微电沉积空间内真空沸腾气泡动力学行为特性研究

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微电沉积空间内真空沸腾气泡动力学行为特性研究

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微电沉积空间内真空沸腾气泡动力学行为特性研究

论文目录
致谢	第1-5页
摘要	第5-7页
Abstract	第7-11页
1 绪论	第11-25页
· 电沉积工艺原理与应用	第11页
· 电解液真空沸腾电沉积技术	第11-14页
· 微细电铸技术研究现状	第14-17页
· 真空沸腾微细电沉积初步试验	第17-20页
· 沸腾气泡动力学行为特性	第20-22页
· 气泡脱离加热面时的直径	第20-21页
· 气泡生成(脱离)频率和汽化成核密度	第21-22页
· 孔口气泡的形成	第22页
· 微空间内气泡行为及气液两相流动特性研究现状	第22-24页
· 本文研究内容与创新点	第24-25页
· 研究内容	第24页
· 创新点	第24-25页
2 沸腾气泡动力学基础理论	第25-37页
· 核化机理和气泡形成	第25-30页
· 均匀核化	第25-27页
· 非均匀核化	第27-30页
· 典型气泡生长循环	第30-31页
· 气泡增长过程	第31-32页
· 沸腾传热	第32页
· 气液两相流	第32-36页
· 基本概念	第32-33页
· 气液两相平衡	第33-34页
· 流型	第34-36页
· 本章小结	第36-37页
3 电沉积微孔内真空沸腾气泡动力学行为特性分析	第37-65页
· 引言	第37页
· 试验装置及条件	第37-39页
· 试验装置	第37-39页
· 试验条件	第39页
· 气泡动力学行为	第39-53页
· 气泡生长及脱离	第39-42页
· 气泡脱离直径	第42-46页
· 气泡生成频率	第46-50页
· 微孔内多气泡动力学行为及聚并特性	第50-53页
· 微孔内气液两相流型演变规律	第53-57页
· 微孔逸出气泡的动力学行为及交互作用	第57-60页
· 单孔逸出气泡行为	第57-58页
· 并联多孔逸出气泡行为及交互作用	第58-60页
· 微孔孔口气泡脱离后的回液现象分析	第60-61页
· 气泡脱离后的回液过程	第60-61页
· 回液过程的影响因素	第61页
· 本章小结	第61-65页
4 电沉积微槽内真空沸腾气泡动力学行为特性分析	第65-79页
· 引言	第65页
· 试验条件及装置	第65-66页
· 试验装置	第65页
· 试验条件	第65-66页
· 气泡动力学行为	第66-74页
· 气泡生长及脱离	第66-68页
· 气泡脱离直径	第68-71页
· 气泡脱离频率	第71-72页
· 微槽内多气泡动力学行为及聚并特性	第72-74页
· 微槽内气液两相流型特征	第74-76页
· 微槽槽口气泡脱离后的回液现象分析	第76-77页
· 本章小结	第77-79页
5 总结与展望	第79-83页
· 总结	第79-80页
· 展望	第80-83页
参考文献	第83-91页
作者简历	第91-93页
	第93页

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