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低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究
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低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究
论文目录
摘要
第1-8页
Abstract
第8-9页
第1章 绪论
第9-20页
· 类金刚石膜的结构与分类
第9-10页
· 类金刚石薄膜的生长机理
第10页
· 吸附层模型
第10页
· 亚表面注入生长模型
第10页
· 类金刚石膜的制备方法
第10-15页
· 物理气相沉积
第10-14页
· 化学气相沉积
第14页
· 液相法
第14-15页
· 类金刚石碳膜的性能与应用
第15-16页
· 机械性能与应用
第15-16页
· 电学性能与应用
第16页
· 光学性能与应用
第16页
· 生物相容性与应用
第16页
· 类金刚石膜存在的问题
第16-17页
· 课题的提出
第17-20页
· 金属掺杂 DLC 膜的研究现状及意义
第17-18页
· 课题研究内容和目标
第18-20页
第2章 实验与测试方法
第20-26页
· 薄膜沉积设备
第20-21页
· 薄膜制备方法
第21页
· 薄膜性能表征
第21-26页
· 薄膜的结构和成分表征
第22-23页
· 薄膜厚度和机械性能表征
第23-24页
· 薄膜摩擦学性能表征
第24-26页
第3章 低浓度 Ti 掺杂 DLC 薄膜的结构及性能研究
第26-48页
· 不同含量 Ti 掺杂 DLC 薄膜的制备及性能研究
第26-33页
· 样品制备
第26页
· 薄膜沉积速率和 Ti 掺杂量
第26-27页
· 薄膜结构分析
第27-29页
· 薄膜应力和力学性能分析
第29-30页
· 薄膜摩擦学性能分析
第30-33页
· 不同低含量 Ti-DLC 薄膜的制备及性能研究
第33-38页
· 样品制备
第33页
· 薄膜结构和成分分析
第33-36页
· 薄膜应力和力学性能分析
第36-37页
· 薄膜摩擦学性能分析
第37-38页
· 偏压对低含量 Ti 掺杂 DLC 薄膜结构及性能的影响
第38-44页
· 样品制备
第38-39页
· 薄膜中 Ti 含量分析
第39页
· 薄膜结构分析
第39-42页
· 薄膜应力和力学性能分析
第42页
· 薄膜摩擦学性能分析
第42-44页
· 测试条件对薄膜摩擦学性能的影响
第44-48页
· 载荷对薄膜摩擦学性能的影响
第44-45页
· 摩擦速度对薄膜摩擦学性能的影响
第45-46页
· 不同对偶材料对薄膜摩擦学性能的影响
第46页
· 不同尺寸对偶对薄膜摩擦学性能的影响
第46-48页
第4章 结论
第48-50页
参考文献
第50-57页
致谢
第57-58页
附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录
第58页
本篇论文共
58
页,
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