铋基焦绿石铌酸铋镁材料结构及薄膜的介电性能研究

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铋基焦绿石铌酸铋镁材料结构及薄膜的介电性能研究

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铋基焦绿石铌酸铋镁材料结构及薄膜的介电性能研究

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-11页
第一章绪论	第11-25页
1.1 研究背景与意义	第11-14页
1.2 介电可调薄膜的研究进展	第14-20页
1.3 BMN介电材料简介	第20-23页
1.3.1 BMN材料的结构	第20-21页
1.3.2 BMN材料的研究概况	第21-23页
1.4 论文的选题及研究内容	第23-25页
第二章实验方法	第25-41页
2.1 BMN薄膜的制备	第25-32页
2.1.1 薄膜的制备方法	第25-28页
2.1.2 靶材的制备	第28-29页
2.1.3 基底和电极材料的选择与制备	第29-32页
2.2 薄膜的微观结构表征方法	第32-38页
2.2.1 X射线衍射技术	第32-33页
2.2.2 原子力显微镜（AFM）	第33-35页
2.2.3 拉曼光谱分析法	第35-36页
2.2.4 红外反射光谱分析法	第36-38页
2.3 薄膜的介电性能测试方法	第38-41页
2.3.1 C-V特性测试	第39页
2.3.2 I-V特性测试	第39-41页
第三章 BMN材料的结构及介电调谐机制分析	第41-55页
3.1 Mg~(2＋)离子含量对BMN结构的影响	第41-48页
3.2 Mg~(2＋)离子含量对BMN陶瓷材料介电性能的影响	第48-50页
3.3 BMN材料介电调谐机理分析	第50-53页
3.4 本章小结	第53-55页
第四章 BMN薄膜材料的制备	第55-69页
4.1 薄膜生长条件	第55-59页
4.1.1 基底温度对薄膜结构影响	第55-57页
4.1.2 溅射气压对薄膜结构影响	第57-58页
4.1.3 溅射气氛对薄膜结构影响	第58-59页
4.2 Mg~(2＋)离子含量对BMN薄膜材料结构的影响	第59-62页
4.3 Mg~(2＋)离子含量对BMN薄膜材料介电性能的影响	第62-65页
4.4 优化条件下BMN薄膜的介电性能	第65-67页
4.5 本章小结	第67-69页
第五章 BMN薄膜介电损耗机理的研究	第69-88页
5.1 BMN薄膜介电损耗测试方案	第69-74页
5.2 BMN薄膜中的非本征损耗	第74-81页
5.2.1 普适弛豫现象	第74-75页
5.2.2 传导电子损耗	第75-76页
5.2.3 局域极化损耗	第76-77页
5.2.4 带电缺陷损耗	第77-80页
5.2.5 BMN薄膜的介电损耗机制分析	第80-81页
5.3 BMN薄膜的退火处理研究	第81-87页
5.3.1 退火处理对BMN薄膜结构的影响	第81-83页
5.3.2 退火处理对BMN薄膜介电性能的影响	第83-87页
5.4 本章小结	第87-88页
第六章 BMN图形化技术及原型器件的研究	第88-105页
6.1 BMN薄膜变容管的制备	第89-98页
6.1.1 BMN薄膜变容管的结构	第89-91页
6.1.2 BMN薄膜的图形化	第91-97页
6.1.3 BMN薄膜变容管的加工	第97-98页
6.2 BMN薄膜变容管的性能测试及结果分析	第98-103页
6.3 本章小结	第103-105页
第七章结论	第105-108页
7.1 主要结论	第105-106页
7.2 创新点	第106-107页
7.3 未来工作的建议	第107-108页
致谢	第108-109页
参考文献	第109-119页
攻读博士学位期间取得的成果	第119-121页

本篇论文共121页，点击这进入下载页面。

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