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蓝宝石表面氧化钇薄膜的制备及性能研究
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蓝宝石表面氧化钇薄膜的制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-11页
第一章 绪论第11-25页
　　1.1 蓝宝石概述第11-13页
　　　　1.1.1 蓝宝石的性质第11-12页
　　　　1.1.2 蓝宝石的制备、应用与不足第12-13页
　　1.2 蓝宝石表面抗反射技术第13-21页
　　　　1.2.1 薄膜抗反射技术第13-17页
　　　　1.2.2 微结构抗反射技术第17-20页
　　　　1.2.3 薄膜/微结构抗反射技术第20-21页
　　1.3 氧化钇概述第21-23页
　　　　1.3.1 氧化钇薄膜的性质第21-22页
　　　　1.3.2 氧化钇薄膜的研究现状第22-23页
　　1.4 本文研究意义与内容第23-25页
　　　　1.4.1 研究意义第23-24页
　　　　1.4.2 研究内容第24-25页
第二章 实验材料、设备及方法第25-30页
　　2.1 总体研究方案第25页
　　2.2 实验材料与设备第25-26页
　　2.3 制备方法与流程第26-28页
　　　　2.3.1 反应磁控溅射主要参数第26-27页
　　　　2.3.2 样品制备工艺流程第27-28页
　　2.4 性能表征方法第28-30页
　　　　2.4.1 差示扫描量热法/热失重测试第28页
　　　　2.4.2 X射线光电子能谱测试第28页
　　　　2.4.3 掠入射X射线衍射测试第28页
　　　　2.4.4 扫描电子显微镜测试第28-29页
　　　　2.4.5 原子力显微镜测试第29页
　　　　2.4.6 拉曼光谱测试第29页
　　　　2.4.7 纳米压痕测试第29页
　　　　2.4.8 椭偏仪测试第29页
　　　　2.4.9 紫外可见近红外测试第29页
　　　　2.4.10 傅立叶变换红外光谱测试第29-30页
第三章 退火温度对氧化钇薄膜的影响第30-45页
　　3.1 退火温度对氧化钇薄膜成分的影响第30-35页
　　　　3.1.1 氧化钇薄膜的热分析第30-31页
　　　　3.1.2 氧化钇薄膜的元素价态分析第31-35页
　　3.2 退火温度对氧化钇薄膜微观形貌的影响第35-40页
　　　　3.2.1 氧化钇薄膜的GIXRD分析第35-36页
　　　　3.2.2 氧化钇薄膜的拉曼光谱分析第36-37页
　　　　3.2.3 氧化钇薄膜的SEM分析第37-38页
　　　　3.2.4 氧化钇薄膜的AFM分析第38-40页
　　3.3 退火温度对氧化钇薄膜性能的影响第40-43页
　　　　3.3.1 氧化钇薄膜纳米力学性能分析第40-41页
　　　　3.3.2 氧化钇薄膜光学性能分析第41-43页
　　3.4 小结第43-45页
第四章 氧化钇薄膜对微结构表面蓝宝石光学性能的影响第45-56页
　　4.1 蓝宝石光学性能的有限时域差分法分析第45-50页
　　　　4.1.1 时域有限差分法（FDTD）简介第45-46页
　　　　4.1.2 FDTD Solutions中的模型创建和参数设置第46-48页
　　　　4.1.3 FDTD Solutions模拟计算结果第48-50页
　　4.2 氧化钇薄膜/微结构表面蓝宝石的制备第50-52页
　　4.3 氧化钇薄膜/微结构表面蓝宝石的光学性能研究第52-55页
　　　　4.3.1 紫外可见近红外波段第52-54页
　　　　4.3.2 中红外波段第54-55页
　　4.4 小结第55-56页
第五章 结论第56-57页
参考文献第57-64页
致谢第64-65页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第65-66页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。
 
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