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液/固态源扩散对晶硅材料掺杂的研究

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液/固态源扩散对晶硅材料掺杂的研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-14页
第一章 绪论第14-26页
  1.1 晶硅太阳能电池概述第14-20页
    1.1.1 太阳能电池基本原理第15-16页
    1.1.2 太阳能电池结构第16-18页
    1.1.3 太阳能电池性能参数第18-20页
  1.2 掺杂方法介绍第20-25页
    1.2.1 热扩散第20-23页
    1.2.2 离子注入第23-25页
  1.3 课题研究内容及目标第25-26页
    1.3.1 课题研究内容第25页
    1.3.2 研究目标第25-26页
第二章 材料制备、结构和性能表征技术第26-35页
  2.1 主要实验设备及原料第26-27页
    2.1.1 主要实验设备第26页
    2.1.2 实验原料第26-27页
  2.2 制备方法第27-30页
    2.2.1 硅片衬底处理第27-28页
    2.2.2 SiO_2纳米球制备第28页
    2.2.3 硼和磷的扩散研究第28-30页
  2.3 性能表征仪器及方法第30-35页
    2.3.1 四探针电阻率/方阻测试仪第31-32页
    2.3.3 扫描电子显微镜第32-33页
    2.3.4 少数载流子寿命测试仪第33页
    2.3.5 紫外可见分光光度仪第33-35页
第三章 硼酸源扩散制备p~+层的性能研究第35-48页
  3.1 引言第35-36页
  3.2 SiO_2纳米球对硼酸源扩散的影响第36-42页
    3.2.1 SiO_2纳米球大小对扩散性能的影响第36-37页
    3.2.2 实验不同阶段衬底表面成分分析第37-38页
    3.2.3 扩散后SiO_2纳米球形貌第38页
    3.2.4 SiO_2纳米球对扩散方阻的影响第38-39页
    3.2.5 SiO_2纳米球对BRL生成情况的影响第39-40页
    3.2.6 SiO_2纳米球对扩散结深的影响第40-41页
    3.2.7 SiO_2纳米球对少数载流子寿命的影响第41-42页
  3.3 硼酸浓度对扩散性能的影响第42-43页
  3.4 扩散温度对扩散性能的影响第43-45页
    3.4.1 温度对扩散方块电阻的影响第43-44页
    3.4.2 温度对扩散结深的影响第44-45页
  3.5 扩散时间对扩散性能的影响第45-46页
    3.5.1 时间对扩散方块电阻的影响第45页
    3.5.2 时间对扩散结深的影响第45-46页
  3.6 本章小结第46-48页
第四章 硼纸源扩散制备p~+层的性能研究第48-57页
  4.1 引言第48页
  4.2 硼纸与衬底距离对扩散性能的影响第48-50页
    4.2.1 距离对方块电阻的影响第48-49页
    4.2.2 距离对扩散结深的影响第49-50页
  4.3 扩散温度对扩散性能影响第50-52页
    4.3.1 温度对方块电阻的影响第50页
    4.3.2 温度对扩散结深的影响第50-51页
    4.3.3 温度对BRL的影响第51-52页
    4.3.4 温度对少数载流子寿命的影响第52页
  4.4 扩散时间对扩散性能的影响第52-55页
    4.4.1 时间对方块电阻的影响第53页
    4.4.2 时间对扩散结深的影响第53-54页
    4.4.3 时间对BRL的影响第54页
    4.4.4 时间对少数载流子寿命的影响第54-55页
  4.5 本章小结第55-57页
第五章 磷酸源扩散制备n~+层的性能研究第57-68页
  5.1 引言第57-58页
  5.2 磷酸浓度对扩散性能的影响第58-59页
  5.3 SiO_2纳米球对扩散性能的影响第59-63页
    5.3.1 SiO_2纳米球大小对扩散性能的影响第59-60页
    5.3.2 SiO_2纳米球对方块电阻的影响第60页
    5.3.3 扩散后表面重掺杂层厚度研究第60-61页
    5.3.4 SiO_2纳米球对扩散结深的影响第61-62页
    5.3.5 SiO_2纳米球少数载流子寿命的影响第62-63页
  5.4 扩散温度对磷扩散性能的影响第63-65页
    5.4.1 温度对方块电阻的影响第63-64页
    5.4.2 温度扩散结深的影响第64-65页
  5.5 扩散时间对磷扩散性能的影响第65-66页
    5.5.1 时间对方块电阻的影响第65-66页
    5.5.2 时间对扩散结深影响第66页
  5.6 本章小结第66-68页
第六章 结论与展望第68-70页
  6.1 结论第68-69页
  6.2 展望第69-70页
参考文献第70-77页
致谢第77-78页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第78页

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