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基于白光干涉的触针式表面粗糙度测量技术的研究

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基于白光干涉的触针式表面粗糙度测量技术的研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 概论第9-15页
  · 课题的研究意义和目的第9-10页
  · 表面测量技术的发展概况第10-13页
  · 本文的主要研究内容第13-15页
2 白光干涉触针式测量理论及方法研究第15-29页
  · 白光干涉测长原理第15-18页
  · 原子力探针测量基本理论第18-22页
  · 金刚石触针测量基本理论第22-24页
  · 零级条纹识别方法研究第24-27页
  · 像元定标方法研究第27-28页
  · 本章小结第28-29页
3 白光干涉触针式测量系统设计第29-41页
  · 测量系统总体设计第29-31页
  · 显微干涉系统第31-32页
  · 原子力探针测头第32-37页
  · 金刚石触针测头第37-40页
  · 本章小结第40-41页
4 扫描系统设计第41-49页
  · 扫描系统总体设计第41-42页
  · 垂直扫描器第42-44页
  · 水平扫描载物台第44-46页
  · 激光干涉仪第46-48页
  · 本章小结第48-49页
5 程序设计及测量模式第49-55页
  · 程序功能结构第49-50页
  · 信号调试模块第50页
  · 原子力探针测量第50-53页
  · 金刚石触针测量第53页
  · 分析与评定第53-54页
  · 本章小结第54-55页
6 实验结果及分析第55-63页
  · 原子力探针测量性能测试与分析第55-57页
  · 金刚石触针测量性能测试与分析第57-60页
  · 测量实例第60-62页
  · 本章小结第62-63页
7 总结与展望第63-65页
  · 全文总结第63页
  · 展望及今后工作的建议第63-65页
致谢第65-66页
参考文献第66-70页
附录 1 攻读学位期间发表学术论文目录第70 页

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