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基于悬空单壁碳纳米管阵列的压阻式柔性传感器研究

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基于悬空单壁碳纳米管阵列的压阻式柔性传感器研究
论文目录
 
中文摘要第1-5页
英文摘要第5-10页
1 绪论第10-24页
  · 问题的提出及研究的意义第10-11页
    · 问题的提出第10页
    · 研究的意义第10-11页
  · 国内外研究现状第11-21页
    · 一维纳米材料的可控组装研究现状第11-16页
    · SWNT 的筛选第16-19页
    · SWNT 在压阻式力学传感器方面应用的研究第19-21页
  · 本文研究的目的和研究内容第21-24页
    · 本文研究的目的第21-22页
    · 本文研究的主要内容第22-24页
2 基于 SWNT 压阻式力学传感器的理论基础第24-42页
  · 压阻效应及压阻式力学传感器的应用第24-25页
  · 压阻式力学传感器的研究及发展趋势第25-26页
  · CNT 的结构和力电特性第26-31页
    · CNT 的结构特征与分类第26-29页
    · SWNT 的力电特性第29-31页
  · SWNT 压阻式敏感机理和理论分析第31-39页
    · SWNT 作为压阻材料的理论基础第31-36页
    · 基于应变的悬空SWNT 阵列选择性电烧断的理论分析第36-39页
    · 材料的压阻特性第39页
  · 本章小结第39-42页
3 SWNT 微纳结构的工艺研究第42-64页
  · 引言第42页
  · SWNT 的制备第42-46页
    · SWNT 的生长机理第42页
    · SWNT 的可控生长第42-46页
  · SWNT 的提纯第46-47页
  · SWNT 分散液的配制第47-49页
  · 接触金属的选择第49-51页
  · 集成化工艺第51-59页
    · 生长-后加工流程第51-54页
    · 微加工-后生长流程第54-59页
  · 测试结果与分析第59-62页
    · 静态I-U 测试第59-60页
    · 静态拉力测试第60-62页
  · 本章小结第62-64页
4 介电电泳组装 SWNT 有序结构第64-74页
  · 引言第64页
  · 介电电泳的理论基础第64-67页
  · 介电电泳电场强度分布仿真第67-71页
  · 介电电泳组装的影响因素分析第71-73页
    · 电压第71页
    · 电极宽度第71-72页
    · 电泳时间第72-73页
  · 本章小结第73-74页
5 悬空 SWNT 阵列应变选择方法的实验研究第74-88页
  · 引言第74页
  · 悬空SWNT 阵列的工艺流程第74-82页
    · 利用激光加工硅片上的贯通缝第75-76页
    · 利用反应离子刻蚀加工贯通缝第76-78页
    · 悬空SWNT 阵列力学测试实验研究第78-82页
  · 实验结果分析第82-84页
  · 悬空SWNT 阵列的选择第84-87页
    · 选择性电烧断的宏观模型分析第84-85页
    · 测试结果与分析第85-87页
  · 本章小结第87-88页
6 柔性传感器的制作与测试结果分析第88-100页
  · 引言第88页
  · 工艺制作流程第88-89页
  · 交流介电电泳可控组装SWNT第89-99页
    · 柔性基底弯曲式电泳过程第89-90页
    · 柔性基底弯曲式电泳结果第90-92页
    · 区域选择性电沉积金属第92-95页
    · 力学测试结果第95-99页
  · 本章小结第99-100页
7 结论及展望第100-104页
  · 主要结论第100-101页
    · 论文的主要工作第100页
    · 论文的主要结论第100-101页
    · 论文的主要贡献和创新点第101页
  · 后续研究工作的展望第101-104页
致谢第104-106页
参考文献第106-114页
附录第114页

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