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基于原子力显微镜机械刻蚀构筑纳米结构和纳米图案

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基于原子力显微镜机械刻蚀构筑纳米结构和纳米图案
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-24页
  · 纳米科技概述第10-11页
  · 纳米加工技术概述第11-14页
    · 超精密机械加工第12页
    · 光刻加工第12页
    · 能量束加工技术第12-13页
    · LIGA 技术第13页
    · 纳米压印技术第13-14页
    · 基于扫描探针加工技术第14页
  · 扫描探针加工技术第14-16页
    · 扫描探针显微镜简介第14-15页
    · 扫描隧道显微镜第15页
    · 原子力显微镜第15-16页
  · 基于原子力显微镜的加工技术第16-18页
    · AFM 探针机械刻蚀加工第16页
    · 局部阳极氧化纳米加工第16-17页
    · 热致刻蚀第17页
    · 蘸笔印刷术第17-18页
  · 论文的研究意义、存在问题及研究内容第18-20页
    · 论文的研究意义第18页
    · 目前存在的主要问题第18-19页
    · 研究内容第19-20页
  参考文献第20-24页
第二章 铂和云母基底上纳米图案机械刻蚀技术第24-42页
  · AFM 工作原理第24-26页
    · AFM 机械刻蚀第24-25页
    · AFM 刻蚀探针的选取第25-26页
  · 实验部分第26-27页
    · 实验仪器第26页
    · 基底制备第26页
    · 实验过程第26-27页
  · 铂的刻蚀结果和分析第27-33页
    · 探针施加的刻蚀力与刻蚀深度和宽度的关系第27-29页
    · 探针刻蚀速度与刻蚀深度和宽度的关系第29-31页
    · 探针循环刻蚀的次数与刻蚀深度和宽度的关系第31-33页
    · 纳米图案的刻蚀第33页
  · 云母的刻蚀结果和分析第33-40页
    · 探针施加的刻蚀力与刻蚀深度和宽度的关系第34-36页
    · 探针刻蚀速度与刻蚀深度和宽度的关系第36-38页
    · 探针循环刻蚀的次数与刻蚀深度和宽度的关系第38-40页
  · 本章小结第40-41页
  参考文献第41-42页
第三章 硅基底上加工纳米图案机械刻蚀技术第42-56页
  · 引言第42页
  · 实验部分第42-43页
    · 实验仪器第42-43页
    · 基底制备第43页
    · 实验过程第43页
  · 硅刻蚀加工的结果和分析第43-52页
    · 探针运动方向对刻蚀深度和宽度的影响第43-44页
    · 探针施加的力对刻蚀深度和宽度的影响第44-47页
    · 探针刻蚀速度对刻蚀深度和宽度的影响第47-49页
    · 探针循环刻蚀次数对刻蚀深度和宽度的影响第49-51页
    · 纳米图案的构筑第51-52页
  · 本章小结第52-54页
  参考文献第54-56页
第四章 金属纳米点阵图案的构筑第56-64页
  · 引言第56-57页
  · 实验部分第57-58页
    · 实验仪器第57页
    · 基底制备第57页
    · 实验方案第57页
    · 实验过程第57-58页
  · 结果与分析第58-61页
    · 形貌分析第58-60页
    · 电学特性分析第60-61页
  · 本章小结第61-62页
  参考文献第62-64页
总结与展望第64-66页
硕士期间发表和已完成的工作第66-68页
致谢第68-69页

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