基于原子层沉积的微纳米颗粒表面改性方法研究及其应用

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基于原子层沉积的微纳米颗粒表面改性方法研究及其应用

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基于原子层沉积的微纳米颗粒表面改性方法研究及其应用

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
1 绪论	第11-27页
1.1 课题来源和背景介绍	第11-12页
1.2 传统微纳米颗粒表面改性方法	第12-14页
1.3 原子层沉积技术	第14-19页
1.4 基于ALD的微纳米颗粒表面改性技术发展	第19-24页
1.5 本文主要研究内容	第24-27页
2 基于流化的微纳米颗粒原子层沉积建模	第27-61页
2.1 微纳米颗粒团聚现象	第27-29页
2.2 微纳米颗粒流态化	第29-34页
2.3 微纳米颗粒团聚体分散	第34-35页
2.4 离心流化技术	第35-37页
2.5 基于流体动力学的微纳米颗粒原子层沉积建模	第37-40页
2.6 离心流化式ALD系统研制	第40-51页
2.7 模型与沉积效果验证	第51-60页
2.8 本章小结	第60-61页
3 离心流化原子层沉积工艺研究	第61-73页
3.1 引言	第61页
3.2 基于质谱法的沉积过程在线监测	第61-64页
3.3 离心流化床ALD反应过程的质谱监测	第64-66页
3.4 流速对于沉积速率和前驱体利用率的影响	第66-67页
3.5 转速对于沉积速率和前驱体利用率的影响	第67-68页
3.6 前驱体浓度对于沉积速率和其利用率的影响	第68-69页
3.7 床层厚度对于沉积速率和前驱体利用率的影响	第69-70页
3.8 工艺参数对沉积过程的耦合影响	第70-72页
3.9 本章小结	第72-73页
4 四氧化三铁纳米颗粒表面原子层钝化	第73-86页
4.1 引言	第73-74页
4.2 四氧化三铁纳米颗粒的合成	第74页
4.3 原子层沉积方法对四氧化三铁纳米颗粒进行表面钝化	第74-76页
4.4 氧化铝包覆四氧化三铁核壳结构的表征分析	第76-85页
4.5 本章小结	第85-86页
5 基于原子层沉积的三氢化铝颗粒稳定化方法	第86-102页
5.1 引言	第86-87页
5.2 三氢化铝颗粒的合成	第87-88页
5.3 基于原子层沉积的三氢化铝颗粒表面氧化铝阻隔层沉积	第88-90页
5.4 氧化铝包覆三氢化铝核壳结构的表征分析	第90-97页
5.5 摩擦稳定性	第97-99页
5.6 热分解特性	第99-100页
5.7 本章小结	第100-102页
6 全文总结与工作展望	第102-105页
6.1 本文工作总结	第102-103页
6.2 下一步工作展望	第103-105页
致谢	第105-106页
参考文献	第106-117页
附录1 术语列表	第117-118页
附录2 本文所采用的各实验手段仪器型号	第118-119页
附录3 本文所采用的简写列表	第119-120页
附录4 攻读学位期间取得的成果	第120-123页
1. 发表论文	第120-121页
2. 参加学术会议	第121页
3. 申请和授权专利	第121-122页
4. 荣誉奖励	第122页
5. 博士生期间参与的课题研究情况	第122-123页

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