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振动辅助热压烧结AlN和YAG陶瓷的研究
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振动辅助热压烧结AlN和YAG陶瓷的研究
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第一章 绪论第13-39页
　　1.1 陶瓷烧成过程第13-15页
　　1.2 烧结理论第15-19页
　　　　1.2.1 固相烧结第15-18页
　　　　1.2.2 液相烧结第18-19页
　　1.3 烧成方法对材料性能的影响第19-24页
　　　　1.3.1 烧结致密化的影响因素第19-20页
　　　　1.3.2 不同烧成方法的特点与影响第20-24页
　　1.4 AlN陶瓷的制备工艺第24-30页
　　　　1.4.1 AlN的结构性能及应用领域第24-25页
　　　　1.4.2 AlN配方及烧结工艺第25-28页
　　　　1.4.3 AlN陶瓷热导性能的影响因素第28-30页
　　1.5 YAG激光透明陶瓷第30-36页
　　　　1.5.1 YAG结构与激光性能第30-31页
　　　　1.5.2 YAG粉体及助烧结剂第31-33页
　　　　1.5.3 YAG陶瓷的烧结第33-34页
　　　　1.5.4 YAG激光透明陶瓷的应用第34-36页
　　1.6 本课题研究的背景、意义及研究内容第36-39页
　　　　1.6.1 研究背景第36-37页
　　　　1.6.2 主要研究内容第37页
　　　　1.6.3 创新点第37-39页
第二章 实验原料、仪器设备与测试方法第39-46页
　　2.1 实验原料第39页
　　　　2.1.1 制备AlN所用原料第39页
　　　　2.1.2 制备YAG所用原料第39页
　　2.2 仪器与设备第39-41页
　　2.3 实验方法第41-42页
　　　　2.3.1 AlN陶瓷制备工艺第41-42页
　　　　2.3.2 YAG陶瓷制备工艺第42页
　　2.4 测试与表征第42-46页
　　　　2.4.1 X射线衍射（XRD）分析第42页
　　　　2.4.2 扫描电镜（SEM）和能谱（EDS）分析第42-43页
　　　　2.4.3 差热（DTA）和热重（TG）分析第43页
　　　　2.4.4 粒度分析第43页
　　　　2.4.5 力学性能测量（抗弯强度测试）第43-44页
　　　　2.4.6 热导率测试第44页
　　　　2.4.7 透光率测试第44-45页
　　　　2.4.8 电子探针测试第45-46页
第三章 振动辅助热压烧结方法第46-52页
　　3.1 引言第46页
　　3.2 振动辅助热压烧结的工作原理第46-47页
　　3.3 振动辅助热压烧结设备第47-50页
　　　　3.3.1 振动辅助热压烧结炉的构成第47-49页
　　　　3.3.2 振动辅助热压烧结炉的控制系统第49-50页
　　　　3.3.3 振动热压烧结炉主要尺寸、性能参数第50页
　　3.4 技术参数第50-51页
　　　　3.4.1 烧结性能第50页
　　　　3.4.2 系统性能第50页
　　　　3.4.3 电源需求第50-51页
　　　　3.4.4 传感器性能第51页
　　　　3.4.5 振动热压烧结炉的特点第51页
　　3.5 本章小结第51-52页
第四章 ALN陶瓷的振动辅助热压烧成第52-85页
　　　　4.1. 引言第52页
　　4.2 气氛炉无压烧结AlN陶瓷第52-62页
　　　　4.2.1 实验部分第52-53页
　　　　4.2.2 实验设计第53页
　　　　4.2.3 结果与讨论第53-62页
　　　　　　4.2.3.1 密度、抗弯强度与烧结性第53-60页
　　　　　　4.2.3.2 热导率性能第60页
　　　　　　4.2.3.3 AlN磨球第60-62页
　　　　4.2.4 实验小结第62页
　　4.3 热压烧结AlN陶瓷第62-67页
　　　　4.3.1 实验部分第62-63页
　　　　4.3.2 实验设计第63页
　　　　4.3.3 结果与讨论第63-66页
　　　　　　4.3.3.1 热压温度与压力实验第63-64页
　　　　　　4.3.3.2 防渗碳实验第64-66页
　　　　4.3.4 实验小结第66-67页
　　4.4 振动辅助热压烧结（VHP）AlN陶瓷第67-79页
　　　　4.4.1 实验部分第67-68页
　　　　4.4.2 实验设计第68-69页
　　　　4.4.3 结果与讨论第69-79页
　　　　　　4.4.3.1 密度与显微结构第69-71页
　　　　　　4.4.3.2 力学性能第71-72页
　　　　　　4.4.3.3 振动热压密实机理分析第72-76页
　　　　　　4.4.3.4 物相分析与热导率第76-79页
　　　　4.4.4 本节小结第79页
　　4.5 AlN陶瓷基片的应用第79-83页
　　　　4.5.1 AlN陶瓷基片的散热性能测量第80-82页
　　　　4.5.2 AlN陶瓷基片在高功率COB上的应用第82-83页
　　　　4.5.3 本节小结第83页
　　4.6 本章小结第83-85页
第五章 YAG透明陶瓷的振动辅助热压烧成第85-111页
　　5.1 引言第85页
　　5.2 Nd:YAG纳米粉体制备第85-92页
　　　　5.2.1 化学共沉淀法第85-91页
　　　　5.2.2 固相法第91-92页
　　　　5.2.3 本节小结第92页
　　5.3 VHP工艺制备YAG激光透明陶瓷第92-110页
　　　　5.3.1 影响透明陶瓷透光性的因素第92-93页
　　　　5.3.2 高透光率YAG制备第93-106页
　　　　　　5.3.2.1 渗碳的影响第94-96页
　　　　　　5.3.2.2 无渗碳透明YAG的制备第96-103页
　　　　　　5.3.2.3 YAG透明陶瓷退火的效果第103-106页
　　　　5.3.3 VHP工艺制备完整YAG样品第106-109页
　　　　5.3.4 本节小结第109-110页
　　5.4 本章小结第110-111页
结论第111-113页
参考文献第113-121页
攻读博士学位期间取得的研究成果第121-122页
致谢第122-123页
附件第123页

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