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电容式压力微传感器及其无线测量系统

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电容式压力微传感器及其无线测量系统
论文目录
 
第一章 前言第1-14 页
  §1.1 微机电系统简介第6-7 页
  §1.2 电容式压力传感器概况第7-11 页
  §1.3 传感器集成与无线传感器第11-13 页
  §1.4 本课题的任务第13-14 页
第二章 电容式传感器模型第14-26 页
  §2.1 电容式压力传感器结构原理第14-15 页
  §2.2 硅膜片的弹性分析第15-26 页
第三章 电容式压力传感器测量电路第26-39 页
  §3.1 电容信号处理电路原理第26-27 页
  §3.2 正弦振荡-放大电路第27-29 页
  §3.3 移相电路第29-31 页
  §3.4 同步检波第31-35 页
  §3.5 电路调试与实验结果第35-38 页
  §3.6 传感器分段线性测量的实现设想第38-39 页
第四章 电容式微传感器无线测量系统第39-58 页
  §4.1 无线测量系统框图第39-40 页
  §4.2 CMOS电容信号处理电路第40-46 页
  §4.3 方波调制电路第46-50 页
  §4.4 解调电路第50-52 页
  §4.5 仿真结果第52-58 页
第五章 结论与展望第58-60 页
  §5.1 结论第58 页
  §5.2 展望第58-60 页
致谢第60-61 页
参考文献第61-64页

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