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结晶器内腔尺寸自动测量机误差分离与修正方法研究
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结晶器内腔尺寸自动测量机误差分离与修正方法研究
论文目录
第一章 绪论
第11-16页
· 三坐标测量机及其发展现状
第11-12页
· 三坐标测量机误差修正国内外概况
第12-14页
· 课题来源及研究目的
第14-15页
· 本论文研究内容
第15-16页
第二章 结晶器内腔尺寸测量机误差分析及精度设计
第16-31页
· 结晶器尺寸测量机原理结构
第16-18页
· 结晶器尺寸测量机测量原理
第16页
· 结晶器尺寸测量机主机结构
第16-18页
· 结晶器内腔尺寸测量机测量系统组成
第18页
· 传统的三坐标测量机误差源分析及检定
第18-19页
· 结晶器尺寸测量机误差分析
第19-27页
· 标准量误差
第19-21页
· 阿贝误差
第21-22页
· 垂直度误差
第22-23页
· 测头瞄准定位误差
第23-24页
· 力变形误差
第24-27页
· 其他误差
第27页
· 结晶器尺寸测量机精度设计
第27-30页
· 按等作用原则的精度初步设计
第27-28页
· 按可能性调整分配X、Y、Z三个方向误差
第28-30页
· 本章小结
第30-31页
第三章 结晶器内腔尺寸自动测量机误差数学模型研究
第31-34页
· 误差数学模型的建立
第31-33页
· 各种误差对数学模型的影响
第33页
· 力变形误差
第33页
· 热变形误差
第33页
· 探测误差
第33页
· 动态误差
第33页
· 本章小结
第33-34页
第四章 结晶器内腔尺寸测量机误差分离实验系统设计
第34-39页
· 结晶器尺寸测量机误差分离实验方案的确立
第34-37页
· 丝杠系统误差分离
第34-35页
· 导轨直线度运动误差的分离
第35-36页
· 垂直度误差的分离
第36-37页
· 实验准备
第37页
· 实验步骤和说明
第37-38页
· X轴的测量
第37页
· Y轴的测量
第37-38页
· Z轴的测量
第38页
· 实验数据记录
第38页
· 本章小结
第38-39页
第五章 实验数据处理及误差修正方法研究
第39-60页
· 数据处理软件的编制
第39-41页
· 三次样条插值理论
第39-40页
· 三次样条曲线拟合与Matlab曲线拟合的比较
第40-41页
· 基于三次样条插值原理的数据拟合程序
第41-44页
· 实验数据的插值拟合
第44-53页
· X轴的数据分析
第44-49页
· Y轴数据分析
第49-51页
· Z轴数据分析
第51-53页
· 结晶器内腔尺寸测量机的误差修正方法研究
第53-59页
· X轴误差的修正
第54-57页
· Y轴误差的修正
第57-58页
· Z轴误差的修正
第58页
· 结论
第58-59页
· 本章小结
第59-60页
第六章 总结与展望
第60-62页
· 课题研究总结
第60页
· 研究工作展望
第60-62页
参考文献
第62-65页
附录
第65-70页
在读期间发表的学术论文
第70页
本篇论文共
70
页,
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