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氧化锆陶瓷背板固结磨料研磨工艺研究

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氧化锆陶瓷背板固结磨料研磨工艺研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-11页
注释表第11-12页
缩略词第12-13页
第一章 绪论第13-25页
  1.1 引言第13-14页
  1.2 氧化锆陶瓷性质与研究现状第14-19页
    1.2.1 氧化锆陶瓷性质与应用第14-16页
    1.2.2 氧化锆陶瓷的制备方法第16-17页
    1.2.3 氧化锆陶瓷加工的国内外研究现状第17-19页
  1.3 固结磨料研磨技术第19-22页
    1.3.1 固结磨料研磨技术简介第19-20页
    1.3.2 固结磨料研磨技术应用现状第20-22页
  1.4 本文主要研究内容第22-25页
第二章 单晶金刚石研磨氧化锆陶瓷背板研究第25-41页
  2.1 引言第25页
  2.2 固结磨料研磨垫的制备及研磨实验流程第25-30页
    2.2.1 实验材料第25-26页
    2.2.2 实验设备第26-28页
    2.2.3 固结磨料研磨垫的制备流程第28-29页
    2.2.4 研磨实验流程第29-30页
  2.3 金刚石粒径对FAP加工性能的影响第30-33页
    2.3.1 实验设计第30页
    2.3.2 金刚石粒径对材料去除率的影响第30-31页
    2.3.3 金刚石粒径对表面粗糙度的影响第31-32页
    2.3.4 金刚石粒径对表面形貌的影响第32-33页
  2.4 碳化硅砂浆粒径对FAP加工性能的影响第33-36页
    2.4.1 实验设计第33-34页
    2.4.2 碳化硅砂浆粒径对材料去除率的影响第34-35页
    2.4.3 碳化硅砂浆粒径对表面粗糙度的影响第35页
    2.4.4 碳化硅砂浆粒径对表面形貌的影响第35-36页
  2.5 碳化硅砂浆浓度对FAP加工性能的影响第36-40页
    2.5.1 实验设计第37页
    2.5.2 碳化硅砂浆浓度对材料去除率的影响第37-38页
    2.5.3 碳化硅砂浆浓度对表面粗糙度的影响第38-39页
    2.5.4 碳化硅砂浆浓度对表面形貌的影响第39-40页
  2.6 本章小结第40-41页
第三章 金刚石聚集体研磨氧化锆陶瓷背板研究第41-51页
  3.1 引言第41页
  3.2 金刚石聚集体磨料的制备第41-43页
    3.2.1 实验材料及设备第41-42页
    3.2.2 金刚石聚集体磨料制备流程第42-43页
  3.3 金刚石聚集体磨粒的表面形貌第43-44页
  3.4 原始粒径对金刚石聚集体研磨氧化锆陶瓷背板的影响第44-49页
    3.4.1 实验设计第44-45页
    3.4.2 原始粒径对材料去除率的影响第45-46页
    3.4.3 原始粒径对表面粗糙度的影响第46-47页
    3.4.4 原始粒径对表面形貌的影响第47-49页
  3.5 本章小结第49-51页
第四章 氧化锆陶瓷背板研磨工艺参数优化第51-60页
  4.1 引言第51页
  4.2 工艺优化的实验设计第51-52页
  4.3 研磨工艺参数对材料去除率的影响第52-54页
  4.4 工艺参数对表面粗糙度的影响第54-57页
  4.5 工艺参数对表面形貌的影响第57-58页
  4.6 综合优化及实验验证第58-59页
  4.7 本章小结第59-60页
第五章 总结与展望第60-62页
  5.1 总结第60-61页
  5.2 展望第61-62页
参考文献第62-67页
致谢第67-68页
在校期间的成果及发表的学术论文第68页

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