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基于原子力显微镜机械刻蚀构筑纳米结构和纳米图案
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基于原子力显微镜机械刻蚀构筑纳米结构和纳米图案
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-10页
第一章 绪论
第10-24页
· 纳米科技概述
第10-11页
· 纳米加工技术概述
第11-14页
· 超精密机械加工
第12页
· 光刻加工
第12页
· 能量束加工技术
第12-13页
· LIGA 技术
第13页
· 纳米压印技术
第13-14页
· 基于扫描探针加工技术
第14页
· 扫描探针加工技术
第14-16页
· 扫描探针显微镜简介
第14-15页
· 扫描隧道显微镜
第15页
· 原子力显微镜
第15-16页
· 基于原子力显微镜的加工技术
第16-18页
· AFM 探针机械刻蚀加工
第16页
· 局部阳极氧化纳米加工
第16-17页
· 热致刻蚀
第17页
· 蘸笔印刷术
第17-18页
· 论文的研究意义、存在问题及研究内容
第18-20页
· 论文的研究意义
第18页
· 目前存在的主要问题
第18-19页
· 研究内容
第19-20页
参考文献
第20-24页
第二章 铂和云母基底上纳米图案机械刻蚀技术
第24-42页
· AFM 工作原理
第24-26页
· AFM 机械刻蚀
第24-25页
· AFM 刻蚀探针的选取
第25-26页
· 实验部分
第26-27页
· 实验仪器
第26页
· 基底制备
第26页
· 实验过程
第26-27页
· 铂的刻蚀结果和分析
第27-33页
· 探针施加的刻蚀力与刻蚀深度和宽度的关系
第27-29页
· 探针刻蚀速度与刻蚀深度和宽度的关系
第29-31页
· 探针循环刻蚀的次数与刻蚀深度和宽度的关系
第31-33页
· 纳米图案的刻蚀
第33页
· 云母的刻蚀结果和分析
第33-40页
· 探针施加的刻蚀力与刻蚀深度和宽度的关系
第34-36页
· 探针刻蚀速度与刻蚀深度和宽度的关系
第36-38页
· 探针循环刻蚀的次数与刻蚀深度和宽度的关系
第38-40页
· 本章小结
第40-41页
参考文献
第41-42页
第三章 硅基底上加工纳米图案机械刻蚀技术
第42-56页
· 引言
第42页
· 实验部分
第42-43页
· 实验仪器
第42-43页
· 基底制备
第43页
· 实验过程
第43页
· 硅刻蚀加工的结果和分析
第43-52页
· 探针运动方向对刻蚀深度和宽度的影响
第43-44页
· 探针施加的力对刻蚀深度和宽度的影响
第44-47页
· 探针刻蚀速度对刻蚀深度和宽度的影响
第47-49页
· 探针循环刻蚀次数对刻蚀深度和宽度的影响
第49-51页
· 纳米图案的构筑
第51-52页
· 本章小结
第52-54页
参考文献
第54-56页
第四章 金属纳米点阵图案的构筑
第56-64页
· 引言
第56-57页
· 实验部分
第57-58页
· 实验仪器
第57页
· 基底制备
第57页
· 实验方案
第57页
· 实验过程
第57-58页
· 结果与分析
第58-61页
· 形貌分析
第58-60页
· 电学特性分析
第60-61页
· 本章小结
第61-62页
参考文献
第62-64页
总结与展望
第64-66页
硕士期间发表和已完成的工作
第66-68页
致谢
第68-69页
本篇论文共
69
页,
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