论文目录 | |
| 摘要 | 第1-6页 |
| abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 CrN涂层的结构性能和应用 | 第12-13页 |
| 1.2.1 CrN涂层的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 CrN涂层的性能和应用 | 第13页 |
| 1.3 CrN涂层常见的制备方法 | 第13-16页 |
| 1.3.1 化学气相沉积(CVD) | 第13页 |
| 1.3.2 阴极电弧离子镀(CAD) | 第13-14页 |
| 1.3.3 磁控溅射(MS) | 第14-16页 |
| 1.4 PEMS的原理及特点 | 第16-17页 |
| 1.4.1 PEMS原理 | 第16-17页 |
| 1.4.2 PEMS的特点 | 第17页 |
| 1.5 工艺条件对制备CrN涂层的结构及性能的影响 | 第17-22页 |
| 1.5.1 N_2流量对CrN涂层结构及性能的影响 | 第18-19页 |
| 1.5.2 基体温度对CrN涂层结构及性能的影响 | 第19-20页 |
| 1.5.3 粒子能量对CrN涂层结构及性能的影响 | 第20-22页 |
| 1.6 本研究课题的研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 实验材料与实验方案 | 第23-31页 |
| 2.1 实验材料及前处理 | 第23-24页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第23页 |
| 2.1.2 实验材料的预处理 | 第23-24页 |
| 2.2 镀膜设备及沉积CrN涂层工艺参数 | 第24-27页 |
| 2.2.1 镀膜设备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 CrN涂层的沉积工艺参数 | 第25-27页 |
| 2.3 CrN涂层的结构的表征 | 第27页 |
| 2.3.1 CrN涂层组织结构的表征 | 第27页 |
| 2.3.2 表面形貌的表征 | 第27页 |
| 2.4 CrN涂层的力学性能的表征 | 第27-28页 |
| 2.4.1 CrN涂层结合力的表征 | 第27页 |
| 2.4.2 CrN涂层硬度及弹性模量的表征 | 第27-28页 |
| 2.5 CrN涂层的摩擦磨损性能的表征 | 第28-31页 |
| 2.5.1 摩擦磨损实验 | 第28页 |
| 2.5.2 CrN涂层粗糙度及磨损量的测量 | 第28-29页 |
| 2.5.3 对磨球磨癍直径的测量 | 第29-31页 |
| 第3章 偏流对等离子增强磁控溅射制备CrN涂层结构及性能的影响 | 第31-46页 |
| 3.1 引论 | 第31页 |
| 3.2 偏流对CrN涂层结构及沉积速率影响 | 第31-37页 |
| 3.2.1 偏流对CrN涂层相结构的影响 | 第31-34页 |
| 3.2.2 偏流对CrN涂层表面形貌及截面形貌的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.3 偏流对CrN涂层沉积速率的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 偏流对CrN涂层性能的影响 | 第37-45页 |
| 3.3.1 偏流对CrN涂层结合力的影响 | 第37-40页 |
| 3.3.2 偏流对CrN涂层硬度及弹性模量的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.3 偏流对CrN涂层摩擦磨损性能的影响 | 第41-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 N_2流量对等离子增强磁控溅射制备CrN涂层结构及性能的影响 | 第46-58页 |
| 4.1 引论 | 第46页 |
| 4.2 N_2流量对涂层结构影响 | 第46-51页 |
| 4.2.1 N_2流量对CrN涂层相结构的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.2 N_2流量对CrN涂层表面形貌及截面形貌的影响 | 第48-50页 |
| 4.2.3 N_2流量对CrN涂层沉积速率的影响 | 第50-51页 |
| 4.3 N_2流量对CrN涂层力学性能的影响 | 第51-56页 |
| 4.3.1 N_2流量对CrN涂层结合力随的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.2 N_2流量对CrN涂层硬度及弹性模量的影响 | 第52-54页 |
| 4.3.3 N_2流量对CrN涂层摩擦磨损性能的影响 | 第54-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第5章 结论 | 第58-60页 |
| 5.1 主要结论 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 个人简介 | 第65页 |
