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椭圆偏振光谱技术及其对功能薄膜材料的性能表征

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椭圆偏振光谱技术及其对功能薄膜材料的性能表征
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-8 页
目录第8-10 页
第一章 综述第10-18 页
  · 引言第10-11 页
  · 椭偏测量术的产生背景与研究进展第11-12 页
    · 椭偏测量术的产生背景第11 页
    · 椭偏测量术的研究进展第11-12 页
  · 椭偏测量术的应用简介第12-14 页
  · 论文工作主要内容第14 页
  · 本章小结第14 页
  参考文献第14-18 页
第二章 椭圆偏振测量术原理第18-28 页
  · 椭圆偏振光及椭圆偏振测量概要第18-20 页
    · 椭圆偏振光第18-19 页
    · 椭圆偏振测量概要第19-20 页
  · 椭圆偏振测量理论第20-24 页
  · 光度法测量原理第24-26 页
  · 本章小结第26 页
  参考文献第26-28 页
第三章 椭圆偏振测量仪第28-37 页
  · 消光椭偏仪第28-32 页
    · 元件组成第28-30 页
    · 消光椭偏仪的自动化第30-32 页
  · 自动光度椭偏仪第32-33 页
  · RAP-Ⅰ型自动椭偏仪第33-35 页
    · 原理第33-35 页
    · 系统的校准与定标第35 页
  · 本章小结第35-36 页
  参考文献第36-37 页
第四章 椭偏数据解谱第37-45 页
  · 解谱软件设计第37-38 页
    · 设计窗口第37 页
    · 材料窗口第37-38 页
    · 优化窗口第38 页
  · 解谱时对样品参数的设置和模型的选择第38-44 页
    · 参数设置第38-39 页
    · 模型选择第39-44 页
  · 解谱结果的精度分析第44 页
  · 本章小结第44 页
  参考文献第44-45 页
第五章 椭偏测量术的应用第45-71 页
  · 椭偏测量术在超薄金属Ag膜中的应用第45-50 页
    · 引言第45 页
    · 实验结果及分析第45-50 页
    · 结语第50 页
  · 溅射ITO薄膜的光学常数研究第50-56 页
    · 引言第50-51 页
    · 实验第51-52 页
    · 结果与分析第52-56 页
    · 结语第56 页
  · ITO薄膜的透射谱研究第56-61 页
    · 引言第56-57 页
    · 实验第57-58 页
    · 结果与分析第58-61 页
    · 结语第61 页
  · Ag-ITO纳米复合薄膜的光学常数研究第61-66 页
    · 引言第61-62 页
    · 实验第62 页
    · 结果与分析第62-66 页
    · 结语第66 页
  · 本章小结第66-67 页
  参考文献第67-71 页
第六章 全文总结第71-73 页
  · 论文工作成果第71 页
  · 今后的工作第71-73 页
致谢第73-74 页
攻读硕士学位期间发表文章目录第74页

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