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利用纳米压印技术构筑图案化微纳结构

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利用纳米压印技术构筑图案化微纳结构
论文目录
 
中文摘要第1-8 页
Abstract第8-10 页
第一章 绪论第10-30 页
  · 引言第10-11 页
  · 纳米压印技术第11-19 页
    · 纳米压印技术的分类第12-16 页
    · 模板和抗粘层的制备第16-18 页
    · 影响图形精度的因素第18-19 页
  · 纳米压印技术的应用第19-25 页
    · 纳米器件第19-22 页
    · 纳米光栅和光子晶体第22-25 页
    · 纳米点、线、管第25 页
  · 目前研究的现状及存在的问题第25-26 页
  · 本文选题和研究目的第26-27 页
  参考文献第27-30 页
第二章 纳米压印工艺的初步建立第30-48 页
  · 引言第30 页
  · 阻挡层的制备第30-35 页
    · 基底的清洗第31-32 页
    · 压印胶的旋涂第32-35 页
  · 热压印模板的选择第35-40 页
  · 热压印过程第40-43 页
    · 光栅的压印与分析第41-42 页
    · 光盘的压印与分析第42-43 页
  · 图案的转移第43-45 页
    · 反应离子刻蚀技术(Reactive Ion Etching, RIE)第43-44 页
    · 金属化第44-45 页
  · 本章小结第45-46 页
  参考文献第46-48 页
第三章 利用纳米压印技术复制荷叶的表面结构第48-58 页
  · 引言第48-49 页
  · 实验部分第49-50 页
    · 荷叶的表征及直接压印第49 页
    · 利用离子束溅射技术在荷叶表面沉积无机膜第49-50 页
    · 镀膜后荷叶的疏水性质表征第50 页
    · 镀膜后荷叶的压印第50 页
  · 结果与讨论第50-55 页
  · 本章小结第55-56 页
  参考文献第56-58 页
第四章 聚二甲基硅氧烷模板的压印第58-69 页
  · 引言第58-59 页
  · 实验部分第59-60 页
    · 聚二甲基硅氧烷(PDMS)的制备和复制原始模板过程第59 页
    · 氧化锌溶胶的制备第59 页
    · 热压印过程第59-60 页
  · 结果与讨论第60-67 页
    · 光盘的表面形貌与分析第60-61 页
    · 复制光盘后PDMS 的表面形貌与分析第61 页
    · 阻挡层为PMMA 的压印结果第61-62 页
    · 阻挡层为ZnO 溶胶的压印结果与分析第62-66 页
    · 其他特殊结构表面的复制第66-67 页
  · 本章小结第67-68 页
  参考文献第68-69 页
工作总结和展望第69-70 页
硕士期间发表的论文和已完成的工作第70-71 页
致谢第71页

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