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宽带脉冲压缩光栅研制:金属—介质膜光栅与后镀膜光栅

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宽带脉冲压缩光栅研制:金属—介质膜光栅与后镀膜光栅
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第1章 绪论第9-22页
  · 课题背景第9-11页
  · 国内外宽带光栅研究现状第11-20页
    · 金属-介质膜光栅第11-14页
    · 后镀膜光栅第14-20页
  · 课题的提出和研究内容第20页
    · 金属-介质膜光栅第20页
    · 后镀膜光栅第20页
  · 论文结构安排第20-21页
  · 本章小结第21-22页
第2章 金属-介质膜光栅研制第22-49页
  · 槽形设计参数与容差分析第22-26页
    · 槽形定义第22页
    · 光栅设计第22-24页
    · 容差分析第24-26页
  · 光刻胶掩模制作与占宽比修正第26-29页
    · 光刻胶掩模制作第26-27页
    · 掩模占宽比的修正第27-29页
  · 光栅刻蚀第29-44页
    · 槽形演变第29-30页
    · 不同材料的刻蚀速率第30-32页
    · 刻蚀监测模型第32-37页
    · 监测光路第37页
    · 实验结果第37-41页
    · 刻蚀光栅的清洗第41-44页
  · 效率测量与分析第44-47页
    · 测量方法第44页
    · 测量结果第44-46页
    · 结果分析第46-47页
  · 本章小结第47-49页
第3章 后镀膜光栅研制第49-84页
  · 概述第49-50页
  · 光栅基底制作第50-66页
    · 基底材料的选择第50-52页
    · 离子束刻蚀模型第52-65页
    · 光栅基底制作第65-66页
  · 镀膜第66-68页
    · 镀膜工艺的选择第66-67页
    · 镀膜后光栅槽形的演变第67-68页
  · 光栅槽形演变模型第68-75页
    · 镀膜后光栅槽形演变规律第68-70页
    · 光栅槽形演变模型第70-75页
  · 后镀膜光栅参数优化第75-81页
    · 光栅参数优化的数学模型第75-76页
    · 优化结果第76-77页
    · 工艺容差分析第77-81页
  · 本章小结第81-84页
第4章 总结与展望第84-88页
  · 论文工作总结第84-86页
    · 金属-介质膜光栅第84-85页
    · 后镀膜光栅第85-86页
    · 本论文创新点第86页
  · 展望第86-88页
参考文献第88-96页
致谢第96-98页
附录A 金属-介质膜光栅制作工艺改进第98-106页
  A.1 镀铬金属-介质膜光栅掩模的制作第99-100页
  A.2 以铬作掩模的金属-介质膜光栅的离子束刻蚀第100-106页
附录B 后镀膜光栅电镜图像与效率曲线第106-111页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第111页

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