柔性可变栅极石墨烯场效应应变传感元件的制备和性能研究

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柔性可变栅极石墨烯场效应应变传感元件的制备和性能研究

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柔性可变栅极石墨烯场效应应变传感元件的制备和性能研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章绪论	第10-22页
1.1 石墨烯简介	第10-14页
1.1.1 石墨烯的性质	第10-12页
1.1.2 石墨烯的制备方法	第12-14页
1.2 拉曼光谱表征石墨烯	第14-17页
1.2.1 石墨烯拉曼光谱产生原理	第14-15页
1.2.2 石墨烯层数和拉曼光谱的关系	第15-16页
1.2.3 拉曼光谱表征石墨烯缺陷	第16页
1.2.4 拉曼光谱表征石墨烯形变	第16-17页
1.3 石墨烯电子器件	第17-19页
1.4 本课题的研究目的、研究内容	第19-22页
1.4.1 研究目的	第19-20页
1.4.2 研究内容	第20-22页
第二章应变传感元件的制备	第22-34页
2.1 引言	第22-23页
2.2 实验材料和设备	第23-24页
2.2.1 实验试剂	第23页
2.2.2 实验器材和设备	第23-24页
2.3 棱型阵列铜基底的制备	第24-28页
2.3.1 硅片上光刻阵列图形	第24-25页
2.3.2 TMAH溶液腐蚀硅片	第25-26页
2.3.3 电镀工艺制备铜阵列基底	第26-28页
2.4 化学气相沉积法生长石墨烯阵列	第28-29页
2.5 石墨烯阵列转移至PDMS基底	第29-30页
2.6 器件的组装	第30-32页
2.7 本章总结	第32-34页
第三章石墨烯拉曼光谱表征	第34-40页
3.1 引言	第34页
3.2 实验材料与设备	第34页
3.2.1 实验试剂	第34页
3.2.2 实验器材和设备	第34页
3.3 实验设计	第34-36页
3.3.1 CVD石墨烯拉曼表征	第35页
3.3.2 转移后石墨烯拉曼表征	第35页
3.3.3 形变后石墨烯拉曼表征	第35-36页
3.4 实验结果与讨论	第36-38页
3.4.1 CVD生长石墨烯拉曼表征	第36页
3.4.2 转移后石墨烯拉曼表征	第36-37页
3.4.3 形变石墨烯拉曼表征	第37-38页
3.5 本章小结	第38-40页
第四章应变传感元件应变测试	第40-60页
4.1 引言	第40页
4.2 实验材料及设备	第40页
4.3 测试系统	第40-43页
4.3.1 压力测试系统	第41-42页
4.3.2 栅极电压输出和数据采集系统	第42-43页
4.4 实验方法	第43-48页
4.4.1 实验原理	第43-44页
4.4.2 实验	第44-45页
4.4.3 模拟	第45-48页
4.5 实验结果	第48-56页
4.5.1 SEM表征结果	第48-49页
4.5.2 应变测试结果	第49-54页
4.5.3 模拟结果	第54-56页
4.6 结果讨论	第56-57页
4.7 本章小结	第57-60页
第五章总结与展望	第60-62页
5.1 总结	第60-61页
5.2 展望	第61-62页
硕士期间发表论文及专利	第62-64页
致谢	第64-66页
参考文献	第66-69页

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