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基于白光干涉的触针式表面粗糙度测量技术的研究
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表面光洁度(表面粗糙度)的测量及其量仪论文
基于白光干涉的触针式表面粗糙度测量技术的研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
1 概论
第9-15页
· 课题的研究意义和目的
第9-10页
· 表面测量技术的发展概况
第10-13页
· 本文的主要研究内容
第13-15页
2 白光干涉触针式测量理论及方法研究
第15-29页
· 白光干涉测长原理
第15-18页
· 原子力探针测量基本理论
第18-22页
· 金刚石触针测量基本理论
第22-24页
· 零级条纹识别方法研究
第24-27页
· 像元定标方法研究
第27-28页
· 本章小结
第28-29页
3 白光干涉触针式测量系统设计
第29-41页
· 测量系统总体设计
第29-31页
· 显微干涉系统
第31-32页
· 原子力探针测头
第32-37页
· 金刚石触针测头
第37-40页
· 本章小结
第40-41页
4 扫描系统设计
第41-49页
· 扫描系统总体设计
第41-42页
· 垂直扫描器
第42-44页
· 水平扫描载物台
第44-46页
· 激光干涉仪
第46-48页
· 本章小结
第48-49页
5 程序设计及测量模式
第49-55页
· 程序功能结构
第49-50页
· 信号调试模块
第50页
· 原子力探针测量
第50-53页
· 金刚石触针测量
第53页
· 分析与评定
第53-54页
· 本章小结
第54-55页
6 实验结果及分析
第55-63页
· 原子力探针测量性能测试与分析
第55-57页
· 金刚石触针测量性能测试与分析
第57-60页
· 测量实例
第60-62页
· 本章小结
第62-63页
7 总结与展望
第63-65页
· 全文总结
第63页
· 展望及今后工作的建议
第63-65页
致谢
第65-66页
参考文献
第66-70页
附录 1 攻读学位期间发表学术论文目录
第70 页
本篇论文共
70
页,
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