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低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究

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低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究
论文目录
 
摘要第1-8页
Abstract第8-9页
第1章 绪论第9-20页
  · 类金刚石膜的结构与分类第9-10页
  · 类金刚石薄膜的生长机理第10页
    · 吸附层模型第10页
    · 亚表面注入生长模型第10页
  · 类金刚石膜的制备方法第10-15页
    · 物理气相沉积第10-14页
    · 化学气相沉积第14页
    · 液相法第14-15页
  · 类金刚石碳膜的性能与应用第15-16页
    · 机械性能与应用第15-16页
    · 电学性能与应用第16页
    · 光学性能与应用第16页
    · 生物相容性与应用第16页
  · 类金刚石膜存在的问题第16-17页
  · 课题的提出第17-20页
    · 金属掺杂 DLC 膜的研究现状及意义第17-18页
    · 课题研究内容和目标第18-20页
第2章 实验与测试方法第20-26页
  · 薄膜沉积设备第20-21页
  · 薄膜制备方法第21页
  · 薄膜性能表征第21-26页
    · 薄膜的结构和成分表征第22-23页
    · 薄膜厚度和机械性能表征第23-24页
    · 薄膜摩擦学性能表征第24-26页
第3章 低浓度 Ti 掺杂 DLC 薄膜的结构及性能研究第26-48页
  · 不同含量 Ti 掺杂 DLC 薄膜的制备及性能研究第26-33页
    · 样品制备第26页
    · 薄膜沉积速率和 Ti 掺杂量第26-27页
    · 薄膜结构分析第27-29页
    · 薄膜应力和力学性能分析第29-30页
    · 薄膜摩擦学性能分析第30-33页
  · 不同低含量 Ti-DLC 薄膜的制备及性能研究第33-38页
    · 样品制备第33页
    · 薄膜结构和成分分析第33-36页
    · 薄膜应力和力学性能分析第36-37页
    · 薄膜摩擦学性能分析第37-38页
  · 偏压对低含量 Ti 掺杂 DLC 薄膜结构及性能的影响第38-44页
    · 样品制备第38-39页
    · 薄膜中 Ti 含量分析第39页
    · 薄膜结构分析第39-42页
    · 薄膜应力和力学性能分析第42页
    · 薄膜摩擦学性能分析第42-44页
  · 测试条件对薄膜摩擦学性能的影响第44-48页
    · 载荷对薄膜摩擦学性能的影响第44-45页
    · 摩擦速度对薄膜摩擦学性能的影响第45-46页
    · 不同对偶材料对薄膜摩擦学性能的影响第46页
    · 不同尺寸对偶对薄膜摩擦学性能的影响第46-48页
第4章 结论第48-50页
参考文献第50-57页
致谢第57-58页
附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录第58页

本篇论文共58页,点击这进入下载页面
 
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