TiNi合金薄膜溅射压强对其性能的影响

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TiNi合金薄膜溅射压强对其性能的影响

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TiNi合金薄膜溅射压强对其性能的影响

论文目录
中文摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
第1章绪论	第11-32页
· 形状记忆合金的应用与发展	第11-19页
· 形状记忆合金的发展历史	第11-12页
· 形状记忆合金的应用概况	第12-16页
· 形状记忆合金的性能及特点	第16-19页
· TiNi 形状记忆合金薄膜的制备方法及制备工艺	第19-23页
· TiNi 形状记忆合金薄膜的制备方法	第19-22页
· 沉积参数对 TiNi 形状记忆合金薄膜的影响	第22-23页
· TiNi 形状记忆合金薄膜的相变行为及各种性能	第23-30页
· TiNi 薄膜的相变过程	第23-26页
· TiNi 薄膜中的析出相	第26-28页
· TiNi 薄膜的力学性能	第28-29页
· TiNi 薄膜中的残余应力	第29-30页
· 选题目的和研究意义	第30-32页
第2章 TiNi 薄膜生长机理及表面形貌分析	第32-49页
· 引言	第32-33页
· 样品制备及实验过程	第33-34页
· 实验结果分析与讨论	第34-47页
· 薄膜生长实验结果分析与讨论	第34-39页
· 不同溅射压强下 TiNi 薄膜表面形貌分析	第39-45页
· 退火温度对 TiNi 薄膜表面及结构的影响	第45-47页
· 本章小结	第47-49页
第3章溅射压强及热处理条件对 TiNi 薄膜组织成分的影响	第49-62页
· 引言	第49页
· 实验过程	第49-50页
· 实验结果分析与讨论	第50-61页
· 本章小结	第61-62页
第4章不同溅射压强及热处理条件下薄膜的力学性能	第62-73页
· 引言	第62页
· 实验过程	第62-63页
· 实验结果分析与讨论	第63-72页
· 薄膜残余应力发展	第63-67页
· 溅射压强及退火温度对薄膜力学性能的影响	第67-72页
· 本章小结	第72-73页
第5章结论及展望	第73-75页
· 结论	第73-74页
· 展望	第74-75页
参考文献	第75-82页
致谢	第82页

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