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多自由度压电式微位移机电系统的研究
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多自由度压电式微位移机电系统的研究
论文目录
第一章 绪论
第11-18 页
§1—1 课题来源及研究意义
第11-13 页
§1—2 MEMS的发展综述
第13-16 页
§1—3 本课题的研究思路及关键技术
第16-17 页
§1—4 本文主要研究内容及安排
第17-18 页
第二章 微型机电系统及其相关技术
第18-25 页
§2—1 MEMS的组成原理
第18-22 页
§2—2 MEMS相关技术
第22-24 页
§2—3 本章小结
第24-25 页
第三章 平面有限元及线性回归
第25-37 页
§3—1 引言
第25-26 页
§3—2 平面有限元分析方法
第26-32 页
§3—3 正交试验与线性回归
第32-36 页
§3—4 本章小结
第36-37 页
第四章 多自由度压电式微位移系统
第37-48 页
§4—1 微位移系统的结构及工作原理
第37-42 页
§4—2 压电式多自由度微位移系统的研制
第42-47 页
§4—3 本章小结
第47-48 页
第五章 柔性铰链的设计
第48-62 页
§5—1 引言
第48-49 页
§5—2 柔性铰链的选择
第49-50 页
§5—3 柔性铰链运动方程的理论分析
第50-53 页
§5—4 柔性铰链的有限元分析
第53-61 页
§5—5 本章小结
第61-62 页
第六章 三自由度微动工作台设计
第62-67 页
§6—1 三自由度微动工作台的结构设计
第62-65 页
§6—2 微动工作台的有限元计算
第65-66 页
§6—3 本章小结
第66-67 页
第七章 结束语
第67-69 页
参考文献
第69-71 页
在学期间发表的论文
第71 页
致谢
第71页
本篇论文共
71
页,
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