-51页
    2.3.4 基于FTS系统的非球面切削加工特点分析第51-53页
  2.4 摆动进给超精密金刚石车削加工中的斜角切削第53-57页
    2.4.1 摆动过程中的切削几何参数第53-56页
    2.4.2 摆动过程中的斜角切削力第56页
    2.4.3 FTS系统的性能指标第56-57页
  2.5 本章小结第57-59页
第3章 快速刀具伺服系统的研制及性能测试第59-79页
  3.1 引言第59页
  3.2 快速伺服刀架的结构设计第59-68页
    3.2.1 放大式柔性铰链结构设计及力学分析第59-67页
    3.2.2 FTS机械结构有限元分析第67-68页
  3.3 FTS系统动态特性分析第68-73页
    3.3.1 快速刀具伺服系统机械系统建模与分析第68-69页
    3.3.2 时域响应性能分析第69-73页
  3.4 FTS系统性能测试第73-78页
    3.4.1 系统寄生误差测量与分析第73-74页
    3.4.2 系统静态刚度测量第74页
    3.4.3 系统切削刚度测试第74-75页
    3.4.4 系统固有频率特性测量第75页
    3.4.5 重复定位精度及分辨率测量第75-78页
  3.5 本章小结第78-79页
第4章 基于摆动进给超精密金刚石车削机床误差分析第79-104页
  4.1 引言第79页
  4.2 基于摆动进给超精密机床空间几何误差建模第79-90页
    4.2.1 摆动进给超精密车削机床的拓扑结构第79-81页
    4.2.2 摆动进给超精密车削机床的低序体阵列第81-82页
    4.2.3 摆动进给超精密车削机床的运动误差分析第82-89页
    4.2.4 摆动进给超精密车削机床的运动误差模型第89-90页
  4.3 摆动进给超精密车削机床的误差敏感性分析第90-99页
    4.3.1 误差因素的正交实验设计第91-94页
    4.3.2 正交实验结果分析第94-99页
  4.4 基于摆动进给超精密机床的主要误差因素分析第99-103页
    4.4.1 运动部件Z向误差第99-100页
    4.4.2 摆轴轴线与主轴轴线在竖直平面内平行度误差第100页
    4.4.3 摆轴轴线与主轴轴线在水平平面内平行度误差第100-101页
    4.4.4 摆轴轴线与主轴轴线的距离误差第101页
    4.4.5 摆臂部件角度误差第101-102页
    4.4.6 伺服刀架偏摆误差第102页
    4.4.7 刀具位置误差第102-103页
  4.5 本章小结第103-104页
第5章 基于摆动进给超精密金刚石车削加工误差补偿第104-122页
  5.1 引言第104-106页
  5.2 机床的静态位置误差校正第106-112页
    5.2.1 主轴与导轨进给轴线平行度校正第106-107页
    5.2.2 主轴与基座的平行度校正第107-108页
    5.2.3 主轴轴线与摆轴转动轴线平行度校正第108-110页
    5.2.4 主轴与摆轴轴线等高校正第110-111页
    5.2.5 主轴轴线与摆轴轴线水平间距误差校正第111页
    5.2.6 刀具进给方向与主轴轴线同轴误差校正第111-112页
  5.3 基于软件补偿的非球曲面加工误差补偿方法第112-116页
    5.3.1 FTS寄生误差补偿方法第112-114页
    5.3.2 工件面形误差的在位补偿第114-116页
  5.4 加工实验与结果分析第116-120页
    5.4.1 工艺流程及加工对象第116-117页
    5.4.2 机床静态位置误差补偿实验第117-118页
    5.4.3 基于软件的加工误差在位补偿实验第118-120页
  5.5 本章小结第120-122页
结论第122-125页
参考文献第125-136页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第136-138页
致谢第138-139页
个人简历第139页

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