基于超声振动的硅片边缘抛光研究

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基于超声振动的硅片边缘抛光研究

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基于超声振动的硅片边缘抛光研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
1 绪论	第9-21页
· 硅片加工技术	第9-12页
· 硅片及其加工工艺	第9-11页
· 硅片化学机械抛光技术	第11-12页
· 超声抛光技术研究概况	第12-16页
· 超声抛光技术的研究背景	第12-13页
· 超声抛光技术的研究现状	第13-16页
· 硅片边缘抛光国内外研究现状	第16-20页
· 课题的主要研究内容	第20-21页
2 硅片边缘分析	第21-30页
· 硅片边缘的形成	第21-22页
· 硅片边缘轮廓	第22-26页
· 硅片边缘轮廓规范	第22-24页
· 实验所用硅片边缘轮廓	第24-26页
· 硅片边缘缺陷	第26-29页
· 边缘缺陷类型及产生的原因	第26-28页
· 边缘缺陷的处理方法	第28-29页
· 小结	第29-30页
3 压电式硅片边缘抛光工具	第30-47页
· 压电式抛光工具的理论基础	第30-36页
· 压电效应与压电方程	第30-32页
· 压电式抛光工具的工作原理	第32-36页
· 基于 ANSYS 的抛光工具动态分析	第36-41页
· 抛光工具的工作面设计	第36-37页
· 抛光工具的有限元分析	第37-39页
· 抛光工具的基本结构	第39-41页
· 抛光工具的改造加工制作	第41-43页
· 夹具的设计	第41-42页
· 抛光工具及夹具的加工	第42-43页
· 抛光工具振动特性测试实验	第43-46页
· 实验仪器及测试原理	第43-44页
· 振动特性测试实验	第44-46页
· 小结	第46-47页
4 硅片边缘超声振动抛光原理及实验系统	第47-57页
· 硅片边缘超声振动抛光原理	第47-52页
· 抛光实验系统	第52-55页
· 抛光实验工作台	第52-53页
· 抛光实验装置	第53-55页
· 抛光实验监测系统	第55-56页
· 小结	第56-57页
5 硅片边缘超声振动抛光实验研究	第57-69页
· 抛光实验条件	第57-60页
· 影响实验的主要因素	第57-59页
· 实验条件的设定	第59-60页
· 边缘抛光实验	第60-62页
· 实验结果测试及分析	第62-68页
· 硅片边缘测试方法	第62-63页
· 实验结果与分析	第63-68页
· 小结	第68-69页
6 结论	第69-70页
参考文献	第70-72页
攻读硕士期间发表学术论文情况	第72-73页
致谢	第73页

本篇论文共73页，点击这进入下载页面。

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