载入中...
反应磁控溅射法制备TiO_2薄膜及其性能的研究
硕士博士毕业论文站内搜索
全站论文库
硕士博士论文库
普通期刊论文库
分类:
教育论文网
→工业技术论文→
一般工业技术论文
→
工业通用技术与设备论文
→
薄膜技术论文
反应磁控溅射法制备TiO_2薄膜及其性能的研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-10页
1 绪论
第10-24页
· 概述
第10-12页
· TiO_2薄膜晶体结构
第12-14页
· TiO_2薄膜光催化反应机理
第14-16页
· 影响TiO_2薄膜光催化活性的因素
第16-19页
· 晶型的影响
第16-17页
· 晶粒尺寸的影响
第17页
· 表面的影响
第17页
· 膜的厚度
第17-18页
· 表面羟基及氧空缺
第18页
· 光强
第18页
· 掺杂其它物质
第18-19页
· TiO_2薄膜的沉积方法
第19-21页
· 溶胶-凝胶法
第19页
· 化学气相沉积
第19-20页
· 磁控溅射镀膜法
第20-21页
· 液相沉积法
第21页
· 电子束蒸发法
第21页
· 二氧化钛的应用
第21-22页
· TiO_2在染料敏化太阳能电池中的应用
第21-22页
· TiO_2在污水处理中的应用
第22页
· TiO_2在空气净化上的应用
第22页
· 自清洁涂层
第22页
· 本论文的研究目的、内容及意义
第22-24页
2 实验装置与表征方法
第24-31页
· 实验原理
第24-27页
· 原理
第24-25页
· 磁控溅射
第25页
· 实验装置
第25-27页
· 薄膜的表征方法
第27-31页
· X射线衍射
第27-28页
· 原子力显微镜
第28-29页
· 薄膜厚度
第29页
· 紫外分光光度计
第29-30页
· 光催化性能
第30-31页
3 磁控溅射法沉积TiO_2薄膜
第31-34页
· TiO_2薄膜的沉积过程
第31-32页
· 基片制作与清洗
第31页
· 镀膜过程
第31-32页
· 实验方案设计
第32-34页
· 不同溅射气压下薄膜的工艺参数
第32页
· 不同溅射功率下薄膜的工艺参数
第32-33页
· 不同基底温度下薄膜的工艺参数
第33页
· 不同氩氧流量比下薄膜的工艺参数
第33-34页
4 磁控溅射工艺参数对TiO_2薄膜结构和性质的影响
第34-52页
· 溅射气压对TiO_2薄膜性能的影响
第34-38页
· 溅射气压对TiO_2薄膜沉积速率的影响
第34-35页
· 溅射气压对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第35页
· 溅射气压对TiO_2薄膜表面形貌的影响
第35-37页
· 溅射气压对TiO_2薄膜光催化性的影响
第37-38页
· 溅射功率对TiO_2薄膜性能的影响
第38-42页
· 溅射功率对沉积速率的影响
第38-39页
· 溅射功率对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第39-40页
· 溅射功率对TiO_2薄膜表面形貌的影响
第40-41页
· 溅射功率对TiO_2薄膜光催化性的影响
第41-42页
· 基底温度对TiO_2薄膜性能的影响
第42-46页
· 基底温度对沉积速率的影响
第42-43页
· 基底温度对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第43-44页
· 基底温度对TiO_2薄膜表面形貌的影响
第44-45页
· 基底温度对TiO_2薄膜光催化性能的影响
第45-46页
· 氧含量对TiO_2薄膜性能的影响
第46-50页
· 氧含量对沉积速率的影响
第46-47页
· 氧含量对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第47-48页
· 氧含量对TiO_2薄膜表面形貌的影响
第48-49页
· 氧含量对TiO_2薄膜光催化活性的影响
第49-50页
· 本章小结
第50-52页
5 二氧化钛薄膜的光学性质
第52-54页
· 不同衬底温度下TiO_2薄膜的光学性质讨论
第52-53页
· 本章小结
第53-54页
结论
第54-56页
参考文献
第56-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第60-61页
致谢
第61-62页
本篇论文共
62
页,
点击这进入下载页面
。
更多论文
反应磁控溅射法制备TiO_2薄膜及其性
复杂几何流道内运动变形气泡上升特
基于GT-Power的2100型柴油机抗性排
应用场协同理论的蒸汽喷射器优化设
以R236fa为工质的蒸气喷射器的性能
基于SiPESC平台的模态综合法研究及
低温空气源热泵系统中间压力及(火
压电智能悬臂梁的主动控制方法研究
杯形工具变幅杆振动系统研制
时域结构参数与载荷复合反演
高速重载齿轮传动系统稳定性研究
超越负载工况下履带起重机闭式液压
高速列车传动齿轮箱齿轮转子动力学
履带起重机组合臂架整体稳定性研究
履带起重机多重臂架组合系统优化设
以工作流为驱动的模具企业生产过程
行星传动系统均载特性研究
气瓶检验站基于网络的信息传输及自
具有超起装置的起重机伸缩臂稳定性
液压缸驱动履带行走机构液压系统动
离心泵内部流动分析与蜗壳优化研究
起重机综合评价系统研究与实现
机械制造企业过程质量分析与控制的
兆瓦级风电齿轮箱结构轻量化研究
熔融沉积快速成形精度及工艺实验研
基于断裂力学的工程起重机疲劳寿命
塔式起重机地震响应分析
塔式起重机三维沉浸虚拟仿真系统研
药型罩旋压机自动给料系统设计及压
离心式喷嘴空心锥喷淋特性数值研究
起重机桁架臂顶节局部拓扑优化研究
通用桥式起重机桥架结构优化
桥式起重机小车轻量化方法的研究
全地面起重机塔式副臂连接架铰点位
齿轮箱的减振降噪优化设计方法研究
基于CAD模型的测量规划与可视化
折臂式随车起重机力矩限制器算法研
全地面起重机臂架算法对变形量的影
平行轴齿轮轮系运动方案的特征建模
低速冲击载荷下复合材料缠绕压力容
叶轮流固耦合界面不匹配网格的数据
基于分形的仿生涂层表面摩擦磨损形
精密组件的平行度检测与修整技术研
基于RRTConnect算法的双履带起重机
臂架系统腰绳装置优化研究
基于SolidWorks的工程图智能生成研
基于超声深滚理论齿轮齿面光整强化
金属爆破片爆破性能及影响因素数值
机械制造企业产品组合与生产模式研
具有轮轴伸缩功能的高空作业平台转
考虑悬索效应的全地面起重机超起模
交错轴变齿厚齿轮副的设计方法与有
直齿轮副传递误差及行星轮系静力学
基于变形函数的谐波传动结构参数及
基于瞬心线的谐波传动3C齿形设计与
转台CAD/CAE集成化设计系统的研究与
动臂塔式起重机防后倾装置的研究
高空作业车上车工作装置液压系统节
齿轮互锁式单缸插销机构性能仿真分
摇臂式雕刻机的设计及图像处
基于模糊损伤的履带起重机臂架疲劳
全地面起重机塔式工况整体稳定性研
深沟球轴承自动装球机的研制
基于模糊PID闭式液压系统双卷扬同步
多齿差内啮合摆线泵设计与开发关键
重型板式给料机链传动系统静动态特
叶片断裂与其气动非定常脉动分析
风电增速器行星轮系动态性能分析与
核泵水润滑推力轴承及机械密封性能
考虑自紧工艺的复合材料压力容器金
基于时频分析的旋转机械故障诊断方
核电站环行起重机吊钩组升降垂线偏
基于速度系数法的AP1000核主泵水力
叶片扩压器对叶轮冲击的研究
高温高压混流泵空化及其对泵结构设
AP1000核主泵高效水力模型设计与性
风电行星架微动疲劳寿命分析及计算
TiO_2薄膜论文
反应磁控溅射论文
光催化效应论文
版权申明
:目录由用户
护理12**
提供,
www.51papers.com
仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录
请点击这里
。
|
设为首页
||
加入收藏
||
站内搜索引擎
||
站点地图
||
在线购卡
|
版权所有
教育论文网
Copyright(C) All Rights Reserved