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结晶器内腔尺寸自动测量机误差分离与修正方法研究

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结晶器内腔尺寸自动测量机误差分离与修正方法研究
论文目录
 
第一章 绪论第11-16页
  · 三坐标测量机及其发展现状第11-12页
  · 三坐标测量机误差修正国内外概况第12-14页
  · 课题来源及研究目的第14-15页
  · 本论文研究内容第15-16页
第二章 结晶器内腔尺寸测量机误差分析及精度设计第16-31页
  · 结晶器尺寸测量机原理结构第16-18页
    · 结晶器尺寸测量机测量原理第16页
    · 结晶器尺寸测量机主机结构第16-18页
  · 结晶器内腔尺寸测量机测量系统组成第18页
  · 传统的三坐标测量机误差源分析及检定第18-19页
  · 结晶器尺寸测量机误差分析第19-27页
    · 标准量误差第19-21页
    · 阿贝误差第21-22页
    · 垂直度误差第22-23页
    · 测头瞄准定位误差第23-24页
    · 力变形误差第24-27页
    · 其他误差第27页
  · 结晶器尺寸测量机精度设计第27-30页
    · 按等作用原则的精度初步设计第27-28页
    · 按可能性调整分配X、Y、Z三个方向误差第28-30页
  · 本章小结第30-31页
第三章 结晶器内腔尺寸自动测量机误差数学模型研究第31-34页
  · 误差数学模型的建立第31-33页
  · 各种误差对数学模型的影响第33页
    · 力变形误差第33页
    · 热变形误差第33页
    · 探测误差第33页
    · 动态误差第33页
  · 本章小结第33-34页
第四章 结晶器内腔尺寸测量机误差分离实验系统设计第34-39页
  · 结晶器尺寸测量机误差分离实验方案的确立第34-37页
    · 丝杠系统误差分离第34-35页
    · 导轨直线度运动误差的分离第35-36页
    · 垂直度误差的分离第36-37页
  · 实验准备第37页
  · 实验步骤和说明第37-38页
    · X轴的测量第37页
    · Y轴的测量第37-38页
    · Z轴的测量第38页
  · 实验数据记录第38页
  · 本章小结第38-39页
第五章 实验数据处理及误差修正方法研究第39-60页
  · 数据处理软件的编制第39-41页
    · 三次样条插值理论第39-40页
    · 三次样条曲线拟合与Matlab曲线拟合的比较第40-41页
  · 基于三次样条插值原理的数据拟合程序第41-44页
  · 实验数据的插值拟合第44-53页
    · X轴的数据分析第44-49页
    · Y轴数据分析第49-51页
    · Z轴数据分析第51-53页
  · 结晶器内腔尺寸测量机的误差修正方法研究第53-59页
    · X轴误差的修正第54-57页
    · Y轴误差的修正第57-58页
    · Z轴误差的修正第58页
    · 结论第58-59页
  · 本章小结第59-60页
第六章 总结与展望第60-62页
  · 课题研究总结第60页
  · 研究工作展望第60-62页
参考文献第62-65页
附录第65-70页
在读期间发表的学术论文第70页

本篇论文共70页,点击这进入下载页面
 
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