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基片式光纤光栅应变传感器金属化封装的关键技术
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基片式光纤光栅应变传感器金属化封装的关键技术
论文目录
中文摘要
第1-4页
英文摘要
第4-8页
1 绪论
第8-16页
1.1 光纤光栅应变传感器应用简介
第8-9页
1.2 基片式光纤光栅应变传感器的封装类型
第9-12页
1.3 基片式光纤光栅应变传感器的金属化封装现状
第12-15页
1.4 研究内容及意义
第15-16页
2 基片式光纤光栅应变传感器金属化封装方案
第16-22页
2.1 电镀原理
第16-18页
2.2 基片式光纤光栅应变传感器金属化封装方案
第18-20页
2.3 本章小结
第20-22页
3 光纤光栅的金属化工艺
第22-38页
3.1 金属镀膜方法
第22-24页
3.1.1 真空蒸镀
第22-23页
3.1.2 磁控溅射
第23页
3.1.3 化学镀膜
第23页
3.1.4 光纤光栅的金属化
第23-24页
3.2 光纤光栅的金属化方案
第24-29页
3.2.1 化学镀银机理
第24-26页
3.2.2 光纤光栅表面化学镀银
第26-29页
3.3 光纤光栅的金属化工艺优化
第29-36页
3.3.1 实验方案
第29页
3.3.2 镀层评价体系
第29-30页
3.3.3 镀层评价方案
第30-33页
3.3.4 实验结果
第33-36页
3.4 本章小结
第36-38页
4 光纤光栅的超级电镀封装
第38-52页
4.1 金属封装基片的设计
第38-45页
4.1.1 材料的选取
第39-40页
4.1.2 结构的设计
第40-42页
4.1.3 仿真结果
第42-45页
4.2 超级电镀工艺优化
第45-50页
4.2.1 粘接参数
第45-46页
4.2.2 超级电镀装置
第46-48页
4.2.3 超级电镀结果
第48-50页
4.3 本章小结
第50-52页
5 性能评价
第52-70页
5.1 基片式光纤光栅应变传感器的金属化封装实验
第52-53页
5.2 光纤光栅金属化封装效果的定性评价
第53-56页
5.3 光纤光栅金属化封装质量的定量评估
第56-65页
5.3.1 拉力实验
第56-58页
5.3.2 实验数据处理
第58-62页
5.3.3 应变传感结果的评估
第62-63页
5.3.4 应变传递过程的评估
第63-65页
5.4 与有机胶封装的对比
第65-68页
5.4.1 有机胶封装实验
第65-66页
5.4.2 实验结果
第66-68页
5.5 本章小结
第68-70页
6 总结与展望
第70-72页
6.1 总结
第70-71页
6.2 展望
第71-72页
致谢
第72-74页
参考文献
第74-80页
附录
第80页
A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文
第80页
本篇论文共
80
页,
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。
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