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基于MEMS工艺的柔性基底磁通门传感器关键技术研究

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基于MEMS工艺的柔性基底磁通门传感器关键技术研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第一章 绪论第12-34页
  · 研究背景第12-21页
    · 磁和磁测量第12-13页
    · 常见磁传感器及其性能比较第13-16页
    · 磁通门传感器第16-18页
    · MEMS工艺化磁通门传感器第18-19页
    · 基于MEMS工艺的柔性基底磁通门第19-21页
  · 基于MEMS工艺的磁通门研究现状第21-30页
    · 电压激励磁通门SPICE模型第21-22页
    · MEMS工艺下平面结构磁通门线圈铁芯拓扑结构优化第22-25页
    · MEMS工艺下薄膜铁芯研究第25-27页
    · 柔性基底磁通门电流传感器第27-30页
  · 研究基于MEMS工艺的柔性基底磁通门传感器需要解决的问题第30-32页
  · 本文研究目的及意义第32页
  · 本文的研究内容和方法第32-34页
第二章 电压激励磁通门SPICE模型第34-48页
  · 立体结构磁通门工作原理第34-36页
  · 立体结构磁通门电压激励模型第36-44页
    · 磁通门模型第36-40页
    · 模型参数计算第40-41页
    · 电路模型SPICE实现第41页
    · 模型验证与讨论第41-43页
    · 讨论第43-44页
  · 立体结构磁通门最佳激励电流第44-47页
    · 磁通门测量线圈输出电压谐波分析第44-45页
    · 磁滞回线模型第45-46页
    · 二次谐波的选择和最佳激励电流确定第46-47页
  · 总结第47-48页
第三章 磁通门结构设计及参数优化第48-76页
  · 立体结构磁通门参数优化第48-66页
    · 线圈参数对磁通门性能影响第50-55页
    · 铁芯参数对磁通门性能影响第55-62页
    · 激励电压参数对磁通门性能影响第62-65页
    · 立体结构双铁芯磁通门传感器设计参数第65-66页
  · 平面结构磁通门结构设计及其参数优化第66-75页
    · 平面结构磁通门工作原理分析第66-68页
    · 平面结构磁通门结构设计优化第68-75页
  · 总结第75-76页
第四章 磁通门用薄膜铁芯材料研究第76-98页
  · 磁通门用软磁铁芯理论仿真研究第76-84页
    · 磁滞回线参数对输出二次谐波幅值和激励电流的影响第76-79页
    · 实验验证第79-84页
    · 结论第84页
  · 磁通门用磁控溅射不同基底薄膜铁芯研究第84-90页
    · 实验与测试第85页
    · 实验结果与分析第85-89页
    · 结论第89-90页
  · MEMS工艺下磁通门用电镀薄膜铁芯研究第90-94页
    · 改变电镀电流密度第91-92页
    · 改变电镀温度第92-93页
    · 改变外加磁场方向第93-94页
  · 应力对铁芯软磁性能的影响第94-96页
    · 应力对钴基非晶带材铁芯软磁性能的影响第94-95页
    · 应力对电镀NiFe薄膜铁芯软磁性能的影响第95-96页
  · 总结第96-98页
第五章 柔性基底磁通门传感器MEMS制备工艺研究第98-120页
  · 采用的MEMS微加工工艺第98-111页
    · 掩膜光刻工艺第98-102页
    · 微表面加工工艺第102-106页
    · 微体加工技术第106-111页
  · 立体结构柔性基底磁通门传感器MEMS制备工艺第111-118页
    · 电镀镍铁合金铁芯柔性基底磁通门传感器MEMS工艺第111-115页
    · 粘贴钴基非晶带材铁芯柔性基底磁通门传感器MEMS工艺第115-118页
  · 基于MEMS工艺下的柔性基底磁通门传感器第118-119页
  · 小结第119-120页
第六章 基于MEMS工艺的柔性基底磁通门传感器性能测试与分析第120-134页
  · 磁通门传感器性能指标测试方法及测试系统第120-123页
    · 磁通门传感器性能指标及测试方法第120-122页
    · 磁通门传感器性能测试系统第122-123页
  · 基于MEMS工艺的磁通门磁场传感器性能测试第123-128页
    · 基于MEMS工艺的电镀镍铁合金铁芯磁通门性能测试第123-125页
    · 基于MEMS工艺的粘贴钴基非晶铁芯磁通门性能测试第125-127页
    · 对比与分析第127-128页
  · 柔性基底钴基非晶铁芯磁通门电流传感器性能测试第128-132页
    · 不同激励电流对灵敏度和线性范围的影响第128页
    · 不同激励频率对灵敏度和线性范围的影响第128-129页
    · 不同激励电流对噪声的影响第129-131页
    · 不同激励频率对噪声的影响第131-132页
    · 功耗第132页
  · 讨论第132-133页
  · 总结第133-134页
第七章 总结与展望第134-138页
  · 主要的研究工作和成果第134-136页
  · 进一步研究展望第136-138页
参考文献第138-154页
致谢第154-156页
攻读博士学位期间发表的学术论文和参加科研情况第156-159页

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