硅片检测平台的结构设计与误差测试分析

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硅片检测平台的结构设计与误差测试分析

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硅片检测平台的结构设计与误差测试分析

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
1.1 课题的来源	第8页
1.2 课题研究目的及意义	第8-9页
1.3 国内外研究现状	第9-12页
1.4 本文主要研究内容	第12-14页
2 硅片检测平台总体设计	第14-23页
2.1 设计要求和技术参数	第14-17页
2.2 机械结构总体设计	第17-21页
2.3 电气结构设计	第21-22页
2.4 本章小结	第22-23页
3 硅片检测平台关键部件设计、选型与分析	第23-36页
3.1 驱动装置	第23-27页
3.2 重力平衡装置	第27-29页
3.3 导轨的选用、分析与校核	第29-35页
3.4 本章小结	第35-36页
4 硅片检测平台Z向测试实验	第36-41页
4.1 实验装置和方法	第36-37页
4.2 实验结果及分析	第37-40页
4.3 本章小结	第40-41页
5 硅片检测平台的Z向动态误差测试与结构改进	第41-51页
5.1 平台Z向动态误差测试	第41-48页
5.2 硅片检测平台结构改进	第48-49页
5.3 硅片检测平台误差分析和补偿	第49-50页
5.4 本章小结	第50-51页
6 全文总结与展望	第51-52页
6.1 全文总结	第51页
6.2 研究展望	第51-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-55页

本篇论文共55页，点击这进入下载页面。

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