线扫描光学相干显微（OCM）系统及应用研究

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线扫描光学相干显微（OCM）系统及应用研究

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线扫描光学相干显微（OCM）系统及应用研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-13页
第一章绪论	第13-21页
1.1 表面形貌测量	第13-15页
1.1.1 机械探针法	第13-14页
1.1.2 光学探针法	第14页
1.1.3 共焦显微法	第14-15页
1.1.4 干涉显微法	第15页
1.2 OCM技术发展概况	第15-18页
1.2.1 OCM技术简介	第15-17页
1.2.2 OCM研究的国内外现状	第17-18页
1.3 课题研究简介	第18-21页
1.3.1 课题研究的意义	第18-19页
1.3.2 课题研究的基础	第19页
1.3.3 论文内容安排	第19-21页
第二章线扫描OCM系统的相关理论	第21-31页
2.1 OCM系统的理论分析	第21-24页
2.1.1 OCM系统理论基础	第21-22页
2.1.2 线扫描OCM系统的原理	第22-24页
2.2 线扫描OCM系统的性能参数	第24-29页
2.2.1 系统的轴向分辨率	第24-26页
2.2.2 系统的横向分辨率	第26-27页
2.2.3 系统的成像深度	第27页
2.2.4 系统的成像速度	第27-28页
2.2.5 系统的信噪比与灵敏度	第28-29页
2.3 光学系统光能的损失	第29-30页
2.4 本章小结	第30-31页
第三章线扫描OCM系统的设计	第31-46页
3.1 线扫描OCM系统模型	第31-41页
3.1.1 光源及光纤耦合器的选择	第31-32页
3.1.2 显微物镜的选择	第32-34页
3.1.3 样品臂的设计	第34-36页
3.1.4 光谱仪的设计	第36-41页
3.2 软件部分设计	第41-43页
3.2.1 软件开发流程简介	第41页
3.2.2 信号储存模块与处理模块设计	第41-43页
3.3 实验系统搭建与调节步骤	第43-45页
3.4 本章小结	第45-46页
第四章成像实验与分析	第46-61页
4.1 系统性能测试	第46-51页
4.1.1 样品臂光衰减度测试	第46-47页
4.1.2 横向分辨率测定	第47-49页
4.1.3 轴向分辨率测定	第49-50页
4.1.4 成像范围和速度测定	第50-51页
4.2 光纤样品验证实验	第51-53页
4.3 微结构表面三维重构	第53-60页
4.3.1 表面三维形貌重构	第54-55页
4.3.2 三维形貌成像实验	第55-58页
4.3.3 测量精度分析	第58-60页
4.4 本章小结	第60-61页
第五章总结与展望	第61-63页
5.1 论文的工作总结	第61-62页
5.2 后续工作的设想	第62-63页
参考文献	第63-67页
致谢	第67-68页
在学期间的研究成果及发表的学术论文	第68页

本篇论文共68页，点击这进入下载页面。

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