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电容式压力微传感器及其无线测量系统
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电容式压力微传感器及其无线测量系统
论文目录
第一章 前言
第1-14 页
§1.1 微机电系统简介
第6-7 页
§1.2 电容式压力传感器概况
第7-11 页
§1.3 传感器集成与无线传感器
第11-13 页
§1.4 本课题的任务
第13-14 页
第二章 电容式传感器模型
第14-26 页
§2.1 电容式压力传感器结构原理
第14-15 页
§2.2 硅膜片的弹性分析
第15-26 页
第三章 电容式压力传感器测量电路
第26-39 页
§3.1 电容信号处理电路原理
第26-27 页
§3.2 正弦振荡-放大电路
第27-29 页
§3.3 移相电路
第29-31 页
§3.4 同步检波
第31-35 页
§3.5 电路调试与实验结果
第35-38 页
§3.6 传感器分段线性测量的实现设想
第38-39 页
第四章 电容式微传感器无线测量系统
第39-58 页
§4.1 无线测量系统框图
第39-40 页
§4.2 CMOS电容信号处理电路
第40-46 页
§4.3 方波调制电路
第46-50 页
§4.4 解调电路
第50-52 页
§4.5 仿真结果
第52-58 页
第五章 结论与展望
第58-60 页
§5.1 结论
第58 页
§5.2 展望
第58-60 页
致谢
第60-61 页
参考文献
第61-64页
本篇论文共
64
页,
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。
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