电—磁场复合增强高功率脉冲磁控放电特性及钒膜制备研究

	载入中...

电—磁场复合增强高功率脉冲磁控放电特性及钒膜制备研究

分类：教育论文网→工业技术论文→金属学与金属工艺论文→金属学与热处理论文→金属腐蚀与保护、金属表面处理论文→腐蚀的控制与防护论文→金属表面防护技术论文→金属复层保护论文→真空镀与气相镀法论文

电—磁场复合增强高功率脉冲磁控放电特性及钒膜制备研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-16页
第1章绪论	第16-38页
1.1 引言	第16-17页
1.2 磁控溅射技术	第17-21页
1.2.1 磁控溅射技术原理	第17-19页
1.2.2 电离化磁控溅射技术	第19-21页
1.3 高功率脉冲磁控溅射技术	第21-33页
1.3.1 HIPIMS的放电特性	第22-27页
1.3.2 HIPIMS的技术优势	第27-29页
1.3.3 HIPIMS存在的问题	第29-31页
1.3.4 复合HIPIMS的发展	第31-33页
1.4 铝合金表面改性技术	第33-35页
1.5 钒膜制备的研究现状	第35-36页
1.6 本文的主要研究内容	第36-38页
第2章电-磁场复合增强HIPIMS技术及研究方法	第38-48页
2.1 电-磁场复合增强HIPIMS技术	第38-42页
2.1.1 V膜制备工艺探索	第38-41页
2.1.2 电-磁场复合增强HIPIMS技术原理	第41页
2.1.3 电-磁场复合增强HIPIMS技术实验装置	第41-42页
2.2 试验材料	第42页
2.3 实验工艺	第42-46页
2.3.1 放电等离子体特性测试	第42-43页
2.3.2 等离子体发射光谱诊断	第43-45页
2.3.3 V膜制备工艺	第45-46页
2.4 膜层分析测试方法	第46-48页
2.4.1 X-射线衍射分析	第46页
2.4.2 X-射线光电子能谱分析	第46页
2.4.3 光学显微镜观察	第46页
2.4.4 原子力显微镜观察	第46页
2.4.5 扫描电子显微镜观察	第46-47页
2.4.6 膜基结合力的压痕测试	第47页
2.4.7 摩擦磨损性能测试	第47页
2.4.8 电化学腐蚀性能测试	第47-48页
第3章电场增强HIPIMS放电等离子体特性	第48-78页
3.1 不同附加电极特性时基体离子电流演化规律	第48-56页
3.1.1 附加电极电压的影响	第48-53页
3.1.2 附加电极位置的影响	第53-55页
3.1.3 磁控附加电极的影响	第55-56页
3.2 工艺参数对基体离子电流的影响	第56-62页
3.2.1 工作气压的影响	第56-58页
3.2.2 靶基间距的影响	第58-60页
3.2.3 HIPIMS脉冲频率的影响	第60-61页
3.2.4 HIPIMS脉冲宽度的影响	第61-62页
3.3 电场增强HIPIMS系统等离子体分布特征	第62-66页
3.3.1 矩形平面状电极	第62-65页
3.3.2 圆柱状电极	第65-66页
3.4 电场增强HIPIMS放电光谱特性	第66-71页
3.4.1 电极电压对光谱强度的影响	第67页
3.4.2 电极位置对光谱强度的影响	第67-71页
3.5 电场增强HIPIMS放电机理	第71-76页
3.6 本章小结	第76-78页
第4章磁场增强HIPIMS放电等离子体特性	第78-97页
4.1 不同励磁电流时基体离子电流演化规律	第78-81页
4.2 工艺参数对基体离子电流的影响	第81-88页
4.2.1 工作气压的影响	第81-83页
4.2.2 基体偏压的影响	第83页
4.2.3 靶基间距的影响	第83-85页
4.2.4 HIPIMS脉冲频率的影响	第85-87页
4.2.5 HIPIMS脉冲宽度的影响	第87-88页
4.3 磁场增强HIPIMS系统等离子体分布特征	第88-91页
4.3.1 矩形平面状电极	第88页
4.3.2 圆柱状电极	第88-91页
4.4 磁场增强HIPIMS放电光谱特性	第91-93页
4.5 磁场增强HIPIMS放电机理	第93-96页
4.6 本章小结	第96-97页
第5章电-磁场复合增强HIPIMS放电等离子体特性	第97-119页
5.1 不同外场增强HIPIMS放电等离子体特性	第97-105页
5.2 电、磁场工艺参数对基体离子电流的影响	第105-109页
5.2.1 电极电压的影响	第105-106页
5.2.2 电极位置的影响	第106页
5.2.3 励磁电流的影响	第106-109页
5.3 电-磁场复合增强HIPIMS系统等离子体分布特征	第109-112页
5.3.1 矩形平面状电极	第109-110页
5.3.2 圆柱状电极	第110-112页
5.4 电-磁场复合增强HIPIMS放电光谱特性	第112-116页
5.5 电-磁场复合增强HIPIMS放电机理	第116-118页
5.6 本章小结	第118-119页
第6章电-磁场复合增强HIPIMS制备V膜的结构及性能	第119-150页
6.1 V膜的相结构及化学态组分	第119-123页
6.2 V膜的表面形貌及表面粗糙度	第123-130页
6.2.1 电极电压的影响	第126-128页
6.2.2 励磁电流的影响	第128-130页
6.3 V膜的截面形貌及沉积速率	第130-136页
6.3.1 电极电压的影响	第133-135页
6.3.2 励磁电流的影响	第135-136页
6.4 V膜的膜基结合力	第136-137页
6.5 V膜的耐摩擦磨损性能	第137-140页
6.5.1 电极电压的影响	第138-139页
6.5.2 励磁电流的影响	第139-140页
6.6 V膜的耐腐蚀性能	第140-146页
6.6.1 电极电压的影响	第142-143页
6.6.2 励磁电流的影响	第143-146页
6.7 V膜的高温性能	第146-147页
6.8 本章小结	第147-150页
结论	第150-152页
论文创新点	第152-153页
参考文献	第153-165页
攻读博士学位期间发表的学术论文及其它成果	第165-167页
致谢	第167-168页
个人简历	第168页

本篇论文共168页，点击这进入下载页面。

更多论文
电—磁场复合增强高功率脉冲磁控放
陕西省支农再贷款问题研究
扫描式微弧氧化方法及膜层性能研究
陕西省杨凌区农村小额贷款需求研究
模具热处理两阶段流水车间批调度算
银团贷款中牵头行发挥作用的对策研
7000系铝合金的非等温时效行为及其
养老产业信贷融资定价研究
储氚钛中氦和氢的行为研究
微量元素对铬钼和碳锰低合金压力容
商业银行中小企业信贷风险评估研究
往复镦—挤变形镁合金半固态组织及
农户小额贷款风险及控制研究——以
Ti-45Al-10Nb合金的粉末冶金法制备
基于银行视角的农户小额贷款风险管
光致金属瞬态表面电场与超快晶格结
农村信用社隐性不良贷款风险防控对
纯钛的变形孪晶演变规律及相关晶体
我国个人住房按揭贷款定价的实证探
控轧控冷中微合金钢组织性能调控基
几种典型金属材料形变损伤与断裂特
DM农村信用社信贷风险识别与防范研
Fe-Mn-Si-Al合金的微现组织与交叉机
伊春市农村小额信贷风险研究
Fe-Mn-C系TWIP钢组织性能及变形机制
鹤岗市农户小额信贷研究
超快速冷却条件下碳素结构钢中渗碳
电磁超声换能器在板中激励导波的波
长春发展农商银行LS支行信贷风险管
提高梅山选矿厂弱磁性铁矿物利用效
AB银行TC分行个人贷款业务风险管理
基于晶体化学的硫化铁矿物浮选特性
“点”式定向水力压裂机理及工程应
吉林PS农村商业银行信贷风险研究
含瓦斯煤渗透特性影响因素与煤层瓦
常熟农商行小额信贷线上发展的现实
北洺河铁矿无底柱分段崩落法回采参
邮储银行朝阳市分行小微企业贷款业
煤岩剪切细观开裂演化及其特征量化
民生银行长春分行小微企业贷款业务
可重构人工电磁媒质理论与应用关键
中国邮政储蓄银行吉林省分行住房抵
电磁超材料在微波吸波体与天线中的
中国邮政储蓄银行红沿河核电贷款项
仿生格栅增强蜂窝夹芯结构的设计、
盖州市农村信用合作社个人信贷风险
超声化学合成金属氧化物粉体的结构
纳米WC、VC及其复合粉体的制备与块
经济集聚、地理条件对外资区位分布
AlN压电薄膜复合结构研究
基于缺口理论的我国利用外资政策调
纳米氧化钒薄膜的低温制备及结构与
引进外资中的地方政府行为研究——
高分子辅助沉积法制备BaTiO_3<
锗/导电氧化物光学薄膜制备及性质
中小企业会计信息化的风险评价研究
PZT薄膜晶化机理及取向控制研究
高管会计师事务所关联与审计质量的
用于PCB埋嵌电阻的Ni-P金属薄膜及喷
特殊普通合伙会计师事务所转制对审
PZT基双层压电复合薄膜制备及性能研
双钙钛矿LaBaCo₂O
基于巴塞尔协议的会计要素修正研究
在镍基高温合金上制备薄膜热电偶及
公允价值层次及其输入值问题研究
氧化钒薄膜的脉冲反应磁控溅射制备
磁性异质结的自旋输运及自旋动力学
公允价值会计职业判断质量研究
红外透明导电氧化物薄膜的制备及光
非活跃市场环境下公允价值计量问题
多铁性纳米材料的忆阻效应及其存储
基于金属纳米结构的光传输特性及其
我国本土会计师事务所合并对审计质
功能化荧光纳米探针用于生物传感和
信永中和会计师事务所合并后的整合
表面修饰ZnO纳米棒光致发光和表面增
天职国际会计师事务所有限公司战略
SiC纳米线三维结构的制备与生物相容
PY会计师事务所大连分所审计质量控
二维半导体溶液纳米晶的化学合成和
永信会计公司发展战略及实施方案
纳米晶—配体复合物溶液性质研究
以公允价值计量A公司生猪资产的应用
纳米图案化技术的研究与应用
纳米氧化物的形貌可控制备及其催化
中天运会计师事务所审计质量控制问
CdTe、Zn_xCd_1-x
不同形貌钙钛矿型氧化物、氧化锌纳
关于X会计师事务所的J公司内控审计
四氧化三铁及其金银纳米复合物的光
山东天和会计师事务所审计质量控制
自驱动阴阳型聚合物多层胶囊马达的
异种金属纳米颗粒飞秒激光连接作用
信永中和合并四川君和会计师事务所
固液界面表面电荷对微纳米尺度流体
湖南平天会计师事务所审计质量控制
氧化锌纳米棒载量子点的制备和光-电
多元硫族纳米材料的溶剂热法制备及
投资性房地产公允价值计量模式的应
氧化锌纳米功能材料的制备及其性能
收益法在资产评估中的应用研究——
锂离子电池锡基纳米负极材料制备及
会计师事务所合并对审计质量的影响

高功率脉冲磁控溅射技术论文电场磁场钒膜
版权申明：目录由用户ywzy**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved