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接触式电容压力微传感器的分析与设计

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接触式电容压力微传感器的分析与设计
论文目录
 
CHINESE ABSTRACT第1-4 页
ENGLISH ABSTRACT第4-5 页
ACKNOWLEDGMENTS第5-8 页
Chapter1第8-12 页
  1.1 Introduction第8 页
  1.2 Background of capacitive pressure sensor第8-9 页
  1.3 Modeling of silicon diaphragms第9 页
  1.4 Objective of the thesis第9-10 页
  1.5 Outline of this thesis第10-12 页
Chapter2 Modeling of TMCPS diaphragm第12-23 页
  2.1 Introduction第12 页
  2.2 Fersibility of solid elements to model diaphragm第12-13 页
  2.3 Modeling of the sensing diaphmgm of TMCPS第13-14 页
  2.4 Mechanisim of the deformed diaphragm第14 页
  2.5 Conclusion第14-23 页
Chapter3 Hysteresis Analysis of TMCPS第23-47 页
  3.1 Introduction第23 页
  3.2 Elementary equations of circular plate,and approach to deal with touch第23-25 页
  3.3 Adhesive forces第25-26 页
  3.4 Approach of modeling第26-28 页
  3.5 Modeled results of hysteresis第28-31 页
  3.6 Conelusion第31-47 页
Chapter4 A new TMCPS with two deformable diaphragms第47-71 页
  4.1 Introduction第47 页
  4.2 The structural features and Characteristics第47-49 页
  4.3 Deflection and stress of the diaphragms of DDTMCPS第49-52 页
  4.4 Proposed fabrication process第52-53 页
  4.5 Conclusion第53-71 页
Chapter5 Summary第71-74 页
Bibliography第74-78 页
AppendixⅠ MATLAB program for modeling hysteresis of TMCPS with circular diaphragm第78-81 页
AppendixⅡ JAVA program for transforming ANSYS output results into matrix第81-87 页
AppendixⅢ MATLAB program for calculating capacitance from deflection第87-89页

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