聚合物薄膜退火自组织结构的形成机理及其应用

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聚合物薄膜退火自组织结构的形成机理及其应用

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聚合物薄膜退火自组织结构的形成机理及其应用

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章绪论	第10-33页
1.1 微纳米加工技术的发展现状	第11-15页
1.1.1 "自上而下"的微纳米加工技术	第11-14页
1.1.2 "自下而上"的微纳米自组织技术	第14-15页
1.2 聚合物薄膜的退火自组织行为	第15-18页
1.3 聚合物薄膜在受限情况下的退火行为	第18-21页
1.4 表面增强拉曼散射现象	第21-22页
1.5 本文的主要内容	第22-24页
参考文献	第24-33页
第二章 PS/PMMA共混薄膜退火自组织行为	第33-45页
2.1 引言	第33-34页
2.2 实验方法	第34页
2.3 PS/PMMA共混薄膜相分离微结构	第34-39页
2.3.1 膜厚对PS微滴尺寸的影响	第34-35页
2.3.2 PS/PMMA配比对相分离行为的影响	第35-39页
2.4 PS/PMMA共混薄膜失稳分解中的特征尺度	第39-41页
2.4.1 特征尺度随时间的变化	第39-40页
2.4.2 PS/PMMA共混薄膜膜厚对特征尺度的影响	第40-41页
2.5 本章小结	第41-43页
参考文献	第43-45页
第三章光学共振结构的制备及其在SERS中的应用	第45-63页
3.1 引言	第45-46页
3.2 实验方法	第46-47页
3.3 光学共振结构的形貌	第47-50页
3.4 共振结构的光学性质	第50-53页
3.5 共振结构在表面增强拉曼光谱中的应用	第53-56页
3.6 以PMMA环结构为模板制备金属共振结构	第56-59页
3.7 本章小结	第59-60页
参考文献	第60-63页
第四章图案衬底上PS/PMMA有序相分离结构的产生机制	第63-82页
4.1 引言	第63页
4.2 实验方法	第63-65页
4.3 周期性PS微滴的形成及结构分析	第65-70页
4.4 衬底空洞周期及初始PS/PMMA薄膜膜厚的影响	第70-71页
4.5 PS微滴阵列的形成机制分析	第71-76页
4.5.1 PS微滴之间的吸引相互作用	第72-74页
4.5.2 PS微滴与衬底上孔洞边界之间的相互作用	第74-76页
4.6 周期孔洞内的PS、PMMA分布	第76-78页
4.7 本章小结	第78-79页
参考文献	第79-82页
第五章图案衬底上PS薄膜的退火行为	第82-89页
5.1 引言	第82页
5.2 实验方法	第82-83页
5.3 周期衬底上PS薄膜退火的原位观测	第83页
5.4 膜厚对PS微滴阵列结构的影响	第83-86页
5.5 本章小结	第86-87页
参考文献	第87-89页
第六章总结与展望	第89-92页
6.1 总结	第89-90页
6.2 展望	第90-92页
致谢	第92-93页
研究生期间发表的论文	第93-94页
研究生期间参加的学术会议	第94-95页

本篇论文共95页，点击这进入下载页面。

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