多波长表面干涉测量中的形貌拼接算法研究

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多波长表面干涉测量中的形貌拼接算法研究

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多波长表面干涉测量中的形貌拼接算法研究

论文目录
摘要	第4-5页
Abstract	第5-8页
第1章绪论	第8-14页
1.1 课题来源	第8页
1.2 课题研究目的及意义	第8页
1.3 图像拼接技术的国内外发展现状	第8-13页
1.3.1 形貌数据的获取	第9-11页
1.3.2 形貌图像拼接方法	第11-13页
1.4 课题研究的内容和章节安排	第13-14页
第2章多波长干涉形貌测量系统	第14-22页
2.1 多波长轮换与相移扫描相结合的干涉测量原理	第14-17页
2.1.1 相移干涉测量基本原理	第14-16页
2.1.2 双波长相移干涉测量原理	第16-17页
2.1.3 多波长相移干涉测量原理	第17页
2.2 多波长相移干涉形貌测量系统	第17-19页
2.3 二维平移台控制系统	第19-21页
2.3.1 二维电控平移台	第20页
2.3.2 步进电机	第20页
2.3.3 光栅尺	第20-21页
2.3.4 运动控制卡	第21页
2.4 本章小结	第21-22页
第3章表面三维形貌图像的拼接方法	第22-37页
3.1 形貌图像拼接原理	第22-23页
3.2 形貌图像的预处理	第23-28页
3.2.1 噪声来源及分析	第23-24页
3.2.2 去噪	第24-28页
3.3 形貌图像的配准	第28-34页
3.3.1 模板匹配算法	第29-30页
3.3.2 相位相关法	第30-31页
3.3.3 ICP配准算法	第31-32页
3.3.4 本文的匹配方法	第32-34页
3.4 形貌图像的融合	第34-36页
3.4.1 加权平均融合	第34页
3.4.2 渐入渐出法	第34-35页
3.4.3 小波融合法	第35-36页
3.5 本章小结	第36-37页
第4章实验结果及其分析	第37-43页
4.1 方波多刻线样板实验	第37-39页
4.2 重合区域的选取实验	第39-40页
4.3 正弦波多刻线样板	第40-41页
4.4 实验结果分析总结	第41页
4.5 本章小结	第41-43页
第5章总结与展望	第43-44页
参考文献	第44-48页
致谢	第48页

本篇论文共48页，点击这进入下载页面。

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