外延LSCO/PZT/LSCO铁电薄膜电容器的结构和性能 |
论文目录 | | | 摘要 | 第1-6页 | | Abstract | 第6-10页 | | 第1章 引言 | 第10-19页 | | · 铁电材料的物性及结构 | 第10-12页 | | · 外延Pb(Zr,Ti)O_3 薄膜的研究 | 第12-15页 | | · 制备外延Pb(Zr,Ti)O_3 薄膜的重要性 | 第12-13页 | | · 影响外延薄膜制备的因素 | 第13-15页 | | · 外延Pb(Zr,Ti)O_3 薄膜目前面临的主要问题 | 第15页 | | · 钙钛矿氧化物中的缺陷化学及其影响 | 第15-18页 | | · (La,Sr)C0O_3 电极中的缺陷化学 | 第16页 | | · Pb(Zr,Ti)O_3 中的缺陷化学 | 第16-18页 | | · 本论文的主要内容及意义 | 第18-19页 | | 第2章 外延LSCO/PZT/LSCO 异质结的制备及性能研究 | 第19-34页 | | · 外延PZT/LSCO/STO 异质结的制备 | 第19-23页 | | · 磁控溅射法(magnetron sputtering) | 第19-21页 | | · 脉冲激光沉积法(PLD) | 第21-22页 | | · 实验过程 | 第22-23页 | | · 结构与性能测试方法 | 第23-27页 | | · X 射线衍射(XRD) | 第23-24页 | | · 反射式高能电子衍射(RHEED) | 第24页 | | · 原子力显微镜(AFM) | 第24-25页 | | · 四探针电阻测试仪(FFP) | 第25-26页 | | · 铁电性能测试 | 第26-27页 | | · 结果与讨论 | 第27-33页 | | · 小结 | 第33-34页 | | 第3章 退火氧压对LNO 和LSCO 薄膜结构和输运性质的影响 | 第34-45页 | | · 退火氧压对LNO 薄膜结构和输运性质的影响 | 第34-38页 | | · 实验 | 第34页 | | · 结果与讨论 | 第34-38页 | | · 退火氧压对LSCO 薄膜结构和输运性质的影响 | 第38-43页 | | · 实验 | 第38页 | | · 结果与讨论 | 第38-43页 | | · 小结 | 第43-45页 | | 第4章 LSCO 底电极退火氧压对LSCO/PZT/LSCO 结构和性能的影响 | 第45-53页 | | · 实验 | 第45-46页 | | · 结果与讨论 | 第46-52页 | | · 小结 | 第52-53页 | | 结束语 | 第53-55页 | | 参考文献 | 第55-62页 | | 致谢 | 第62-63页 | | 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第63页 |
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