载入中...
偏压调控笼形空心阴极放电特性及Si-DLC厚膜结构与性能研究
硕士博士毕业论文站内搜索
全站论文库
硕士博士论文库
普通期刊论文库
分类:
教育论文网
→工业技术论文→
金属学与金属工艺论文
→
金属学与热处理论文
→
金属腐蚀与保护、金属表面处理论文
→
腐蚀的控制与防护论文
→
金属表面防护技术论文
偏压调控笼形空心阴极放电特性及Si-DLC厚膜结构与性能研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-16页
第1章 绪论
第16-34页
1.1 引言
第16-17页
1.2 DLC膜分类
第17-18页
1.3 DLC研究现状
第18-25页
1.3.1 DLC膜的失效
第18页
1.3.2 提高膜基结合力措施
第18-24页
1.3.3 DLC厚膜制备工艺
第24-25页
1.4 空心阴极放电技术
第25-32页
1.4.1 空心阴极放电机理
第25-28页
1.4.2 空心阴极放电沉积DLC膜
第28-30页
1.4.3 笼形空心阴极沉积DLC膜
第30-32页
1.5 本文的研究内容
第32-34页
第2章 试验材料及研究方法
第34-41页
2.1 试验材料及预处理
第34-35页
2.2 偏压调控笼形空心阴极沉积技术及实验设备
第35页
2.3 放电特性和光谱测试
第35-37页
2.3.1 等离子体放电特性测试
第35-36页
2.3.2 等离子体发射光谱诊断
第36-37页
2.4 显微结构测试
第37-38页
2.4.1 原子力显微镜
第37页
2.4.2 光学显微镜
第37-38页
2.4.3 扫描电子显微镜
第38页
2.4.4 拉曼光谱测试
第38页
2.4.5 X-射线光电子能谱分析
第38页
2.4.6 X-射线衍射分析
第38页
2.5 力学性能测试
第38-39页
2.5.1 纳米硬度测量
第38-39页
2.5.2 显微硬度测量
第39页
2.6 膜基结合力测试
第39页
2.6.1 洛氏压痕测试
第39页
2.6.2 划痕测试
第39页
2.7 摩擦磨损性能评价
第39页
2.8 氧化性能测试
第39-40页
2.9 腐蚀性能测试
第40-41页
第3章 笼形空心阴极放电特性
第41-52页
3.1 辉光引燃特性
第41-44页
3.1.1 氩气辉光放电
第41-43页
3.1.2 乙炔辉光放电
第43-44页
3.2 放电伏安特性测试
第44-48页
3.2.1 氩气辉光放电
第45-46页
3.2.2 乙炔辉光放电
第46页
3.2.3 单个脉冲放电
第46-48页
3.3 笼网表面状态对放电的影响
第48-51页
3.4 本章小结
第51-52页
第4章 不同气氛下气压和偏压对放电特性的影响
第52-75页
4.1 氩气笼形空心阴极放电
第52-60页
4.1.1 工作气压的影响
第52-54页
4.1.2 附加偏压的影响
第54-57页
4.1.3 氩气放电光谱测试
第57-60页
4.2 乙炔笼形空心阴极放电
第60-67页
4.2.1 工作气压的影响
第60-64页
4.2.2 附加偏压的影响
第64-65页
4.2.3 乙炔放电光谱测试
第65-67页
4.3 Ar和C_2H_2混合气体笼形空心阴极放电
第67-72页
4.3.1 气体比例变化对放电特性的影响
第67-68页
4.3.2 附加偏压对混合气体放电特性的影响
第68-70页
4.3.3 气体比例变化对光谱特性的影响
第70-72页
4.4 放电机制
第72-73页
4.5 本章小结
第73-75页
第5章 偏压对基体表面结构及膜基结合力的影响
第75-89页
5.1 不锈钢基体偏压刻蚀处理
第75-81页
5.1.1 表面相结构及形貌
第75-80页
5.1.2 膜基结合力测试
第80-81页
5.2 不锈钢氮化层偏压刻蚀处理
第81-87页
5.2.1 不锈钢氮化及Ar~+和H~+离子刻蚀
第81-85页
5.2.2 膜基结合力测试
第85-87页
5.3 提高膜基结合力机制
第87-88页
5.4 本章小结
第88-89页
第6章 偏压对Si-DLC膜结构和性能的影响
第89-107页
6.1 偏压调控Si-DLC膜验证实验
第89-90页
6.2 偏压调控Si-DLC膜工艺方案
第90-91页
6.3 Si-DLC膜显微结构及沉积速率
第91-101页
6.3.1 截面形貌及沉积速率
第91-95页
6.3.2 表面形貌及表面粗糙度
第95-96页
6.3.3 膜层结构和化学态分析
第96-101页
6.4 Si-DLC膜机械性能表征
第101-105页
6.4.1 力学性能测试分析
第101-102页
6.4.2 结合力测试分析
第102-103页
6.4.3 摩擦磨损测试分析
第103-105页
6.5 本章小结
第105-107页
第7章 偏压调控Si-DLC膜制备及性能研究
第107-130页
7.1 Si-DLC膜层设计及制备工艺
第107-108页
7.2 Si-DLC膜微观结构和表面粗糙度
第108-111页
7.3 Si-DLC膜机械性能表征
第111-120页
7.3.1 显微硬度测试分析
第111页
7.3.2 膜基结合力测试分析
第111-115页
7.3.3 厚度对膜层韧性的影响
第115-118页
7.3.4 摩擦磨损性能分析
第118-120页
7.4 Si-DLC膜耐氧化性和耐腐蚀性
第120-125页
7.4.1 耐氧化性分析
第120-122页
7.4.2 耐腐蚀性分析
第122-125页
7.5 高结合力Si-DLC膜制备
第125-127页
7.6 152μmSi-DLC膜制备及应用实例
第127-128页
7.7 本章小结
第128-130页
结论
第130-133页
参考文献
第133-145页
攻读博士学位期间发表的学术论文及其它成果
第145-147页
致谢
第147-148页
个人简历
第148-149页
附件
第149页
本篇论文共
149
页,
点击这进入下载页面
。
更多论文
偏压调控笼形空心阴极放电特性及Si
邮储银行A市分行信用风险管理研究
镁合金表面超疏水涂层的构建及其腐
XX投资公司绩效考核体系改进研究
感应熔覆熔池流动与敏感性参数控制
江西GS厂民品发展战略研究
应力作用下金属点蚀与结构可靠性分
高铬铸铁复合轧辊辊套界面结构及耐
A燃气公司发展战略研究
杂质元素锡锑和稀土元素铈对T/P91耐
A公司营销人员绩效考核体系优化研究
高温固态置氢TiAl合金组织演化及高
A巴士公交公司人力资源开发管理研究
TiAl合金热处理过程中亚稳相形成机
九牧王服装企业发展战略研究
MgAgSb基合金的组织结构与热电性能
JXYC企业人才激励案例研究
九江市A农业企业生产经营提升策略研
液态Ga高压局域结构演化研究
钛铝系合金热变形行为与扩散连接性
基于双因素理论的铁路局管理人员薪
置氢Ti-46Al-2V-1Cr-0.3Ni合金高温
HC公司战略性绩效管理研究
高强耐蚀7050铝合金成分优化与时效
G房地产公司发展战略研究
JXGJ信托公司风险防范管理及对策研
钨钼复合二次硬化超高强度钢析出相
L交通施工企业员工心理契约违背对工
铁路辙叉用合金钢的组织和性能研究
小微民营外贸企业核心员工激励机制
高锰奥氏体孪晶诱发塑性钢的增强增
长沙7天连锁酒店员工绩效管理体系优
纯钼粉大塑性变形的细观模拟及微观
长沙百事可乐公司员工绩效考核体系
Mg-Nd-Sm-Zn-Zr合金微观组织演变及
金牛煤电公司员工绩效考核体系改进
极端条件下NiTi基形状记忆合金形变
拓维公司中层管理团队胜任力提升策
二代镍基单晶高温合金的显徽结构演
南宁BS公司一线员工激励问题研究
金属玻璃力学行为及其微观机理的初
W联通大客户经理绩效管理体系研究
极端条件下高熵合金组织结构及性能
中国移动广西公司激励机制改革对国
高容量型RE-Mg-Ni系贮氢合金的相结
ZN集团公司战略规划研究——基于资
Zr
41.2
Ti
13.8
广西区邮政书报刊发行局人力资源战
ZrCu基高温记忆合金的马氏体相变与
南宁城建集团发展战略研究
高速撞击TiNi基合金的马氏体相变与
转型变革背景下中小企业专业技术人
Ti基和稀土基金属玻璃高压下的结构
基于扩张战略的SZ酒店核心人才培养
时效Ti-Ni-Cu-Pd窄滞后记忆合金的马
D运输集团驾驶培训业务发展战略研究
褐煤高温渗透与细观特征的试验研究
GEC工程公司项目人员奖金分配研究
矿井主通风机高压电动机故障机理及
小微企业社会责任感及其培育研究
高压旋喷射流流动特性及应用研究
高管早期经历与公司债务保守行为的
煤与瓦斯突出致突险兆因子事件链模
组织认同对直销人员组织公民行为的
基于能量转换的防冲击首绳快速更换
基于平衡计分卡的S公司软件开发人员
长距离可伸缩带式输送机运行理论和
A财产保险公司客服部绩效管理体系研
基于SCAP的服务器安全基线核查设计
基于中空结构的介孔电极材料制备及
市场化进程、企业社会责任与财务绩
钛改性多级孔材料的制备及氧化脱硫
我国核电上市公司社会责任绩效与公
氧化钒—碳纳米管复合薄膜的制备、
团队领导意义建构与团队绩效的实证
PI/Al
2
O
3
三
网络嵌入视角下中层管理者角色行为
电场和温度场下SiO
2
/聚
高管流动与跨企业战略学习中的“马
PVDF基有机复合薄膜的介电储能性能
基于生命周期视角的企业社会责任信
高功率脉冲放电阴极靶材溅射行为与
高绩效工作系统、组织公民行为和任
国企EVA考核、社会责任绩效和可持续
硒化铟纳米薄膜的制备及其电学和光
全面风险管理水平对企业价值的影响
PbZrTiO
3
基复合薄膜的电
沟通、知识共享与员工绩效的关系研
铜表面均三嗪二硫醇硅烷纳米薄膜的
基于冲突理论的高管团队战略信念研
金纳米颗粒光热参数重建及其在激光
中联重科知识型员工激励机制研究
铜纳米颗粒合成及其低温烧结互连行
Q公司招聘有效性分析及改进对策研究
周期纳米结构的异常折射率和完美吸
SP公司技能型员工培训问题分析及对
二氧化钒纳米线的制备和导电特性与
G公司项目经理薪酬激励研究
RH软件公司研发人员流失原因及对策
层状钼化合物纳米复合材料的氢气气
H建筑公司人力资源成本控制研究
PZT薄膜及ZnO纳米线阵列的制备及其
华雅国际大酒店基层员工流失现状及
锗基纳米材料的制备及其电化学性能
笼形空心阴极论文
偏压调控论文
放电特性论文
膜基结合力论文
版权申明
:目录由用户
沈**
提供,
www.51papers.com
仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录
请点击这里
。
|
设为首页
||
加入收藏
||
站内搜索引擎
||
站点地图
||
在线购卡
|
版权所有
教育论文网
Copyright(C) All Rights Reserved