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微纳米压电复合材料的制备与性能研究

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微纳米压电复合材料的制备与性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-30页
  1.1 研究背景第11-12页
  1.2 压电材料简介第12-16页
  1.3 压电材料的发展历程第16-19页
  1.4 压电复合材料研究现状第19-27页
    1.4.1 压电复合材料主要类型第19-21页
    1.4.2 1-3 压电复合材料的研究现状第21-24页
      1.4.2.1 1-3 压电复合材料的研究进展第21-22页
      1.4.2.2 1-3 压电复合材料的理论模型第22-24页
      1.4.2.3 1-3 压电复合材料的特点第24页
    1.4.3 有序阵列 1-3 压电复合材料研究现状第24-27页
  1.5 pMUTs的研究现状和存在的问题第27-29页
  1.6 本论文的选题依据和研究内容第29-30页
第二章 实验方法及测试第30-45页
  2.1 AlN压电复合材料制备第30-36页
    2.1.1 AlN薄膜制备技术简介第30-33页
      2.1.1.1 磁控溅射的基本原理原理第30-31页
      2.1.1.2 中频反应磁控溅射系统第31-32页
      2.1.1.3 中频反应磁控溅射的特点第32-33页
    2.1.2 AlN薄膜制备第33-34页
    2.1.3 1-3 压电复合材料的制备第34-36页
  2.2 PMN-PT压电复合材料制备第36-39页
    2.2.1 实验药品第36-37页
    2.2.2 PNM-PT纳米线制备第37-38页
    2.2.3 1-3 压电复合材料制备第38-39页
  2.3 分析测试方法第39-45页
    2.3.1 X射线衍射分析第39-40页
    2.3.2 扫描电子显微镜和能谱仪第40页
    2.3.3 原子力显微镜第40页
    2.3.4 透射电子显微镜第40-41页
    2.3.5 拉曼散射光谱分析第41页
    2.3.6 X射线光电子能谱仪第41-42页
    2.3.7 薄膜厚度测试第42页
    2.3.8 声学性能测试第42页
    2.3.9 力学性能测试第42-43页
    2.3.10 压电系数测试第43页
    2.3.11 I-V测试第43页
    2.3.12 C-V测试第43-44页
    2.3.13 铁电性能测试第44-45页
第三章 ALN薄膜与 1-3 压电复合材料的研究第45-70页
  3.1 溅射参数对AlN薄膜质量的影响第45-54页
    3.1.1 靶基距对薄膜质量的影响第45-48页
    3.1.2 溅射功率对薄膜质量的影响第48-49页
    3.1.3 溅射气压对薄膜质量的影响第49-50页
    3.1.4 氮分压对薄膜质量的影响第50-54页
  3.2 AlN薄膜制备工艺的优化和表征第54-63页
    3.2.1 AlN薄膜制备工艺的优化第54-57页
    3.2.2 电极材料的选取第57-59页
    3.2.3 AlN薄膜的表征第59-63页
  3.3 1-3 压电复合薄膜的制备和性能研究第63-68页
    3.3.1 1-3压电复合薄膜的制备第63页
    3.3.2 AlN体积含量对复合薄膜电性能的影响第63-65页
    3.3.3 聚合物对复合薄膜电学性能的影响第65-68页
  3.4 本章小结第68-70页
第四章 PMN-PT纳米压电材料的制备与性能研究第70-94页
  4.1 PMN-PT纳米线水热合成简介第70-72页
    4.1.1 合成方法第70-71页
    4.1.2 合成机理第71-72页
  4.2 PMN-PT纳米线水热法合成工艺研究第72-83页
    4.2.1 PMN-PT纳米线成分范围第72-73页
    4.2.2 溶质溶浓度对水热合成的影响第73-75页
    4.2.3 矿化剂浓度对水热合成的影响第75-76页
    4.2.4 表面活性剂PAA浓度对水热合成的影响第76-80页
    4.2.5 反应温度对水热合成的影响第80-82页
    4.2.6 反应时间对水热合成的影响第82-83页
  4.3 PMN-0.3PT纳米线的表征和电学特性第83-92页
    4.3.1 PMN-0.3PT纳米线的表征第83-87页
    4.3.2 PMN-0.3PT纳米线的电学特性第87-92页
  4.4 本章小结第92-94页
第五章 1-3 纳米压电复合材料的制备与性能研究第94-117页
  5.1 PMN-PT/PVDF压电复合材料的制备第94-95页
  5.2 PMN-PT纳米线含量对复合材料的结构和性能的影响第95-101页
    5.2.1 PMN-PT纳米线含量对复合材料结构的影响第95-96页
    5.2.2 PMN-PT纳米线含量对复合材料力学性能的影响第96-98页
    5.2.3 PMN-PT纳米线含量对复合材料电学性能的影响第98-101页
  5.3 1-3 压电复合材料的工作机理第101-103页
  5.4 影响复合材料输出特性的因素第103-109页
    5.4.1 压电相形态对复合材料性能的影响第103-105页
    5.4.2 聚合物基体对复合材料输出性能的影响第105-106页
    5.4.3 极化条件对复合材料输出性能的影响第106-109页
  5.5 PMN-PT/PVDF复合材料的应用第109-113页
  5.6 PMN-PT纳米有序阵列的探索第113-115页
  5.7 本章小结第115-117页
第六章 结论第117-120页
  6.1 结论第117-118页
  6.2 创新点第118-119页
  6.3 展望第119-120页
致谢第120-121页
参考文献第121-134页
攻读博士学位期间取得的成果第134-135页

本篇论文共135页,点击这进入下载页面
 
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