教育论文网

反应烧结碳化硅基底致密层制备及性能研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→冶金工业论文→冶金技术论文→粉末冶金（金属陶瓷工艺）论文→粉末成型、烧结及后处理论文
反应烧结碳化硅基底致密层制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-15 页
第1章 绪论第15-35 页
　　· 课题背景及意义第15-16 页
　　· 致密层的制备方法第16-27 页
　　　　· 物理方法第18-23 页
　　　　· 化学方法第23-27 页
　　· 薄膜的成形过程第27-31 页
　　　　· 原子吸附第27-30 页
　　　　· 薄膜成核第30-31 页
　　　　· 薄膜生长第31 页
　　· 薄膜沉积模拟研究进展第31-34 页
　　　　· 蒙特-卡罗法第31-33 页
　　　　· 有限元法第33 页
　　　　· 分子动力学第33 页
　　　　· 第一原理法第33-34 页
　　· 本文主要研究内容第34-35 页
第2章 材料制备及实验方法第35-45 页
　　· 衬底的制备第35 页
　　· 致密层的制备第35-38 页
　　　　· 磁控溅射法制备硅致密层第35 页
　　　　· 电子束物理气相沉积法制备硅致密层第35-36 页
　　　　· 化学气相沉积法制备碳化硅致密层第36-37 页
　　　　· 离子束增强化学气相沉积法制备硅致密层第37-38 页
　　· 致密层性能表征第38-45 页
　　　　· 膜-基结合强度测试第38-39 页
　　　　· 致密层孔隙率测定第39-40 页
　　　　· 致密层厚度均匀性表征第40-41 页
　　　　· 致密层物相表征第41 页
　　　　· 致密层-衬底系统应力分析第41-42 页
　　　　· 致密层-衬底系统抗热震性分析第42-43 页
　　　　· 致密层-衬底断面SEM分析第43 页
　　　　· 致密层表面形貌的AFM分析第43 页
　　　　· 致密层表面形貌研究第43 页
　　　　· 致密层纳米硬度及弹性模量的测试第43-44 页
　　　　· 致密层厚度检测第44-45 页
第3章 磁控溅射法制备的硅致密层沉积制备参数优化第45-80 页
　　· 沉积过程模拟第45-49 页
　　　　· 建模第45-47 页
　　　　· 模拟过程第47-49 页
　　· 致密层沉积模拟结果第49-54 页
　　　　· 衬底表面粗糙度的影响第49-51 页
　　　　· 入射方向对致密层性能的影响第51-53 页
　　　　· 沉积速率的影响第53-54 页
　　　　· 沉积温度对致密层的影响第54 页
　　· 致密层-衬底系统力学性能的有限元分析第54-67 页
　　　　· 致密层中应力分析第54-57 页
　　　　· 建模第57-59 页
　　　　· 有限元分析结果第59-67 页
　　· 系统抗热震性分析第67-70 页
　　　　· 建模第68 页
　　　　· 结果与讨论第68-70 页
　　· 致密层-衬底系统性能的分子动力学分析第70-79 页
　　　　· 模拟条件第72-74 页
　　　　· 结果与讨论第74-79 页
　　· 本章小结第79-80 页
第4章 磁控溅射法制备的硅致密层组织性能研究第80-104 页
　　· 硅致密层的制备第80-81 页
　　　　· 试样前处理第80 页
　　　　· 硅致密层沉积第80-81 页
　　· 硅致密层组织分析第81-98 页
　　　　· 致密层晶体结构分析第81-84 页
　　　　· 致密层与衬底结合强度第84 页
　　　　· 致密层厚度第84-93 页
　　　　· 致密层孔隙率分析第93-94 页
　　　　· 硅致密层断面SEM分析第94-95 页
　　　　· 致密层表面粗糙度第95-98 页
　　· 硅致密层性能研究第98-103 页
　　　　· 硅薄膜纳米硬度及弹性模量第98-100 页
　　　　· 致密层抗热震性分析第100-103 页
　　· 本章小结第103-104 页
第5章 致密层的其他制备工艺及性能研究第104-115 页
　　· PE-CVD硅致密层性能研究第104-108 页
　　　　· 致密层-衬底结合力第104-105 页
　　　　· 致密层表面形貌第105 页
　　　　· 致密层残余应力第105-106 页
　　　　· 致密层结构特征第106-108 页
　　· EB-PVD硅致密层性能分析第108-109 页
　　　　· 致密层表面形貌第108 页
　　　　· 致密层结构第108-109 页
　　· CVD碳化硅致密层性能分析第109-113 页
　　　　· 结合强度第110 页
　　　　· 残余应力第110-111 页
　　　　· 致密层表面形貌及粗糙度第111-113 页
　　　　· 化学气相沉积碳化硅致密层物相分析第113 页
　　· 不同制备方法致密层性能之间的比较第113-114 页
　　· 本章小结第114-115 页
结论第115-117 页
参考文献第117-127 页
附录A 有限元计算命令流第127-132 页
附录B 不同温度下系统能量第132-133 页
攻读博士学位期间发表的学术论文第133-134 页
专利申请第134-136 页
致谢第136-137 页
个人简历第137页

本篇论文共137页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
反应烧结碳化硅基底致密层制备及性
磁控溅射Ni-Mn-Ga合金薄膜的相变行
油田地面油气水三相流测量方法及应
原子力显微镜微悬臂梁刚度测量研究
基于靶标反馈的自准直光束漂移抑制
非球面拼接测量中偏置误差作用机理
Kapton等离子体注入/沉积鞘层动力学
光纤陀螺的误差分析、建模及滤波研
全对称双级解耦微机械振动式陀螺研
挠性航天器建模与姿态控制系统研究
基于星载敏感器的卫星自主导航及姿
卫星适配器结构振动主被动控制方法
跨声速轴流压气机动叶弯和掠的数值
直升机标准桨叶特性参数测量技术研
基于气路参数样本的航空发动机状态
动态不确定环境下航天器观测调度问
空间薄膜褶皱及其动态特性研究
空间非合作目标飞行器在轨交会控制
航空发动机高速滚动轴承及转子系统
基于有限时间范数的末制导系统性能
空间折叠薄膜管充气展开过程气固耦
航空发动机调节/保护系统多目标控制
登月飞行器软着陆的制导与控制
浅海航道淤积位置和高度实时监测技
基于空间均衡的新城发展机理研究
采集凝固热热泵系统的形式与工况分
中国大学行政权力的合法性研究
输配水系统水力与水质安全研究
预应力锚具下混凝土局部受压基本问
碳纤维布加固预应力混凝土梁抗弯性
基于事故理论的建筑施工项目安全管
套建增层预应力钢骨混凝土框架抗震
凯文·林奇人文主义城市设计思想研
高性能混凝土早期收缩性能及开裂趋
基于可靠性的热网结构及其输送备用
结构非线性振动的智能控制方法与试
新生态二氧化锰对水中有机污染物的
提取冷水凝固潜热的换热理论与装置
结构新型热固性FRP复合筋及其性能
促进地源热泵在建筑中应用的经济激
城市地下空间集约化设计策略研究
处理后污水—原生污水热泵的淋激式
陶粒混合骨料混凝土结构与性能研究
居住形态创新研究
以开发项目为导向的城市设计策划研
城市设计诠释论
高性能优化算法与结构模型修正的研
石墨结构碳及其载Pt催化剂强化臭氧
市场经济下城市设计的空间配置研究
混凝土结构钢筋腐蚀的电化学特征与
普利茨凯奖获奖建筑师的建筑设计创
太阳能热泵潜热蓄热供暖系统性能研
固体氧化物燃料电池新型阴极材料及
电极和结构过渡层对铁电薄膜介电及
低能质子和电子辐照GaAs/Ge太阳电池
感应电机转子断条故障的电磁场与温
直接二甲醚燃料电池膜电极与电堆的
低开关功率非线性环共振器全光开关
感应电机无速度传感器转子磁场定向
互联电网分布式状态估计和混合量测
发电机组灰色预测可拓控制方法研究
直接甲醇燃料电池阴极Pt/C催化剂研
基于多尺度分析的电站故障诊断方法
小型自增湿自呼吸质子交换膜燃料电
过程状态特征化方法及其在配网能耗
稀土掺杂BaSrCoFeO阴极材料高温物性
含特异材料平面结构中的Casimir效应
复合笼条转子感应电动机内电磁与传
基于旋转电磁效应的循环水系统抑垢
直接甲醇燃料电池膜电极的制备及电
光学电流互感器的抗磁场干扰技术和
小功率金属卤化物灯数字化电子镇流
EB-PVD工艺制备YSZ及Ni-YSZ功能涂层
合闸行波与变压器和应涌流特征新探
La0.6Sr0.4
A2+B4+O
基于光学检测的电泳微芯片关键技术
车用天然气吸附储存及热效应模拟研
聚丙烯腈纤维的蛋白质表面接枝改性
微结构件的注射成形及其组织与性能
基于光纤传感技术的复合材料结构全
低温陶瓷轴承自润滑材料制备及其转
树脂基磁致伸缩复合材料及其智能阻
3Y-TZP/Al2O3
预浸织物细观变形机理及本构关系研
搅拌铸造SiC颗粒增强镁基复合材料高
Cf/Al复合材料表面稀土膜的表征及耐
ZnO和ZnS一维纳米材料的合成与微观
镍基高温合金空心球多孔材料的制备
纳米金属Al复合含能材料激光光热过
γ-射线辐照改性对芳纶纤维及其复合
碳纳米管/碳纤维多尺度增强体及其复
基于扫描探针显微镜的纳米加工相关
表面包覆对稀土掺杂Y2O
准一维ZnO纳米材料的制备与表征
稀土掺杂钛酸钡和铁氧体纳米材料的
空心微纳米碳材料的低温合成与表征
 
反应烧结碳化硅论文 磁控溅射论文 致密层论文 第一主应力论文 有限元分析论文
版权申明：目录由用户sm6**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved