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氧化锆陶瓷背板固结磨料研磨工艺研究
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氧化锆陶瓷背板固结磨料研磨工艺研究
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-11页
注释表
第11-12页
缩略词
第12-13页
第一章 绪论
第13-25页
1.1 引言
第13-14页
1.2 氧化锆陶瓷性质与研究现状
第14-19页
1.2.1 氧化锆陶瓷性质与应用
第14-16页
1.2.2 氧化锆陶瓷的制备方法
第16-17页
1.2.3 氧化锆陶瓷加工的国内外研究现状
第17-19页
1.3 固结磨料研磨技术
第19-22页
1.3.1 固结磨料研磨技术简介
第19-20页
1.3.2 固结磨料研磨技术应用现状
第20-22页
1.4 本文主要研究内容
第22-25页
第二章 单晶金刚石研磨氧化锆陶瓷背板研究
第25-41页
2.1 引言
第25页
2.2 固结磨料研磨垫的制备及研磨实验流程
第25-30页
2.2.1 实验材料
第25-26页
2.2.2 实验设备
第26-28页
2.2.3 固结磨料研磨垫的制备流程
第28-29页
2.2.4 研磨实验流程
第29-30页
2.3 金刚石粒径对FAP加工性能的影响
第30-33页
2.3.1 实验设计
第30页
2.3.2 金刚石粒径对材料去除率的影响
第30-31页
2.3.3 金刚石粒径对表面粗糙度的影响
第31-32页
2.3.4 金刚石粒径对表面形貌的影响
第32-33页
2.4 碳化硅砂浆粒径对FAP加工性能的影响
第33-36页
2.4.1 实验设计
第33-34页
2.4.2 碳化硅砂浆粒径对材料去除率的影响
第34-35页
2.4.3 碳化硅砂浆粒径对表面粗糙度的影响
第35页
2.4.4 碳化硅砂浆粒径对表面形貌的影响
第35-36页
2.5 碳化硅砂浆浓度对FAP加工性能的影响
第36-40页
2.5.1 实验设计
第37页
2.5.2 碳化硅砂浆浓度对材料去除率的影响
第37-38页
2.5.3 碳化硅砂浆浓度对表面粗糙度的影响
第38-39页
2.5.4 碳化硅砂浆浓度对表面形貌的影响
第39-40页
2.6 本章小结
第40-41页
第三章 金刚石聚集体研磨氧化锆陶瓷背板研究
第41-51页
3.1 引言
第41页
3.2 金刚石聚集体磨料的制备
第41-43页
3.2.1 实验材料及设备
第41-42页
3.2.2 金刚石聚集体磨料制备流程
第42-43页
3.3 金刚石聚集体磨粒的表面形貌
第43-44页
3.4 原始粒径对金刚石聚集体研磨氧化锆陶瓷背板的影响
第44-49页
3.4.1 实验设计
第44-45页
3.4.2 原始粒径对材料去除率的影响
第45-46页
3.4.3 原始粒径对表面粗糙度的影响
第46-47页
3.4.4 原始粒径对表面形貌的影响
第47-49页
3.5 本章小结
第49-51页
第四章 氧化锆陶瓷背板研磨工艺参数优化
第51-60页
4.1 引言
第51页
4.2 工艺优化的实验设计
第51-52页
4.3 研磨工艺参数对材料去除率的影响
第52-54页
4.4 工艺参数对表面粗糙度的影响
第54-57页
4.5 工艺参数对表面形貌的影响
第57-58页
4.6 综合优化及实验验证
第58-59页
4.7 本章小结
第59-60页
第五章 总结与展望
第60-62页
5.1 总结
第60-61页
5.2 展望
第61-62页
参考文献
第62-67页
致谢
第67-68页
在校期间的成果及发表的学术论文
第68页
本篇论文共
68
页,
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。
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