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宽带脉冲压缩光栅研制:金属—介质膜光栅与后镀膜光栅
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宽带脉冲压缩光栅研制:金属—介质膜光栅与后镀膜光栅
论文目录
摘要
第1-4页
Abstract
第4-9页
第1章 绪论
第9-22页
· 课题背景
第9-11页
· 国内外宽带光栅研究现状
第11-20页
· 金属-介质膜光栅
第11-14页
· 后镀膜光栅
第14-20页
· 课题的提出和研究内容
第20页
· 金属-介质膜光栅
第20页
· 后镀膜光栅
第20页
· 论文结构安排
第20-21页
· 本章小结
第21-22页
第2章 金属-介质膜光栅研制
第22-49页
· 槽形设计参数与容差分析
第22-26页
· 槽形定义
第22页
· 光栅设计
第22-24页
· 容差分析
第24-26页
· 光刻胶掩模制作与占宽比修正
第26-29页
· 光刻胶掩模制作
第26-27页
· 掩模占宽比的修正
第27-29页
· 光栅刻蚀
第29-44页
· 槽形演变
第29-30页
· 不同材料的刻蚀速率
第30-32页
· 刻蚀监测模型
第32-37页
· 监测光路
第37页
· 实验结果
第37-41页
· 刻蚀光栅的清洗
第41-44页
· 效率测量与分析
第44-47页
· 测量方法
第44页
· 测量结果
第44-46页
· 结果分析
第46-47页
· 本章小结
第47-49页
第3章 后镀膜光栅研制
第49-84页
· 概述
第49-50页
· 光栅基底制作
第50-66页
· 基底材料的选择
第50-52页
· 离子束刻蚀模型
第52-65页
· 光栅基底制作
第65-66页
· 镀膜
第66-68页
· 镀膜工艺的选择
第66-67页
· 镀膜后光栅槽形的演变
第67-68页
· 光栅槽形演变模型
第68-75页
· 镀膜后光栅槽形演变规律
第68-70页
· 光栅槽形演变模型
第70-75页
· 后镀膜光栅参数优化
第75-81页
· 光栅参数优化的数学模型
第75-76页
· 优化结果
第76-77页
· 工艺容差分析
第77-81页
· 本章小结
第81-84页
第4章 总结与展望
第84-88页
· 论文工作总结
第84-86页
· 金属-介质膜光栅
第84-85页
· 后镀膜光栅
第85-86页
· 本论文创新点
第86页
· 展望
第86-88页
参考文献
第88-96页
致谢
第96-98页
附录A 金属-介质膜光栅制作工艺改进
第98-106页
A.1 镀铬金属-介质膜光栅掩模的制作
第99-100页
A.2 以铬作掩模的金属-介质膜光栅的离子束刻蚀
第100-106页
附录B 后镀膜光栅电镜图像与效率曲线
第106-111页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果
第111页
本篇论文共
111
页,
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