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铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究

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铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第1章 绪论第12-28页
  1.1 引言第12-14页
  1.2 铝合金反射镜制造流程第14-23页
    1.2.1 SPDT加工表面粗糙度影响因素第14-19页
    1.2.2 铝合金反射镜的古典制造方法第19-21页
    1.2.3 铝合金反射镜的先进制造方法第21-23页
  1.3 SPDT面形误差检测方式第23-25页
    1.3.1 原位检测第23-24页
    1.3.2 离线检测第24-25页
  1.4 光学表面质量评价指标第25-26页
  1.5 论文主要研究内容第26-28页
第2章 SPDT加工原位误差来源第28-46页
  2.1 引言第28页
  2.2 SPDT原位加工误差分类第28-43页
    2.2.1 系统误差第28-39页
    2.2.2 人为误差第39-43页
    2.2.3 随机误差第43页
  2.3 本章小结第43-46页
第3章 基于电容位移传感器的SPDT机床误差检测第46-62页
  3.1 引言第46页
  3.2 电容位移传感器第46-50页
    3.2.1 电容位移传感器的检测原理第46-47页
    3.2.2 电容位移传感器的结构第47-48页
    3.2.3 电容位移传感器的空间分辨率第48页
    3.2.4 电容位移传感器非线性误差来源第48-50页
  3.3 电容位移传感器的测量线性度标定第50-52页
  3.4 基于电容位移传感器的原位检测系统第52-53页
  3.5 SPDT机床误差检测第53-60页
    3.5.1 SPDT机床垂直度误差原位检测第53-56页
    3.5.2 SPDT机床主轴旋转热效应检测第56-60页
  3.6 本章小结第60-62页
第4章 基于电容位移传感器的反射镜面形原位检测第62-84页
  4.1 引言第62页
  4.2 检测过程第62-64页
    4.2.1 检测方式与检测路径规划第62-63页
    4.2.2 检测数据的上升沿触发记录模式第63-64页
  4.3 电容位移传感器的装调第64-68页
    4.3.1 电容位移传感器相对于被测面倾斜角调整第64-66页
    4.3.2 电容位移传感器的高度调整与旋转臂长度测量第66-67页
    4.3.3 电容位移传感器工具坐标系X坐标零点调整第67-68页
  4.4 检测结果线性误差校正第68-70页
  4.5 加工程序坐标点计算与面形重构第70-71页
  4.6 原位面形检测实验第71-75页
    4.6.1 原位面形检测重复性精度第71-73页
    4.6.2 原位面形检测的检测精度第73-75页
  4.7 基于原位面形检测的补偿切削第75-77页
  4.8 高速旋转状态下电容位移传感器检测噪声的分析与抑制第77-83页
    4.8.1 高速旋转状态下电容位移传感器检测噪声来源第78-80页
    4.8.2 双探头检测模式抑制高速旋转状态下的检测电噪声第80-83页
  4.9 本章小结第83-84页
第5章 SPDT加工表面的中、高频误差抑制第84-106页
  5.1 引言第84页
  5.2 非牛顿流体磨盘的理论第84-94页
    5.2.1 粘弹性非牛顿流体的静态与动态力学分析方法第85-90页
    5.2.2 非牛顿流体磨盘时间相关平滑效应理论第90-94页
  5.3 结合机械化学抛光方法的非牛顿流体磨盘抛光铝合金反射镜实验第94-104页
    5.3.1 SPDT加工后的表面质量评价第94-98页
    5.3.2 抛光后的表面质量评价第98-104页
  5.4 本章小结第104-106页
第6章 工作展望第106-112页
  6.1 总结第106-109页
  6.2 论文的创新点第109页
  6.3 展望第109-112页
参考文献第112-118页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第118-120页
致谢第120-121页

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