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nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜的制备与性能研究
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nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜的制备与性能研究
论文目录
 
中文摘要第1-9页
Abstract第9-11页
第一章 绪论第11-33页
　　· 超硬薄膜研究进展第11-18页
　　　　· 本征超硬薄膜第11-13页
　　　　· 超晶格结构薄膜第13-14页
　　　　· 纳米复合薄膜第14-18页
　　· 多层、梯度薄膜研究进展第18-20页
　　　　· 多层薄膜第18-19页
　　　　· 梯度薄膜第19-20页
　　· nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合超硬薄膜的制备方法研究进展第20-25页
　　　　· 物理气相沉积第21-24页
　　　　· 化学气相沉积第24-25页
　　· 论文的选题依据、研究思路和研究内容第25-27页
　　参考文献第27-33页
第二章 nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜的制备与机械性能研究第33-47页
　　· 引言第33页
　　· 实验部分第33-35页
　　· 薄膜结构表征第35-36页
　　· 薄膜的机械性能表征第36页
　　· 结果与讨论第36-41页
　　　　· 形貌与元素含量分析第36-38页
　　　　· X射线衍射(XRD)分析第38页
　　　　· X射线光电子能谱(XPS)分析第38-39页
　　　　· 薄膜纳米硬度和弹性模量测试第39-40页
　　　　· 膜基结合强度测试第40页
　　　　· 摩擦学性能测试第40-41页
　　· 本章小结第41-42页
　　参考文献第42-47页
第三章 基底负偏压对nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜结构和性能的影响第47-63页
　　· 引言第47-48页
　　· 实验部分第48-49页
　　· 薄膜性能表征第49-50页
　　　　· 薄膜成分、结构表征第49-50页
　　　　· 薄膜机械性能表征第50页
　　· 结果与讨论第50-57页
　　　　· 成分和沉积速率第50-52页
　　　　· X射线衍射(XRD)和内应力分析第52-53页
　　　　· X射线光电子能谱(XPS)分析第53-54页
　　　　· TEM分析第54-55页
　　　　· 薄膜纳米硬度测试第55-56页
　　　　· 膜基结合强度第56-57页
　　· 本章小结第57-58页
　　参考文献第58-63页
第四章 nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合梯度薄膜的制备与性能研究第63-77页
　　· 引言第63-64页
　　· 实验部分第64-66页
　　· 薄膜性能表征第66-67页
　　　　· 薄膜形貌及结构表征第66页
　　　　· 薄膜机械性能表征第66-67页
　　· 结果与讨论第67-73页
　　　　· 薄膜形貌第67-69页
　　　　· 薄膜结构表征第69-70页
　　　　· 薄膜纳米硬度表征第70-71页
　　　　· 薄膜膜基结合强度表征第71-72页
　　　　· 薄膜摩擦学性能表征第72-73页
　　· 本章小结第73-74页
　　参考文献第74-77页
第五章 结束语第77-79页
　　· 主要结论第77页
　　· 问题与展望第77-79页
硕士期间完成的论文第79-80页
致谢第80-81页

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