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多自由度压电式微位移机电系统的研究

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多自由度压电式微位移机电系统的研究
论文目录
 
第一章 绪论第11-18 页
  §1—1 课题来源及研究意义第11-13 页
  §1—2 MEMS的发展综述第13-16 页
  §1—3 本课题的研究思路及关键技术第16-17 页
  §1—4 本文主要研究内容及安排第17-18 页
第二章 微型机电系统及其相关技术第18-25 页
  §2—1 MEMS的组成原理第18-22 页
  §2—2 MEMS相关技术第22-24 页
  §2—3 本章小结第24-25 页
第三章 平面有限元及线性回归第25-37 页
  §3—1 引言第25-26 页
  §3—2 平面有限元分析方法第26-32 页
  §3—3 正交试验与线性回归第32-36 页
  §3—4 本章小结第36-37 页
第四章 多自由度压电式微位移系统第37-48 页
  §4—1 微位移系统的结构及工作原理第37-42 页
  §4—2 压电式多自由度微位移系统的研制第42-47 页
  §4—3 本章小结第47-48 页
第五章 柔性铰链的设计第48-62 页
  §5—1 引言第48-49 页
  §5—2 柔性铰链的选择第49-50 页
  §5—3 柔性铰链运动方程的理论分析第50-53 页
  §5—4 柔性铰链的有限元分析第53-61 页
  §5—5 本章小结第61-62 页
第六章 三自由度微动工作台设计第62-67 页
  §6—1 三自由度微动工作台的结构设计第62-65 页
  §6—2 微动工作台的有限元计算第65-66 页
  §6—3 本章小结第66-67 页
第七章 结束语第67-69 页
参考文献第69-71 页
在学期间发表的论文第71 页
致谢第71页

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