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电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制

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电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制
论文目录
 
第一章 绪论第1-10 页
  · 引言第7 页
  · 现代分析仪器概述第7 页
  · 原子发射光谱仪第7-10 页
    · 概述第7-8 页
    · 基本原理第8-10 页
第二章 原子发射光谱分析用辉光放电激发源综述第10-26 页
  · 直流辉光放电及激发源的设计第10-16 页
    · 直流辉光放电特性第10-14 页
    · 直流辉光放电溅射激发机理第14-15 页
    · 直流辉光放电激发源的设计第15-16 页
  · 射频辉光放电及激发源的设计第16-24 页
    · 射频辉光放电的基本原理第17-19 页
    · 射频辉光放电激发源的设计第19-21 页
    · 射频辉光放电的发射强度以及放电参数对它的影响第21-23 页
    · 射频辉光放电激发源的阻抗匹配网络第23-24 页
  · 辉光放电光谱分析技术的特点第24-26 页
第三章 Marcus型辉光放电激发源的设计与性能考察第26-39 页
  · 实验装置第26-27 页
    · 激发源结构第26 页
    · 光检测系统第26-27 页
  · 实验结果及讨论第27-37 页
    · Marcus型射频辉光放电激发源溅射和激发导体材料的实验结果及分析讨论第27-32 页
    · Marcus型射频辉光放电激发源溅射和激发非导体材料的实验结果及分析讨论第32-37 页
  · 小结第37-39 页
第四章 Grimm型辉光放电激发源的设计与性能考察第39-58 页
  · 实验装置第39 页
  · 溅射实验第39-41 页
  · 定量分析测试实验第41-58 页
    · Grimm型射频辉光放电激发源溅射和激发导体材料的实验结果及分析讨论第41-52 页
    · Grimm型射频辉光放电激发源溅射和激发非导体材料的实验结果及分析讨论第52-58 页
第五章 结论第58-59 页
参考文献第59-62 页
致谢第62-63 页
硕士在读期间发表的论文第63页

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