极化聚合物电光开关的制备及稳定性研究

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极化聚合物电光开关的制备及稳定性研究

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极化聚合物电光开关的制备及稳定性研究

论文目录
中文摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章绪论	第10-21页
· 光开关的概念	第10页
· 光开关的分类	第10-14页
· 光控光开关	第10-11页
· 电控光开关	第11-14页
· 光开关的应用	第14-15页
· 极化聚合物电光材料的分类和研究进展	第15-18页
· 电光材料的发展	第15页
· 聚合物电光材料的分类及研究进展	第15-18页
· 极化聚合物电光开关研究进展	第18-20页
· 本论文的主要工作	第20-21页
第2章极化聚合物电光开关原理	第21-28页
· 电光效应原理	第21-24页
· 脊型波导原理	第24-25页
· M-Z 干涉仪型电光开关原理	第25-26页
· 聚合物的极化	第26-28页
第3章 ICP 刻蚀制备工艺优化	第28-40页
· 概述	第28-30页
· ICP 刻蚀简介	第28-29页
· 实验材料及工艺流程	第29-30页
· ICP 刻蚀参数的优化	第30-39页
· 天线射频功率的优化	第30-33页
· 偏置射频功率的优化	第33-35页
· 刻蚀腔室压强的优化	第35-36页
· 氧气流量的优化	第36-38页
· 刻蚀时间的优化	第38-39页
· 总结	第39-40页
第4章极化聚合物电光材料稳定性分析	第40-51页
· 不同包层对 DR1/SU-8 的影响	第40-42页
· DR1/SU-8 的制备	第40-41页
· 不同包层对 DR1/SU-8 的影响	第41-42页
· 不同极化方式对薄膜形态的影响	第42-46页
· 序参数及其随时间的弛豫	第46-51页
第5章极化聚合物电光开关的制备	第51-62页
· 基于 PDMS 的倒脊形波导电光开关的设计与制备	第51-57页
· 材料的选取及波导的设计	第51-53页
· 基于 PDMS 包层的器件制备	第53-55页
· 器件的测试	第55-57页
· 基于 KH560 有机/无机杂化材料的电光开关制备	第57-62页
· 基于 KH560 的有机/无机杂化非线性材料的制备及表征	第57-59页
· 器件的制备及测试	第59-62页
第6章结论与展望	第62-63页
参考文献	第63-68页
攻读学位期间发表的学术论文及取得的科研成果	第68-69页
致谢	第69页

本篇论文共69页，点击这进入下载页面。

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