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基于QD的位移测量系统误差校正方法研究

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基于QD的位移测量系统误差校正方法研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第1章 绪论第9-14页
  · 课题的背景及意义第9-10页
  · 国内外研究现状第10-12页
    · 位移测量技术的发展现状第10-11页
    · QD的应用及发展现状第11-12页
  · 课题来源及本文主要内容第12-14页
第2章 应用QD测量位移的原理第14-28页
  · QD的物理效应第14-17页
  · QD测量光斑位移的原理第17-22页
    · 光斑位移的测量原理第17-18页
    · 通用定位算法第18-20页
    · 本课题使用的光斑定位算法第20-22页
  · QD测量角位移和线位移的原理第22-25页
    · 角位移的测量原理第23-24页
    · 线位移的测量原理第24-25页
  · 位移测量系统结构及项目指标要求第25-27页
    · 位移测量系统结构及功能第25-27页
    · 项目指标要求第27页
  · 本章小结第27-28页
第3章 精度影响因素及校正方法第28-38页
  · 干扰第28-32页
    · 系统内部噪声第28-29页
    · 背景光第29页
    · 干扰信号对精度的影响第29-30页
    · 干扰的去除方法第30-32页
  · 不均匀性的补偿校正第32-37页
    · 均匀度的定义第32-33页
    · 不均匀性测量实验第33-34页
    · 不均匀性补偿校正方法第34-37页
  · 本章小结第37-38页
第4章 位移测量实验及其结果分析第38-46页
  · 实验平台的搭建第38-40页
  · 实验原理及方法第40-42页
    · 实验原理第40-41页
    · 实验方法第41-42页
  · 实验结果分析第42-45页
  · 本章小结第45-46页
第5章 系统性能指标测试第46-53页
  · 光斑位移的测量精度第46-49页
  · 测量范围第49-52页
    · 光斑位移的测量范围第49-50页
    · 频率的测量范围第50-52页
  · 本章小结第52-53页
结论第53-54页
参考文献第54-57页
致谢第57-58页
研究生履历第58-59页

本篇论文共59页,点击这进入下载页面
 
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